1102091018-160 ピエゾドライバ (300V 未満) 出力電流 型式 チャン ネル数 出力電圧 V 最大 ±mA ピーク ±mApk 周波数 実効値 mArm s 平均 mAavg 特性 ゲイン kHz 出力 ノイズ mVrms 入力 電圧 V 外観 ±10 M-26107 1 -10~150 5000 15000 3535.5 3185.2 100 0~30 無負荷時 可変 5mVrms 430W×200H×330D M-2629 M-2629B -10~150 100 100 70.7 63.7 ±150 50 50 35.4 31.9 -10~300 50 - ― - -150~10 100 100 70.7 63.7 M-2629NH -300~10 50 ― ― ― M-26116 -15~ M-2629H M-2629N 1~6 ka 100 0~30 可変 無負荷時 ±10 3 mVrms 430W×150H×300D 30/ 1 +150 50 300 111 100 100 15 倍 切替 注1 ±10 99W×160H×280D 可 M-2691 1 150 5 5 3.5 3.2 0.8 30 固 定 1.4μF 負荷時 0~5 1mVrms 50W×20H×75D 5.62uF M-2654 1 -10~150 50 300 35.4 31.9 50 30 固 負荷時 定 < ±5 50uVrms M-26109 -15~150 750 3000 1665 M-26109B 100 ±150 375 1500 832.5 ka 30/ 1500 1 180W×108H×240D 750 15 倍 切替 注1 ±10 可 240W×148H×340D ka M-26105 (マニュアル 1.5μF 3 0~150 10 10 7.1 6.4 - - 負荷時 - 2mVrms 駆動専用) 180W×66H×180D ka -11 1102091018-160 ピエゾドライバ (300V 未満) 型式 M-26110-1 チャ ンネ ル数 出力電圧 V 出力電流 最大 ±mA ピーク ±mApk 周波数 実効値 mArms 平均 mAavg 特性 ゲイン kHz 出力 ノイズ mVrms 入力 電圧 V 注1 ±10 1 30/ -15~150 M-26110-3 外観 250 1500 555 500 100 3 15 倍 260W×150H×330D 切替可 ka 430W×150H×430D ka M-2695 2 -15~150 100 300 70.7 63.7 50 0~15 可変 無負荷時 0.5 ±10 mVrms 210W×150H×280D ka M-2131 「広帯域高電力電源装置」の欄をご参照ください M-2141 ピエゾドライバ (300V 以上) 型式 Ch V 周波数 出力電流 出力電圧 特性 最大 ±mA ピーク ±mApk 10 30 mArms 平均 mAavg kHz 7.1 6.4 30 実効値 ゲイン 出力ノイ ズ 入力 電圧 外観 V 300 M-2620A 3 (出力制限 設定可能 140V~) 可変 注2 ±10 200W×100H×330D ka M-2629H 「ピエゾドライブ(300V 未満) 」の欄をご参照ください M-2629NH M-2682 0~30 1 ±300 100 100 70.7 63.7 100 30 < 固定 2mVrms ±10 320W×120H×220D M-2682-150 1 ±150 200 200 141.4 127.4 100 30 < 固定 2mVrms 320W×120H×220D ±10 320W×120H×220D -22 1102091018-160 ピエゾドライバ (300V 以上) 型式 M-2683 チャンネ ル数 1 出力電圧 V +300 出力電流 ゲイン 出力 ノイズ mVrms 30 固 < 定 2mVrms 周波数 最大 ±mA ピーク ±mApk mArms 平均 mAavg 200 200 141.4 127.4 実効値 特性 kHz 100 入力 電圧 V 外観 ±10 320W×120H×220D 0~ M-2601 1 ±600 100 120 ― ― 20 1000 可変 20 mVrms ±10 320W×225H×430D M-2696 1 ±350 100 1000 70.7 63.7 30 35 固 定 無負荷に て ±10 2mVrms 320W×120H×220D 35 固 M-2505 定 1 ±350 100 1000 70.7 63.7 30 無負荷に て ±10 2mVrms 360W×124H×250D M-2687 1 1000 8 8 5.7 5.1 1 100 固 定 0~ M-2648 1 1000 100 100 70.7 63.7 20 100 可変 無負荷に て ±10 2mVrms 20 mVrms 260W×100H×180D ±10 320W×225H×430D M-2634 1 ±1500 100 100 70.7 63.7 M-2637 1 ±1000 100 100 70.7 63.7 60 mVrms 6 M-2638 M-2639 1 1 2000 -2000 100 100 100 ― 70.7 63.7 ― ― 0~ 50 1000 mVrms 可変 50 mVrms 50 mVrms ±10 ±10 ±10 M-2634:300W×400H×430D ±10 他 :430W×200H×430D -33 1102091018-160 広帯域直流増幅器 型式 チャン ネル 数 出力電圧 V 1 ±150 出力電流 最大 ±mA ピーク ±mApk 3000 3000 ゲイン 出力 ノイズ mVrms 入力 電圧 V ステップ 20 ±12 可変 mVrms 周波数 特性 mArms 平均 mAavg 2121.3 1911.1 DC 実効値 kHz 外観 M2131 ~1000 0~30 実効値出力 100V200W の高周波電源装置として使用できます。 