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Copper
Selective Etchant
薄膜銅層の除去に最適
銅選択エッチング液－CS
特
C S
長
1. 過酸化水素タイプのエッチング液です。
2. Au、W、Ti、Cr、Sn、NiCr、SUS316、SUS304 などの金属・合金との選択性に優れています。
3. 銅エッチング速度の安定性に優れています。
4. 過酸化水素の安定性に優れています。
性
状
外
観
主
建
成
分
銅選択エッチング液-CS
銅選択エッチング液-CS-R
（建浴剤）
（補給剤）
無色～淡黄色液体（強酸性）
無色～淡黄色液体
医薬用外劇物
医薬用外劇物
過酸化水素、硝酸
過酸化水素
浴
銅選択エッチング液-CS は原液使用となります。
（ご注意）
◆
CS 及び CS-R は医薬用外劇物に指定されておりますので取り扱いには十分に注意し、法の
遵守をお願いします。
◆
建浴の際は保護眼鏡、保護手袋等の保護具を装着の上、液跳びはねに注意してください。
◆
使用エッチング槽の水洗や、エッチング処理前の処理素材の水洗、エッチング液濃縮時の希
釈などにはイオン交換水をご使用ください。水道水などからエッチング液に塩化物イオンが
混入するとエッチング性が大幅に低下する可能性があります。
◆
製品の取り扱いに関しましては、製品安全データシート(MSDS)をご参照ください。
使用方法
範囲
処
理
温
度
25 ～ 40℃
処
理
時
間
適宜（処理対象物により調整してください）
処
理
方
法浸漬処理または
槽
材
スプレー処理
質樹脂（ポリエチレン、ポリプロピレン、塩化ビニル、耐熱性塩化ビニルなど）槽
35%過酸化水素濃度が 200 m/L±10%となるように管理してください。
35%過酸化水素濃度が不足の場合は、不足分に応じて銅選択エッチング液-CS-R を補給して
ください。
性能測定例
各種処理パラメータ（処理温度、35%過酸化水素濃度、液攪拌強度、浴中銅濃度）が、銅エッチ
ング速度に与える影響を調べました。処理は全て浸漬法によるもので、素材には圧延銅板を使用し
ています。
処理温度との関係
35%過酸化水素濃度との関係
5.0
35%過酸化水素濃度 200 m/L
スターラ攪拌 100 rpm
エッチング速度 [μm/min.]
エッチング速度 [μm/min.]
5.0
4.0
3.0
2.0
1.0
処理温度 30℃
スターラ攪拌 100 rpm
4.0
3.0
2.0
1.0
20
25
30
35
40
45
120
処理温度 [℃]
200
240
280
35%過酸化水素濃度 [m/L]
液攪拌強度との関係
浴中銅濃度との関係
5.0
7.0
35%過酸化水素濃度 200 m/L
処理温度 30℃
6.0
エッチング速度 [μm/min.]
エッチング速度 [μm/min.]
160
5.0
4.0
3.0
2.0
1.0
35%過酸化水素濃度 200 m/L
処理温度 30℃
スターラ攪拌 100 rpm
4.0
3.0
2.0
1.0
0
100
200
300
400
0
500
液攪拌強度 [rpm]
1
2
3
4
浴中銅濃度 [g/L]
代理店
NIHON KAGAKU SANGYO CO.,LTD
h t t p : / / w w w. n i h o n ka g a k u s a n g yo . c o . j p/
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2012.12.12
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