ピエゾドライバ（300V 未満）

1102091018-160
ピエゾドライバ（300V 未満）
出力電流
型式
チャン
ネル数
出力電圧
V
最大
±mA
ピーク
±mApk
周波数
実効値
mArm
s
平均
mAavg
特性
ゲイン
ｋHz
出力
ノイズ
mVrms
入力
電圧
V
外観
±10
M-26107
1
-10~150
5000
15000
3535.5
3185.2
100
0～30
無負荷時
可変
5mVrms
430W×200H×330D
M-2629
M-2629B
-10~150
100
100
70.7
63.7
±150
50
50
35.4
31.9
-10~300
50
－
―
－
-150~10
100
100
70.7
63.7
M-2629NH
-300~10
50
―
―
―
M-26116
-15~
M-2629H
M-2629N
1～6
ka
100
0～30
可変
無負荷時
±10
3 mVrms
430W×150H×300D
30／
1
＋150
50
300
111
100
100
15 倍
切替
注1
±10
99W×160H×280D
可
M-2691
1
150
5
5
3.5
3.2
0.8
30 固
定
1.4μF
負荷時
0～5
1mVrms
50W×20H×75D
5.62ｕＦ
M-2654
1
-10~150
50
300
35.4
31.9
50
30 固
負荷時
定
＜
±5
50uVrms
M-26109
-15~150
750
3000
1665
M-26109B
100
±150
375
1500
832.5
ka
30／
1500
1
180W×108H×240D
750
15 倍
切替
注1
±10
可
240W×148H×340D
ka
M-26105
（マニュアル
1.5μF
３
0～150
10
10
7.1
6.4
－
－
負荷時
－
2ｍVrms
駆動専用）
180W×66H×180D
ka
-11
1102091018-160
ピエゾドライバ（300V 未満）
型式
M-26110-1
チャ
ンネ
ル数
出力電圧
V
出力電流
最大
±mA
ピーク
±mApk
周波数
実効値
mArms
平均
mAavg
特性
ゲイン
ｋHz
出力
ノイズ
mVrms
入力
電圧
V
注1
±10
1
30／
-15~150
M-26110-3
外観
250
1500
555
500
100
3
15 倍
260W×150H×330D
切替可
ka
430W×150H×430D
ka
M-2695
2
-15~150
100
300
70.7
63.7
50
0~15
可変
無負荷時
0.5
±10
mVrms
210W×150H×280D
ka
M-2131
「広帯域高電力電源装置」の欄をご参照ください
M-2141
ピエゾドライバ（300V 以上）
型式
Ch
V
周波数
出力電流
出力電圧
特性
最大
±mA
ピーク
±mApk
10
30
mArms
平均
mAavg
ｋHz
7.1
6.4
30
実効値
ゲイン
出力ノイ
ズ
入力
電圧
外観
V
300
M-2620A
3
(出力制限
設定可能
140V～)
可変
注２
±10
200W×100H×330D
ka
M-2629H
「ピエゾドライブ（300V 未満）
」の欄をご参照ください
M-2629NH
M-2682
0～30
1
±300
100
100
70.7
63.7
100
30
<
固定
2mVrms
±10
320W×120H×220D
M-2682-150
1
±150
200
200
141.4
127.4
100
30
<
固定
2mVrms
320W×120H×220D
±10
320W×120H×220D
-22
1102091018-160
ピエゾドライバ（300V 以上）
型式
M-2683
チャンネ
ル数
1
出力電圧
V
+300
出力電流
ゲイン
出力
ノイズ
mVrms
30 固
<
定
2mVrms
周波数
最大
±mA
ピーク
±mApk
mArms
平均
mAavg
200
200
141.4
127.4
実効値
特性
ｋHz
100
入力
電圧
V
外観
±10
320W×120H×220D
0～
M-2601
1
±600
100
120
―
―
20
1000
可変
20
mVrms
±10
320W×225H×430D
M-2696
1
±350
100
1000
70.7
63.7
30
35 固
定
無負荷に
