高粘度液体微粒化スプレーノズル ミニアトマイズノズル MMAE型・MMA型 流量調節機構付 ON/OFF バルブ(MMAE9、MMA10・30・50用) 空気圧制御による優れた噴霧のON/OFFと流量制御 流量調節機構付ON/OFFバルブは、空気圧で噴霧のON/OFFを制御すること、及び噴霧流量 の微調節を目的としたバルブです。ミニアトマイズノズル(MMAE9、MMA10・30・50)と組合せ て使用することで、微少流量薄膜コーティングや、離型剤の噴霧、薬液の塗布、高粘度流体 の塗布などに使用できます。 バルブは省スペースに対応したMOV型と、噴霧流量を精密に調整できるMOV-MH型の2種類 から、目的に応じて選定いただけます。 低粘度~高粘度液体※1まで、空気と混合させることにより微粒化噴霧すること 噴射状態 停止状態 MOV 2流体ノズルです。非常に安定したスプレーができることから、精密洗浄や精密 コーティング、離型剤噴霧、消臭除菌液の散布、食品業界のペースト状の微細 噴霧にも適したノズルです。 パイロット エアー 調節ねじ全開時 調節ねじ全開時 MMA (MOV-MH マイクロメーターヘッド付) マイクロメータ目盛0の時 マイクロメータ目盛0の時 ■ 基本仕様 MOV 0.3~0.4 MPa 液体供給圧力 パイロットエアー 供給口 0.5~100 mL/min 0.1 MPa 以下 液体供給口 チューブ継手 チューブ継手 φ4 mm φ6 mm 本体材質 流量調節つまみ 重量 材質 (MMAノズル込) SUS303 SKS3, SUM他 SUS316L 100 g (123 g) 155 g (178 g) ノズルと組合せた場合の配管系統図 自吸式 ポンプ加圧式 パイロット エアー 液体 パイロット エアー エアー コンプレッサー エアー コンプレッサー 圧力計 三方向電磁弁 圧力計 液体タンク 加圧用エアー 三方向電磁弁 エアー コンプレッサー ON/OFF バルブ レギュレーター 噴霧用 エアー パイロット エアー ・離型剤噴霧 ・自動車部品の精密洗浄 ・ガラス基盤の精密洗浄 ・樹脂製品の精密洗浄 ・ウエハーの精密洗浄 ・ペースト噴霧 型 番 液体噴霧口径 [mm] 空気量 [L/min(nor)] (空気圧力 = 0.3 MPa) MMAE 9 MMA 10 MMA 30 MMA 50 MMA 100 MMA 200 0.7 1.1 1.5 1.7 2.4 2.8 9 10 30 50 100 200 ノズル 適正噴霧水量※1 [mL/min] 0.5 1 3 5 20 50 ~ ~ ~ ~ ~ ~ 10 20 60 100 200 500 圧力計 三方向電磁弁 -5 -5 -5 -5 -5 -5 ~ ~ ~ ~ ~ ~ 重 量 [g] 60 60 60 60 60 60 20 26 26 26 55 55 形状図 MMAE 9 MMA10・30・50 MMA100・200 噴霧用 エアー ノズル ON/OFF バルブ 1 2 3 4 5 1 2 3 4 5 共 立合金製作所 総販売元 エバーロイ商事 17 19.5 株式 会社 〒663-8211 西宮市今津山中町12番16号 本 社 柏 原 工 場 ノズル事業部 〒669-3313 兵庫県丹波市柏原町北山130-3 TEL (0795)72-3374㈹ FAX (0795)72-3376 〒553-0002 大阪市福島区鷺洲4丁目2番24号 TEL (06)6452-2272㈹ FAX (06)6452-2187 東 京 支 店 〒101-0032 東京都千代田区岩本町2丁目8番12号(NKビル2階) TEL (03)3862-9280㈹ FAX (03)3862-9151 九 州 支 店 〒812-0043 福岡市博多区堅粕4-1-6(九建ビル402号) TEL (092)452-0810㈹ FAX (092)452-0814 系列会社 東 海 合 金 工 業 株会 式社 〒489-0979 愛知県瀬戸市坊金町236-1 TEL (0561)84-2611㈹ FAX (0561)86-0255 トーカロイ 〒464-0026 名古屋市千種区井上町42番地 TEL (052)781-8220㈹ FAX (052)782-7795 倉敷営業所 〒710-0826 岡山県倉敷市老松町3丁目14-20 401号室 TEL (086)422-7560㈹ FAX (086)430-0172 U R L http://www.everloy-spray-nozzles.com/ E-mail [email protected] Rc 1/8 液体 23.5 33.5 本 社 Rc 1/8 18 液体 14 12 16 26.5 ノズルの総合メーカー M14×1 M10×0.75 M8×0.75 液体 3 空気 19 加圧液体タンク 29 液体タンク 1 2 空気 空気 株式 会社 φ4 φ4 φ4 φ4 Rc 1/8 Rc 1/8 使用温度範囲 [℃] 液体 ノズル 株式 会社 適用チューブ・ 継手サイズ ※1 高粘度液体を噴霧させる場合は、使用条件についてご相談ください。 ※2 オプションでφ6に変更できます。 ON/OFF バルブ 加圧ポンプ ・消臭・除菌液の散布 仕 様 レギュレーター 二方向電磁弁 液体 二方向電磁弁 噴霧用 エアー ・精密部品の洗浄 このシリーズのノズルには、流量調節バルブ等の流量調節手段が別途必要です。 流量調節機構付ON/OFFバルブをご使用いただくか、市販の流量調節バルブ(流量調節方法に記載)をご使用ください。 タンク加圧式 二方向電磁弁 レギュレーター ・コーティング ・シンプルな構造で、分解・メンテナンスも容易にできます。 パイロット エアー 液量調節範囲 用 途 ・低粘度~高粘度液体まで、微粒化噴霧することが可能です。 ・液通路径が大きく、詰まり対策に有効です。 噴霧用 エアー 作動空気圧 特 長 ・極微少流量から豊富なラインナップを揃えています。 液体 MOV-MH が可能なノズルです。噴霧流量も 0.5~500 mL/minまで対応できるラインナップ を揃えています。構造もシンプルで、液通路径も大きく、詰まり対策にも有効な MMA (MOV コンパクト型) 噴霧用 エアー 型 番 短納期対応製品 極少量微細噴霧が可能で離型剤噴霧や コーティングに最適なスプレーノズル 液体 ■ 精密流量調節型 MMAE型・MMA型 14 ■ 簡易流量調節型 高粘度液体微粒化スプレーノズル ミニアトマイズノズル 38 37.5 ■ 部品表 番号 部品名 材質 番号 部品名 材質 1 本体 SUS316L 4 φ4チューブ継手(エルボ) 2 Oリング FKM 5 φ4チューブ継手(ストレート) 3 ナット SUS316L ※3 ※3 SUS303+樹脂 SUS316+樹脂 ※3 MMAE9, MMA10・30・50に付属 ISO 9001/14001 認証取得 LEAF.16J-R4-1403 高粘度液体微粒化スプレーノズル ミニアトマイズノズル 性能資料 ③ 流速特性 20 20 ① 空気量特性 100 MMAE 9 MMA 10 MMA 30 MMA 50 80 MMA 100 MMA 200 400 15 15 10 10 [m/s] 300 [L/min(nor)] 40 200 MMA 100 MMA 200 30 20 [m/s] [m/s] 5 5 60 [L/min(nor)] 40 MMA 10 MMA 30 MMA 50 MMAE 9 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0 10 0.1 空気圧力 [MPa] 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.1 0 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 ノズル MMAE 9 10 10 最大水量時 最小水量時 8 最大水量時 最小水量時 8 W1 最大水量時 最小水量時 8 W2 0.5 0.6 6 6 4 4 4 2 2 2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0 0.1 0.2 0.7 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 MMAE 9 MMA 10・30・50 95 40~50 55~70 110~150 MMA 200 35~45 55~70 130~150 0.8 最大水量時 最小水量時 自吸式 MMA 100・200 25 ポンプ加圧式 最大水量時 最小水量時 20 最大水量時 最小水量時 20 ON/OFF バルブ レギュレータ ノズル 15 15 10 10 10 5 5 ※ 水頭差 0.6 空気圧力 [MPa] 0.7 0.8 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 空気圧力 [MPa] 0.7 0.8 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 ノズル ON/OFF バルブ レギュレータ ノズル エアー エアー 5 レギュレータ ON/OFF バルブ 流量調節 液体 バルブ エアー エアー コンプレッサー 流量調節 バルブ エアー コンプレッサー 液体 加圧ポンプ 流量調節 バルブ 液体 エアー エアー コンプレッサー レギュレータ ON/OFF弁 ON/OFF弁 液体タンク 0.5 タンク加圧式 25 15 0.4 60 使用方法 25 0.3 45 空気圧力 [MPa] ザウター平均粒子径特性 20 MMA 100 300 0.2 W3 MMA 50 スプレー 100 0.1 W2 MMA 10 50 空気圧力 [MPa] 空気圧力 [MPa] W1 MMAE 9 W3 MMA 30 6 0.2 0.4 噴霧幅 [mm] ノズル型番 MMA 100・200 MMA 10・30・50 10 0.1 0.3 空気圧力 [MPa] ④ 噴霧幅 算術平均粒子径特性 0 0.2 0.8 ② 粒子径特性 0.2 0.1 空気圧力 [MPa] 空気圧力 [MPa] 0.1 0 100 20 0 0.8 空気圧力 [MPa] 加圧液体タンク 液体タンク 0.8 空気圧力 [MPa] ※水頭差は ー 1m以内でご使用ください。 マイナス 流量調節方法 流量調節バルブ(ニードルバルブ/市販品)の使用 市販の流量調節バルブにより、流量をコントロールする方法です。 精密な制御には精密ニードルバルブ、簡易的なテストには安価な チューブ継手用のニードルバルブをお勧めします。 ※流量調節バルブについては、使用条件により選定する必要がありますので、ご相談ください。 チューブ継手用バルブ 精密ニードルバルブ 0.8 高粘度液体微粒化スプレーノズル ミニアトマイズノズル 性能資料 ③ 流速特性 20 20 ① 空気量特性 100 MMAE 9 MMA 10 MMA 30 MMA 50 80 MMA 100 MMA 200 400 15 15 10 10 [m/s] 300 [L/min(nor)] 40 200 MMA 100 MMA 200 30 20 [m/s] [m/s] 5 5 60 [L/min(nor)] 40 MMA 10 MMA 30 MMA 50 MMAE 9 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0 10 0.1 空気圧力 [MPa] 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.1 0 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 ノズル MMAE 9 10 10 最大水量時 最小水量時 8 最大水量時 最小水量時 8 W1 最大水量時 最小水量時 8 W2 0.5 0.6 6 6 4 4 4 2 2 2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0 0.1 0.2 0.7 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 MMAE 9 MMA 10・30・50 95 40~50 55~70 110~150 MMA 200 35~45 55~70 130~150 0.8 最大水量時 最小水量時 自吸式 MMA 100・200 25 ポンプ加圧式 最大水量時 最小水量時 20 最大水量時 最小水量時 20 ON/OFF バルブ レギュレータ ノズル 15 15 10 10 10 5 5 ※ 水頭差 0.6 空気圧力 [MPa] 0.7 0.8 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 空気圧力 [MPa] 0.7 0.8 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 