北海道大学 超高圧電子顕微鏡室 利用装置性能・機能一覧 設備 型式 性能 付属機器 主な用途 equipment model number Specification Attachment Primary use JEM-ARM-1300 加速電圧：1250kV(最大1300kV) 粒子分解能：0.118nm ホルダー：二軸傾斜加熱ホルダ、液体窒素冷却ホルダ等 300ｋＶイオン加速器 400ｋＶイオン加速器 CCDカメラ レーザー(He-Cd・YAG・フェムト秒) 超高分解能構造像・格子像の観察 厚膜試料の観察 試料加熱・冷却過程のその場観察 イオン・レーザー・電子線照射その場観察 H-1300 加速電圧：1000kV(最大1300kV) 粒子分解能：0.14nm(トップエントリー) 0.20nm(サイドエントリー) 二軸傾斜加熱ホルダー 引張試験用ホルダー 厚膜試料の観察 試料加熱過程のその場観察 電子線照射損傷過程のその場観察 応力下変形挙動のその場観察 JEM-2000FX 加速電圧：200kV 粒子分解能：0.28nm 格子分解能：0.20nm エネルギー分散型Ｘ線分光器(EDS) CCDカメラ 明視野・暗視野像観察 高分解能格子像の観察 CBED・ナノビーム解析 EDSによる微小領域組成分析 JEM-2010F 加速電圧：200kV 電子銃：ZrO/W 粒子分解能：0.19nm 格子分解能：0.10nm 最小プローブ径：0.5nm(EDSモード) 0.2nm(STEMモード) 二軸傾斜分析ホルダー 二軸傾斜加熱ホルダー エネルギー分散型X線分光器(EDS) 電子エネルギー損失分光器(EELS) 高角度環状暗視野検出器(HAADF) 高分解能格子像の観察 CBED、ナノビーム回折 EDSによる極微小領域組成分析・マッピング EELSによる極微小領域電子状態測定 エネルギーフィルタによる元素マッピング HAADFを用いたZコントラスト像の取得 Titan G2 加速電圧：60kV,80kV,200kV,300kV TEM分解能：70pm(加速電圧300kV) STEM分解能：70pm(加速電圧300kV) XFEG電子銃(高輝度FE電子源) 二軸傾斜ホルダー トモグラフィー用ホルダー ウィーンフィルター型モノクロメーター 照射系球面収差補正器 結像系球面収差補正器 Super-X EDSシステム(SDDを４基搭載) GIF QuantumER TEM/STEM高分解能観察 EDSマッピング EELS分析 電子線トモグラフィ JSM-7001FA 加速電圧：30kV マルチビーム超高圧電子顕微鏡 (イオン加速器含む) Multi-beam Ultra-high Voltage Electron Microscopy TEM レーザー超高圧電子顕微鏡 Pulsed-laser-equipped High-Voltage Electron Microscopy 汎用200kV透過型電子顕微鏡 200kV Transmission Electron Microscopy 電界放射型200kV透過型電子顕微鏡 (FE-TEM) 200kV Field-Emission Transmission Electron Microscopy TEM/STEM 収差補正走査透過型電子顕微鏡 Cs-corrected Scanning Transmission Electron Microscope SEM 電界放射型走査型電子顕微鏡 (FE-SEM) Scanning Electron Microscopy 二次電子・反射電子による表面観察 EDSによる微小領域組成分析 EBSDによる結晶方位解析
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