て
±10
2mVrms
320W×120H×220D
35 固
M-2505
定
1
±350
100
1000
70.7
63.7
30
無負荷に
て
±10
2mVrms
360W×124H×250D
M-2687
１
1000
8
8
5.7
5.1
1
100 固
定
0～
M-2648
1
1000
100
100
70.7
63.7
20
100
可変
無負荷に
て
±10
2mVrms
20
mVrms
260W×100H×180D
±10
320W×225H×430D
M-2634
1
±1500
100
100
70.7
63.7
M-2637
1
±1000
100
100
70.7
63.7
60
mVrms
6
M-2638
M-2639
1
1
2000
-2000
100
100
100
―
70.7
63.7
―
―
0～
50
1000
mVrms
可変
50
mVrms
50
mVrms
±10
±10
±10
M-2634：300W×400H×430D
±10
他：430W×200H×430D
-33
1102091018-160
広帯域直流増幅器
型式
チャン
ネル
数
出力電圧
V
1
±150
出力電流
最大
±mA
ピーク
±mApk
3000
3000
ゲイン
出力
ノイズ
mVrms
入力
電圧
V
ステップ
20
±12
可変
mVrms
周波数
特性
mArms
平均
mAavg
2121.3
1911.1
DC
実効値
ｋHz
外観
M2131
~1000
0~30
実効値出力 100V200W の高周波電源装置として使用できます。
ＪＩＳラック寸法
430W×200H×430D
M2141
１
±150
375
3000
750
830
15 固定
DC
~1000
2
±10
mVrms
320W×149H×350D
特殊型ピエゾドライバ（STM その他の多軸微細駆動用）
型式
チャン
ネル
数
出力電圧
V
出力電流
最大
±mA
ピーク
±mApk
実効値
mArms
平均
mAavg
3
M-2679
6
±150
5
5
ゲイン
出力
ノイズ
mVrms
0～
無負荷に
周波数
3.5
3.2
特性
ｋHz
10
9
30
て
可変
2mVrms
入力
電圧
V
外観
±10
133W×260H×430D
M-2680
M-2680-150
±300
50
50
35.4
31.9
6
30
±150
100
100
90.7
0～
無負荷に
30
て
可変
2mVrms
±10
63.7
200W×260H×430D
-44
1102091018-160
M-2501 シリーズ
組込み用ピエゾドライバ
多数のご要望にお応えし組込み用のピエゾドライバを開発しました。これらの組込み用ピエゾドライバにより
超微動制御機器の設計が容易に,且つ安価に出来るようになります。
最低限の機能に特化した小型・ローコスト設計ですが、保護回路は当社標準機と同等です。
低速〔数１０Hz 以下〕のピエゾステージ駆動から高速駆動（大電流タイプ）まで
様々なアプリケーションにご使用頂けます。チャンネル数・形状・性能等カスタムにもお応えします。
ＤＣ12Ｖ電源タイプ･････････････ M-2501
ＡＣ100Ｖ電源タイプ････････････ M-2502
高出力タイプもご用意しました････ M-2503
(最大出力電流 1.3A 平均（2Apeak）の高出力、ローコスト)
その他
信号発生器を内蔵させる等のカスタムに対応可能です。
M-2503
M-2501-1、M-2502-1
型式
M-2501-1
M-2502-1
M-2503
M-2505
チャンネル数
1
1
1
1
電源電圧
ＤＣ１２Ｖ（２A）
ＡＣ１００Ｖ
±３５０V
－８～１５０Ｖ
出力電圧
50
50
1300
100
ピーク（±mApk）
300
300
2000
1000
実効値（mArms）
35.4
35.4
919.2
70.7
平均（mAavg）
31.9
31.9
828.1
63.7
最大（±mA）
出力電流
×15 ・×30
ゲイン
±0.１以下
直線性（％）
50KHz
周波数特性
ノイズ（ｒｍｓ）
×35
50μＶ
200μＶ
30KHz
300μＶ
2mV無負荷
使用温度条件
－10～50℃ （ケース表面温度)
0～40℃
ドリフト
5mV/℃ （出力において）
±8mV/℃
寸法(WDH)
184×112×71
184×151×71
131.5×243Ｈ×280