ノズル ON/OFF バルブ レギュレータ ノズル エアー エアー 5 レギュレータ ON/OFF バルブ 流量調節 液体 バルブ エアー エアー コンプレッサー 流量調節 バルブ エアー コンプレッサー 液体 加圧ポンプ 流量調節 バルブ 液体 エアー エアー コンプレッサー レギュレータ ON/OFF弁 ON/OFF弁 液体タンク 0.5 タンク加圧式 25 15 0.4 60 使用方法 25 0.3 45 空気圧力 [MPa] ザウター平均粒子径特性 20 MMA 100 300 0.2 W3 MMA 50 スプレー 100 0.1 W2 MMA 10 50 空気圧力 [MPa] 空気圧力 [MPa] W1 MMAE 9 W3 MMA 30 6 0.2 0.4 噴霧幅 [mm] ノズル型番 MMA 100・200 MMA 10・30・50 10 0.1 0.3 空気圧力 [MPa] ④ 噴霧幅 算術平均粒子径特性 0 0.2 0.8 ② 粒子径特性 0.2 0.1 空気圧力 [MPa] 空気圧力 [MPa] 0.1 0 100 20 0 0.8 空気圧力 [MPa] 加圧液体タンク 液体タンク 0.8 空気圧力 [MPa] ※水頭差は ー 1m以内でご使用ください。 マイナス 流量調節方法 流量調節バルブ(ニードルバルブ/市販品)の使用 市販の流量調節バルブにより、流量をコントロールする方法です。 精密な制御には精密ニードルバルブ、簡易的なテストには安価な チューブ継手用のニードルバルブをお勧めします。 ※流量調節バルブについては、使用条件により選定する必要がありますので、ご相談ください。 チューブ継手用バルブ 精密ニードルバルブ 0.8 高粘度液体微粒化スプレーノズル ミニアトマイズノズル MMAE型・MMA型 流量調節機構付 ON/OFF バルブ(MMAE9、MMA10・30・50用) 空気圧制御による優れた噴霧のON/OFFと流量制御 流量調節機構付ON/OFFバルブは、空気圧で噴霧のON/OFFを制御すること、及び噴霧流量 の微調節を目的としたバルブです。ミニアトマイズノズル(MMAE9、MMA10・30・50)と組合せ て使用することで、微少流量薄膜コーティングや、離型剤の噴霧、薬液の塗布、高粘度流体 の塗布などに使用できます。 バルブは省スペースに対応したMOV型と、噴霧流量を精密に調整できるMOV-MH型の2種類 から、目的に応じて選定いただけます。 低粘度~高粘度液体※1まで、空気と混合させることにより微粒化噴霧すること 噴射状態 停止状態 MOV 2流体ノズルです。非常に安定したスプレーができることから、精密洗浄や精密 コーティング、離型剤噴霧、消臭除菌液の散布、食品業界のペースト状の微細 噴霧にも適したノズルです。 パイロット エアー 調節ねじ全開時 調節ねじ全開時 MMA (MOV-MH マイクロメーターヘッド付) マイクロメータ目盛0の時 マイクロメータ目盛0の時 ■ 基本仕様 MOV 0.3~0.4 MPa 液体供給圧力 パイロットエアー 供給口 0.5~100 mL/min 0.1 MPa 以下 液体供給口 チューブ継手 チューブ継手 φ4 mm φ6 mm 本体材質 流量調節つまみ 重量 材質 (MMAノズル込) SUS303 SKS3, SUM他 SUS316L 100 g (123 g) 155 g (178 g) ノズルと組合せた場合の配管系統図 自吸式 ポンプ加圧式 パイロット エアー 液体 パイロット エアー エアー コンプレッサー エアー コンプレッサー 圧力計 三方向電磁弁 圧力計 液体タンク 加圧用エアー 三方向電磁弁 エアー コンプレッサー ON/OFF バルブ レギュレーター 噴霧用 エアー パイロット エアー ・離型剤噴霧 ・自動車部品の精密洗浄 ・ガラス基盤の精密洗浄 ・樹脂製品の精密洗浄 ・ウエハーの精密洗浄 ・ペースト噴霧 型 番 液体噴霧口径 [mm] 空気量 [L/min(nor)] (空気圧力 = 0.3 MPa) MMAE 9 MMA 10 MMA 30 MMA 50 MMA 100 MMA 200 0.7 1.1 1.5 1.7 2.4 2.8 9 10 30 50 100 200 ノズル 適正噴霧水量※1 [mL/min] 0.5 1 3 5 20 50 ~ ~ ~ ~ ~ ~ 10 20 60 100 200 500 圧力計 三方向電磁弁 -5 -5 -5 -5 -5 -5 ~ ~ ~ ~ ~ ~ 重 量 [g] 60 60 60 60 60 60 20 26 26 26 55 55 形状図 MMAE 9 MMA10・30・50 MMA100・200 噴霧用 エアー ノズル ON/OFF バルブ 1 2 3 4 5 1 2 3 4 5 共 立合金製作所 総販売元 エバーロイ商事 17 19.5 株式 会社 〒663-8211 西宮市今津山中町12番16号 本 社 柏 原 工 場 ノズル事業部 〒669-3313 兵庫県丹波市柏原町北山130-3 TEL (0795)72-3374㈹ FAX (0795)72-3376 〒553-0002 大阪市福島区鷺洲4丁目2番24号 TEL (06)6452-2272㈹ FAX (06)6452-2187 東 京 支 店 〒101-0032 東京都千代田区岩本町2丁目8番12号(NKビル2階) TEL (03)3862-9280㈹ FAX (03)3862-9151 九 州 支 店 〒812-0043 福岡市博多区堅粕4-1-6(九建ビル402号) TEL (092)452-0810㈹ FAX (092)452-0814 系列会社 東 海 合 金 工 業 株会 式社 〒489-0979 愛知県瀬戸市坊金町236-1 TEL (0561)84-2611㈹ FAX (0561)86-0255 トーカロイ 〒464-0026 名古屋市千種区井上町42番地 TEL (052)781-8220㈹ FAX (052)782-7795 倉敷営業所 〒710-0826 岡山県倉敷市老松町3丁目14-20 401号室 TEL (086)422-7560㈹ FAX (086)430-0172 U R L http://www.everloy-spray-nozzles.com/ E-mail [email protected] Rc 1/8 液体 23.5 33.5 本 社 Rc 1/8 18 液体 14 12 16 26.5 ノズルの総合メーカー M14×1 M10×0.75 M8×0.75 液体 3 空気 19 加圧液体タンク 29 液体タンク 1 2 空気 空気 株式 会社 φ4 φ4 φ4 φ4 Rc 1/8 Rc 1/8 使用温度範囲 [℃] 液体 ノズル 株式 会社 適用チューブ・ 継手サイズ ※1 高粘度液体を噴霧させる場合は、使用条件についてご相談ください。 ※2 オプションでφ6に変更できます。 ON/OFF バルブ 加圧ポンプ ・消臭・除菌液の散布 仕 様 レギュレーター 二方向電磁弁 液体 二方向電磁弁 噴霧用 エアー ・精密部品の洗浄 このシリーズのノズルには、流量調節バルブ等の流量調節手段が別途必要です。 流量調節機構付ON/OFFバルブをご使用いただくか、市販の流量調節バルブ(流量調節方法に記載)をご使用ください。 タンク加圧式 二方向電磁弁 レギュレーター ・コーティング ・シンプルな構造で、分解・メンテナンスも容易にできます。 パイロット エアー 液量調節範囲 用 途 ・低粘度~高粘度液体まで、微粒化噴霧することが可能です。 ・液通路径が大きく、詰まり対策に有効です。 噴霧用 エアー 作動空気圧 特 長 ・極微少流量から豊富なラインナップを揃えています。 液体 MOV-MH が可能なノズルです。噴霧流量も 0.5~500 mL/minまで対応できるラインナップ を揃えています。構造もシンプルで、液通路径も大きく、詰まり対策にも有効な MMA (MOV コンパクト型) 噴霧用 エアー 型 番 短納期対応製品 極少量微細噴霧が可能で離型剤噴霧や コーティングに最適なスプレーノズル 液体 ■ 精密流量調節型 MMAE型・MMA型 14 ■ 簡易流量調節型 高粘度液体微粒化スプレーノズル ミニアトマイズノズル 38 37.5 ■ 部品表 番号 部品名 材質 番号 部品名 材質 1 本体 SUS316L 4 φ4チューブ継手(エルボ) 2 Oリング FKM 5 φ4チューブ継手(ストレート) 3 ナット SUS316L ※3 ※3 SUS303+樹脂 SUS316+樹脂 ※3 MMAE9, MMA10・30・50に付属 ISO 9001/14001 認証取得 LEAF.16J-R4-1403
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