360×250×124
・ピーク出力電流値は、「10mSの矩形パルスを 50mS間隔で連続して供給」という規定です。
・ピエゾドライバ出力には高周波のノイズ成分が含まれますが、ピエゾ素子は大きな静電容量を持っている為にその大部分
はシャントされ出力電圧（＝変位）には現れません。したがってこの規格では約５．４μFを負荷（擬似ピエゾ）としてノイズを
測定しています。
-55
1102091018-160
ピエゾコントローラー
M-2510
Piezo controller
・
・
・
・
・
・
制御回路、センサーアンプ、ピエゾドライバーを一体化し、ス
テージと接続してクローズドループ制御が行えるピエゾコン
トローラーです。
センサー内蔵ステージで、歪ゲージ、静電容量センサーに対応
「ひずみゲージセンサー内蔵のピエゾ（各メーカー）
」に対応
可能
USB インターフェース（オプション）
ローコスト！！
低ノイズ
仕様 Technical Data
注釈
型式 Models
M-2510S
チャンネル数
M-2510C
1
Channels
対応センサー
Sensor type
入力
Input voltage
入力抵抗
Input resistance
PC インターフェース
ひずみゲージ / Strain Gauge Sensor
静電容量センサー / Capacitive Sensor
-10V ～ +10V （BNC コネクタ）
100kΩ
PC Interface
USB（オプション）
出力電圧
Output voltage
出力電流
Output current(max)
50mA
Output volt-noise
2mVrms 以下
出力ノイズ
-10Ｖ～ +150V（BNC コネクタ）
26 回転ポテンショメータ
出力電圧設定(オフセット電圧)
セット分解能：0.05%（80mV)
DC-offset
*1
-10V～+150V まで可変
フロントパネルOffset で可変
周波数特性
Bandwidth
10kHz (–3dB)
センサーコネクタ
Sensor connector
制御
Operation type
Feedback Open／Closed トグルスイッチ切換え
Displacement Monitor
-10V ～ +10V (出力抵抗1kΩ・BNC コネクタ)
変位モニター
変位モニター出力ノイズ
LEMO 0S.304
LEMO 0S.650
1mVrms 以下
3mVrms 以下
Displacement Monitor noise
電源
AC100 ～ 240V 50Hz／60Hz
Operating Voltage
消費電流（AC100V）
0.2A
Consumption electric current
外形寸法・重量
Dimensions, weight
120W×150H×270D、2.6kg
120W×150H×270D、2.7kg
温度：0～40℃
使用環境
湿度：85％RH 以下
Environment
環境：直射日光の当らない、腐食性物質を含まないほぼ１気圧の室内
注釈
Typical（代表値）を記載しております。
*1
パネル面上にてマイナスドライバーで調整できます
6
www.mess-tek.co.jp
[email protected]
Phone.048-464-5001
1102091018-160
M-26109 シリーズ
Piezo Driver
ピエゾコントローラー
(Open Loop Model)
M-26109
M-26109B（バイポーラタイプ）
M-26109C （静電容量センサー）
M-26019S （歪ゲージセンサー）
Piezo Controller (Closed Loop Model)
特徴
・大容量負荷や高速駆動に最適です。
・出力 ON/OFF 時、緩やかに所要の電圧まで出力します。
これにより、ピエゾアクチュエーター等の負荷を保護します。
・拡張ユニットを搭載することで、クローズド制御も可能です。
（ひずみゲージセンサー or 静電容量センサー）
・ USB インターフェースを搭載する事で、PC からの制御も可
能です。
M-26109C Piezo Controller
拡張ユニット、インターフェース搭載により、様々なご要望にお
答えします。
サーボユニット M-5106
静電容量変位計
M-2218
仕様 Technical Data
型式 Open loop model
チャンネル数
入力
入力抵抗
1
Input voltage
-10V ～ +10V （BNC コネクタ）
Input resistance
100kΩ
PC インターフェース
PC Interface**
出力電圧
Output voltage
出力電圧モニター
出力電流
M-26109B
M-26109
Channels
USB
-15Ｖ～ +150V（BNC コネクタ）
Monitor
最大±750mA、
Output current(continuous)
出力ノイズ
ピーク±3000mApk、
2mV rms 以下
3.5 桁デジタル数値表示
Operating voltage
AC100V 50Hz／60Hz
Dimensions
温度：0～40℃ 、湿度：85％RH 以下
M-26109S
M-26109C
Channels
ひずみゲージ
Strain
搭載ユニット型式
Gauge
静電容量センサー
Sensor
Capacitive
M-5106
Operation type
変位モニター出力ノイズ
PI 制御 Servo
*
Display
－
1
対応センサー
表示器
ヒューズ
環境：直射日光の当らない、腐食性物質を含まないほぼ１気圧の室内
型式 Closed loop model
制御
インレット
W320×D350×H149
使用環境
チャンネル数
切換え
×15・×30
Display
外形寸法
Fine/Coarse プッシュ切換え
100kHz (–3dB)
Gain
電源
約-150～ +150V 可変
ロータリーエンコーダ
Bandwidth
表示器
ピーク±1500mApk、
実効値 832.5mAmrs、平均 750mAavg
約-15V～ +150V 可変
出力電圧設定(オフセット電圧) DC-offset
利得
最大±375mA、
実効値 1665mAmrs、平均 1500mAavg
Output volt-noise
周波数特性
-150V～+150V（BNC コネクタ）
出力電圧の 1/100V（BNC コネクタ）
M-5106
ON／OFF
10mVrms
Sensor
M-2216
バイポーラタイプは、Closed
loop model はありません。
スイッチ（M-5106）
2mVrms
4.5 桁デジタル数値表示（µm・V 切換え可）
*
弊社標準品ピエゾステージ MA-140XLS、MA-140XLC との組み合わせ（Typ.）
**
オプション
注：本書に記載されている内容は予告無しに変更することがあります。
7
1102091018-160
M-26110 シリーズ
ピエゾコントローラー
Piezo Driver
(Open Loop Model) M-26110-1 (1ch) , M-26110-3 (3ch)
Piezo Controller (Closed Loop Model) M-26110C-1(1ch) , M-26110C-3 (3ch) （静電容量センサ
ー）
M-26110S-1(1ch) , M-26110S-3 (3ch) （歪ゲージセンサー）
特徴
M-26110-3
・平均電流 0.5A（ピーク電流 1.5A）で大容量負荷や高速駆動
に最適です。
・出力 ON/OFF 時、緩やかに所要の電圧まで出力します。
これにより、ピエゾアクチュエーター等の負荷を保護します。
・拡張ユニットを搭載することで、クローズド制御も可能で
す。（ひずみゲージセンサー or 静電容量センサー）
・ GPIB or USB インターフェースを搭載する事で、PC からの
制御も可能です。
M-26110-1
拡張ユニット、インターフェース搭載により、様々なご要望にお
答えします。
静電容量変位計 M-2218
サーボユニット M-5106
仕様 Technical Data
型式 Open loop model
チャンネル数
M-26110-1 （1Ch）
Channels
入力
1
3
Input voltage
入力抵抗
-10V ～ +10V （BNC コネクタ）
Input resistance
PC インターフェース
出力電圧
100kΩ
PC Interface**
USB or GPIB
Output voltage
-15Ｖ～ +150V（BNC コネクタ）
出力電圧モニター
出力電流
M-26110-3 （3Ch）
Monitor
出力電圧の 1/100 V （BNC コネクタ）
Output current(continuous)
出力ノイズ
平均 0.5A、ピーク 1.5A
Output volt-noise
2mV rms 以下
出力電圧設定(オフセット電圧) DC-offset
約-15V～ +150V 可変(ロータリーエンコーダ)
周波数特性
Bandwidth
利得
Gain
表示器
電源
×15・×30 切換え
Display
3.5 桁デジタル数値表示 LED
Operating voltage
外形寸法
AC100V 50Hz／60Hz インレットヒューズ
Dimensions
260W×150H×330D
環境：直射日光の当らない、腐食性物質を含まないほぼ１気圧の室内
型式 Closed loop model
M-26110S-1
M-26110C-1
M-26110S-3
ひずみゲージ
静電容量センサー
ひずみゲージ
静電容量センサー
Strain Gauge Sensor
Capacitive Sensor
Strain Gauge Sensor
Capacitive Sensor
M-5106
M-5106 M-2216
M-5106
M-5106 M-2216
Channels
対応センサー
搭載ユニット型式
制御
1
Operation type
変位モニター出力ノイズ
表示器
430W×150H×430D
温度：0～40℃ 、湿度：85％RH 以下
使用環境
チャンネル数
Fine/Coarse プッシュ切換え
100kHz (–3dB)
*
M-26110C-3
3
PI 制御 Servo ON／OFF スイッチ（M-5106）
10mVrms
Display
*
弊社標準品ピエゾステージ MA-140XLS、MA-140XLC との組み合わせ（Typ.）
**
オプション
2mVrms
10mVrms
2mVrms
4.5 桁デジタル数値表示 LED（µm・V 切換え可）
注：本書に記載されている内容は予告無しに変更することがあります。
www.mess-tek.co.jp
[email protected]
Phone.048-464-5001
1102091018-160
ピエゾコントローラー
M-26118
Piezo controller
・制御回路、センサーアンプ、ピエゾドライバーを一体化し、ステージと
接続してクローズドループ制御が行えるピエゾコントローラー
・
センサー内蔵ステージで、歪ゲージ、静電容量センサーに対応
・
「ひずみゲージセンサー内蔵のピエゾ（各メーカー）
」に対応可能
・
USB インターフェース（オプション）
・
ローコスト
・
低ノイズ
・
1ch または 3ch タイプ
・
パネル面で下記の調整が可能
各チャンネルの変位表示
Open/closed フィードバック切り換え
変位センサーゲイン・積分時定数・フィルタの調整
仕様 Technical Data
注釈
型式 Models
M-26118S-1
チャンネル数
Channels
対応センサー
Sensor type
M-26118S-3
1
M-26118C-1
3
ひずみゲージ
/
Strain
Gauge
1
Input voltage
入力抵抗
Input resistance
100kΩ
PC Interface
USB（オプション）
Output voltage
-10Ｖ～ +150V（BNC コネクタ）
出力電圧
出力電流
周波数特性
2mVrms 以下
Coarse ステップ電圧レバー／Fine ステップ電圧レバー（16Bit）
Bandwidth
Sensor connector
制御
Operation type
Sensor
レバー型トグルスイッチ×2
DC-offset
センサーコネクタ
Capacitive
50mA（最大）
Output volt-noise
出力電圧設定(オフセット電圧)
/
-10V ～ +10V （BNC コネクタ）
Output current(continuous)
出力ノイズ
3
静電容量センサー
Sensor
入力
PC インターフェース
M-26118C-3
10kHz (–3dB)
LEMO 0S.304
LEMO
Feedback Open／Closed
0S.650
スライドスイッチ切り換え
・Balance（ひずみゲージブリッジバランス）
（静電容量センサタイプは未使用）
変位調整
Displacement adjustment
・Gain（変位計アンプゲイン）
*2
・Zero（変位計アンプオフセット）
センサー原点モニター Sensor origin monitor
変位モニター
-10V ～ +10V（BNC コネクタ）（静電容量センサタイプは未使用）
0V ～ +10V (出力抵抗 1kΩ・BNC コネクタ)
Displacement Monitor
変位モニター出力フィルタ
積分時定数調整
Filter
Time
Filter 切り換えスイッチ（Through,500Hz,100Hz,30Hz）
Constant
Time
変位モニター出力ノイズ
*2
300µVrms／Through（=1.5kHz）
*1
100µVrms／100Hz
600µVrms／100Hz
Display
電源
*2
4 段切り換えスイッチ（Long,・,・,Short）
3mVrms／Through（=1.5kHz）
Displacement Monitor noise
表示器
Constant
5 桁デジタル（D.P.M. Select スイッチで µm・V 表示切換え可）
Operating Voltage
AC100 ～ 240V 50Hz／60Hz
消費電流（AC100V）
0.3A
0.5A
0.3A
0.5A
99W×160H×280D、
260W×149H×350D、
99W×160H×280D、
260W×149H×350D、
2.5kg
6.5kg
2.5kg
6.5kg
Consumption electric current
外形寸法・重量
Dimensions, weight
温度：0～40℃
使用環境
Environment
湿度：85％RH 以下
環境：直射日光の当らない、腐食性物質を含まないほぼ１気圧の室内
注釈
*1
*2
Typical（代表値）
パネル面上にてマイナストライバーで調整できます
www.mess-tek.co.jp
[email protected]
Phone.048-464-5001
1102091018-160
M-2629S(C)
多チャンネルピエゾコントローラー
Piezo controller
特徴
・
・
・
・
・
イメージ（実物とは若干異なります）
当社標準ピエゾドライバーM-2629 シリーズに M-5106 サーボユ
ニットを搭載することでひずみゲージセンサーによるピエゾス
テージのフィードバック制御が可能
さらに静電容量変位計 M-2218 を搭載することで静電容量変位
センサーでのフィードバック制御も可能
JIS ラックに搭載可能
「ひずみゲージセンサー内蔵のピエゾ（各メーカー）
」に対応
オプションで USB インターフェース搭載可能
サーボユニット M-5106
静電容量変位計
M-2218
仕様 Technical Data
型式 Models
M-2629S
チャンネル数
Channels
対応センサー
Sensor type
入力
M-2629C
1～4ch（+M-5106）
ひずみゲージ /
Strain
Gauge
Input voltage
入力抵抗
Sensor
PC Interface
出力電圧
Output voltage
センサーコネクタ
制御
Output volt-noise
BNC コネクタ）
2mV rms 以下（M-2629）
Bandwidth
100kHz (–3dB)（M-2629）
Sensor connector
LEMO 0S.304（M-5106）
Operation type
PI 制御
LEMO
Servo
ON／OFF
Zero
0V ～ +10V
変位モニター出力ノイズ *
10mVrms
Display
(M-5106
0S.650（M-2218）
スイッチ（M-5106）
半固定ポテンショメーター
Monitor
（M-5106）
出力抵抗 1kΩ・BNC コネクタ)
2mVrms
3.5 桁デジタル数値表示（ピエゾドライバ電圧表示）
Operating voltage
AC100V
50Hz／60Hz
インレット
無負荷：1A 以下
消費電流
外形寸法・重量
OUTPUT
10 回転ダイアルポテンショメーター(M-2629)
変位モニター出力
電源
Sensor
BNC コネクタ）
100mA（M-2629 最大電流）
センサーオフセット調整 **
表示器
+M-2218）
Capacitive
（但し M-2629S-4 は搭載不可）
-10Ｖ～ +150V（M-2629
出力電圧設定(オフセット電圧) DC-offset
周波数特性
/
100kΩ（M-2629）
USB（オプション）リアパネル
Output current(continuous)
出力ノイズ
静電容量センサー
-10V ～ +10V （M-2629
Input resistance
PC インターフェース
出力電流
1～3ch（+M-5106
定格負荷：1.8A 以下
Dimensions, weight
430W×150H×300D、10kg
（M-2629C-3 の時（フル装備搭載時））
温度：0～40℃
使用環境
湿度：85％RH 以下
環境：直射日光の当らない、腐食性物質を含まないほぼ１気圧の室内
*
弊社ピエゾステージとの組み合わせ（Typ.）
**
パネル面上にてマイナストライバーで調整できます
M-2629S⇒MA-140XLS、M-2629C⇒MA-140XLC、
注：本書に記載されている内容は予告無しに変更することがあります。
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2 軸チルトステージ専用コントローラ
M-2629PS-4
Piezo controller
特徴
・当社標準ピエゾドライバーM-2629 シリーズに M-5106 サーボユ
ニットを搭載することひずみゲージセンサーによるピエゾス
テージのフィードバック制御が可能
・ MQ-2TXYDS チルトステージの専用コントローラで
出力は 2 軸（4ch）プッシュプル駆動用出力
・ JIS ラックに搭載可能
・オプションで USB インターフェース搭載可能
イメージ（実物とは若干異なります）
プッシュプル駆動
2 軸チルトステージ
MQ-2TXYDS
サーボユニット
M-5106
CH1
(CH3)
+10V
IN
+1
0V
Pow
amp
OUT
Pow
amp
OUT
0V...150V
CH2
(CH4)
-1
150V...0V
Piezo
仕様 Technical Data
M-2629PS-4
型式 Models
チャンネル数
Channels
対応センサー
4ch（2 チャンネルプッシュプル駆動用出力×2）
Sensor type
入力
ひずみゲージ
Input voltage
入力抵抗
Input resistance
PC インターフェース
PC Interface
出力電圧
Output voltage
出力電流
/
-10Ｖ～ +150V（M-2629
制御
2mV rms 以下（M-2629）
10 回転ダイアルポテンショメーター(M-2629)
Bandwidth
90kHz (–3dB)
Sensor connector
LEMO 0S.304（M-5106）
Operation type
PI 制御
Servo
0V ～ +10V
(M-5106
スイッチ（M-5106）
半固定ポテンショメーター
Monitor
変位モニター出力ノイズ *
（M-5106）
出力抵抗 1kΩ・BNC コネクタ)
10mVrms
Display
3.5 桁デジタル数値表示（ピエゾドライバ電圧表示）
Operating voltage
AC100V
50Hz／60Hz
インレット
無負荷：1A 以下
消費電流
外形寸法・重量
ON／OFF
Zero
変位モニター出力
電源
BNC コネクタ）
100mA（M-2629 最大電流）
センサーオフセット調整 **
表示器
OUTPUT
CH1-θX1（CH3-θY3）が+150V の時 CH2-θX2（CH4-θY4）は 0V となります
出力電圧設定(オフセット電圧) DC-offset
センサーコネクタ
Sensor
100kΩ
Output volt-noise
周波数特性
Gauge
BNC コネクタ）
USB（オプション）リアパネル
Output current(continuous)
出力ノイズ
Strain
-10V ～ +10V （M-2629
定格負荷：1.8A 以下
Dimensions, weight
430W×150H×300D、10kg
温度：0～40℃
使用環境
湿度：85％RH 以下
環境：直射日光の当らない、腐食性物質を含まないほぼ１気圧の室内
*
弊社ピエゾステージとの組み合わせ（Typ.）
MQ-2TXYDS
**
パネル面上にてマイナストライバーで調整できます
注：本書に記載されている内容は予告無しに変更することがあります。
www.mess-tek.co.jp
[email protected]
Phone.048-464-5001

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