JISラック寸法 430W×200H×430D M2141 1 ±150 375 3000 750 830 15 固定 DC ~1000 2 ±10 mVrms 320W×149H×350D 特殊型ピエゾドライバ (STM その他の多軸微細駆動用) 型式 チャン ネル 数 出力電圧 V 出力電流 最大 ±mA ピーク ±mApk 実効値 mArms 平均 mAavg 3 M-2679 6 ±150 5 5 ゲイン 出力 ノイズ mVrms 0~ 無負荷に 周波数 3.5 3.2 特性 kHz 10 9 30 て 可変 2mVrms 入力 電圧 V 外観 ±10 133W×260H×430D M-2680 M-2680-150 ±300 50 50 35.4 31.9 6 30 ±150 100 100 90.7 0~ 無負荷に 30 て 可変 2mVrms ±10 63.7 200W×260H×430D -44 1102091018-160 M-2501 シリーズ 組込み用ピエゾドライバ 多数のご要望にお応えし組込み用のピエゾドライバを開発しました。これらの組込み用ピエゾドライバにより 超微動制御機器の設計が容易に,且つ安価に出来るようになります。 最低限の機能に特化した小型・ローコスト設計ですが、保護回路は当社標準機と同等です。 低速〔数10Hz 以下〕のピエゾステージ駆動から高速駆動(大電流タイプ)まで 様々なアプリケーションにご使用頂けます。チャンネル数・形状・性能等 カスタムにもお応えします。 DC12V電源タイプ・・・・・・・・・・・・・ M-2501 AC100V電源タイプ・・・・・・・・・・・・ M-2502 高出力タイプもご用意しました・・・・ M-2503 (最大出力電流 1.3A 平均(2Apeak)の高出力、ローコスト) その他 信号発生器を内蔵させる等のカスタムに対応可能です。 M-2503 M-2501-1、M-2502-1 型式 M-2501-1 M-2502-1 M-2503 M-2505 チャンネル数 1 1 1 1 電源電圧 DC12V(2A) AC100V ±350V -8~150V 出力電圧 50 50 1300 100 ピーク(±mApk) 300 300 2000 1000 実効値(mArms) 35.4 35.4 919.2 70.7 平均(mAavg) 31.9 31.9 828.1 63.7 最大(±mA) 出力電流 ×15 ・×30 ゲイン ±0.1以下 直線性(%) 50KHz 周波数特性 ノイズ(rms) ×35 50μV 200μV 30KHz 300μV 2mV無負荷 使用温度条件 -10~50℃ (ケース表面温度) 0~40℃ ドリフト 5mV/℃ (出力において) ±8mV/℃ 寸法(WDH) 184×112×71 184×151×71 131.5×243H×280 360×250×124 ・ピーク出力電流値は、「10mSの矩形パルスを 50mS間隔で 連続して供給」という規定です。 ・ピエゾドライバ出力には高周波のノイズ成分が含まれますが、ピエゾ素子は大きな静電容量を持っている為にその大部分 はシャントされ出力電圧(=変位)には現れません。したがってこの規格では約5.4μFを負荷(擬似ピエゾ)としてノイズを 測定しています。 -55 1102091018-160 ピエゾコントローラー M-2510 Piezo controller ・ ・ ・ ・ ・ ・ 制御回路、センサーアンプ、ピエゾドライバーを一体化し、ス テージと接続してクローズドループ制御が行えるピエゾコン トローラーです。 センサー内蔵ステージで、歪ゲージ、静電容量センサーに対応 「ひずみゲージセンサー内蔵のピエゾ(各メーカー) 」に対応 可能 USB インターフェース(オプション) ローコスト!! 低ノイズ 仕様 Technical Data 注釈 型式 Models M-2510S チャンネル数 M-2510C 1 Channels 対応センサー Sensor type 入力 Input voltage 入力抵抗 Input resistance PC インターフェース ひずみゲージ / Strain Gauge Sensor 静電容量センサー / Capacitive Sensor -10V ~ +10V (BNC コネクタ) 100kΩ PC Interface USB(オプション) 出力電圧 Output voltage 出力電流 Output current(max) 50mA Output volt-noise 2mVrms 以下 出力ノイズ -10V ~ +150V(BNC コネクタ) 26 回転ポテンショメータ 出力電圧設定(オフセット電圧) セット分解能:0.05%(80mV) DC-offset *1 -10V~+150V まで可変 フロントパネルOffset で可変 周波数特性 Bandwidth 10kHz (–3dB) センサーコネクタ Sensor connector 制御 Operation type Feedback Open/Closed トグルスイッチ切換え Displacement Monitor -10V ~ +10V (出力抵抗1kΩ・BNC コネクタ) 変位モニター 変位モニター出力ノイズ LEMO 0S.304 LEMO 0S.650 1mVrms 以下 3mVrms 以下 Displacement Monitor noise 電源 AC100 ~ 240V 50Hz/60Hz Operating Voltage 消費電流(AC100V) 0.2A Consumption electric current 外形寸法・重量 Dimensions, weight 120W×150H×270D、2.6kg 120W×150H×270D、2.7kg 温度:0~40℃ 使用環境 湿度:85%RH 以下 Environment 環境:直射日光の当らない、腐食性物質を含まないほぼ1気圧の室内 注釈 Typical(代表値)を記載しております。 *1 パネル面上にてマイナスドライバーで調整できます 6 www.mess-tek.co.jp [email protected] Phone.048-464-5001 1102091018-160 M-26109 シリーズ Piezo Driver ピエゾコントローラー (Open Loop Model) M-26109 M-26109B(バイポーラタイプ) M-26109C (静電容量センサー) M-26019S (歪ゲージセンサー) Piezo Controller (Closed Loop Model) 特徴 ・ 大容量負荷や高速駆動に最適です。 ・ 出力 ON/OFF 時、緩やかに所要の電圧まで出力します。 これにより、ピエゾアクチュエーター等の負荷を保護します。 ・ 拡張ユニットを搭載することで、クローズド制御も可能です。 (ひずみゲージセンサー or 静電容量センサー) ・ USB インターフェースを搭載する事で、PC からの制御も可 能です。 M-26109C Piezo Controller 拡張ユニット、インターフェース搭載により、様々なご要望にお 答えします。 サーボユニット M-5106 静電容量変位計 M-2218 仕様 Technical Data 型式 Open loop model チャンネル数 入力 入力抵抗 1 Input voltage -10V ~ +10V (BNC コネクタ) Input resistance 100kΩ PC インターフェース PC Interface** 出力電圧 Output voltage 出力電圧モニター 出力電流 M-26109B M-26109 Channels USB -15V ~ +150V(BNC コネクタ) Monitor 最大±750mA、 Output current(continuous) 出力ノイズ ピーク±3000mApk、 2mV rms 以下 3.5 桁デジタル数値表示 Operating voltage AC100V 50Hz/60Hz Dimensions 温度:0~40℃ 、湿度:85%RH 以下 M-26109S M-26109C Channels ひずみゲージ Strain 搭載ユニット型式 Gauge 静電容量センサー Sensor Capacitive M-5106 Operation type 変位モニター出力ノイズ PI 制御 Servo * Display - 1 対応センサー 表示器 ヒューズ 環境:直射日光の当らない、腐食性物質を含まないほぼ1気圧の室内 型式 Closed loop model 制御 インレット W320×D350×H149 使用環境 チャンネル数 切換え ×15・×30 Display 外形寸法 Fine/Coarse プッシュ切換え 100kHz (–3dB) Gain 電源 約-150~ +150V 可変 ロータリーエンコーダ Bandwidth 表示器 ピーク±1500mApk、 実効値 832.5mAmrs、平均 750mAavg 約-15V~ +150V 可変 出力電圧設定(オフセット電圧) DC-offset 利得 最大±375mA、 実効値 1665mAmrs、平均 1500mAavg Output volt-noise 周波数特性 -150V~+150V(BNC コネクタ) 出力電圧の 1/100V(BNC コネクタ) M-5106 ON/OFF 10mVrms Sensor M-2216 バイポーラタイプは、Closed loop model はありません。 スイッチ(M-5106) 2mVrms 4.5 桁デジタル数値表示(µm・V 切換え可) * 弊社標準品ピエゾステージ MA-140XLS、MA-140XLC との組み合わせ(Typ.) ** オプション 注:本書に記載されている内容は予告無しに変更することがあります。 7 1102091018-160 M-26110 シリーズ ピエゾコントローラー Piezo Driver (Open Loop Model) M-26110-1 (1ch) , M-26110-3 (3ch) Piezo Controller (Closed Loop Model) M-26110C-1(1ch) , M-26110C-3 (3ch) (静電容量センサ ー) M-26110S-1(1ch) , M-26110S-3 (3ch) (歪ゲージセンサー) 特徴 M-26110-3 ・ 平均電流 0.5A(ピーク電流 1.5A)で大容量負荷や高速駆動 に最適です。 ・ 出力 ON/OFF 時、緩やかに所要の電圧まで出力します。 これにより、ピエゾアクチュエーター等の負荷を保護します。 ・ 拡張ユニットを搭載することで、クローズド制御も可能で す。(ひずみゲージセンサー or 静電容量センサー) ・ GPIB or USB インターフェースを搭載する事で、PC からの 制御も可能です。 M-26110-1 拡張ユニット、インターフェース搭載により、様々なご要望にお 答えします。 静電容量変位計 M-2218 サーボユニット M-5106 仕様 Technical Data 型式 Open loop model チャンネル数 M-26110-1 (1Ch) Channels 入力 1 3 Input voltage 入力抵抗 -10V ~ +10V (BNC コネクタ) Input resistance PC インターフェース 出力電圧 100kΩ PC Interface** USB or GPIB Output voltage -15V ~ +150V(BNC コネクタ) 出力電圧モニター 出力電流 M-26110-3 (3Ch) Monitor 出力電圧の 1/100 V (BNC コネクタ) Output current(continuous) 出力ノイズ 平均 0.5A、ピーク 1.5A Output volt-noise 2mV rms 以下 出力電圧設定(オフセット電圧) DC-offset 約-15V~ +150V 可変(ロータリーエンコーダ) 周波数特性 Bandwidth 利得 Gain 表示器 電源 ×15・×30 切換え Display 3.5 桁デジタル数値表示 LED Operating voltage 外形寸法 AC100V 50Hz/60Hz インレット ヒューズ Dimensions 260W×150H×330D 環境:直射日光の当らない、腐食性物質を含まないほぼ1気圧の室内 型式 Closed loop model M-26110S-1 M-26110C-1 M-26110S-3 ひずみゲージ 静電容量センサー ひずみゲージ 静電容量センサー Strain Gauge Sensor Capacitive Sensor Strain Gauge Sensor Capacitive Sensor M-5106 M-5106 M-2216 M-5106 M-5106 M-2216 Channels 対応センサー 搭載ユニット型式 制御 1 Operation type 変位モニター出力ノイズ 表示器 430W×150H×430D 温度:0~40℃ 、湿度:85%RH 以下 使用環境 チャンネル数 Fine/Coarse プッシュ切換え 100kHz (–3dB) * M-26110C-3 3 PI 制御 Servo ON/OFF スイッチ(M-5106) 10mVrms Display * 弊社標準品ピエゾステージ MA-140XLS、MA-140XLC との組み合わせ(Typ.) ** オプション 2mVrms 10mVrms 2mVrms 4.5 桁デジタル数値表示 LED(µm・V 切換え可) 注:本書に記載されている内容は予告無しに変更することがあります。 www.mess-tek.co.jp [email protected] Phone.048-464-5001 1102091018-160 ピエゾコントローラー M-26118 Piezo controller ・ 制御回路、センサーアンプ、ピエゾドライバーを一体化し、ステージと 接続してクローズドループ制御が行えるピエゾコントローラー ・ センサー内蔵ステージで、歪ゲージ、静電容量センサーに対応 ・ 「ひずみゲージセンサー内蔵のピエゾ(各メーカー) 」に対応可能 ・ USB インターフェース(オプション) ・ ローコスト ・ 低ノイズ ・ 1ch または 3ch タイプ ・ パネル面で下記の調整が可能 各チャンネルの変位表示 Open/closed フィードバック切り換え 変位センサーゲイン・積分時定数・フィルタの調整 仕様 Technical Data 注釈 型式 Models M-26118S-1 チャンネル数 Channels 対応センサー Sensor type M-26118S-3 1 M-26118C-1 3 ひずみゲージ / Strain Gauge 1 Input voltage 入力抵抗 Input resistance 100kΩ PC Interface USB(オプション) Output voltage -10V ~ +150V(BNC コネクタ) 出力電圧 出力電流 周波数特性 2mVrms 以下 Coarse ステップ電圧レバー/Fine ステップ電圧レバー (16Bit) Bandwidth Sensor connector 制御 Operation type Sensor レバー型トグルスイッチ×2 DC-offset センサーコネクタ Capacitive 50mA(最大) Output volt-noise 出力電圧設定(オフセット電圧) / -10V ~ +10V (BNC コネクタ) Output current(continuous) 出力ノイズ 3 静電容量センサー Sensor 入力 PC インターフェース M-26118C-3 10kHz (–3dB) LEMO 0S.304 LEMO Feedback Open/Closed 0S.650 スライドスイッチ切り換え ・Balance(ひずみゲージブリッジバランス) (静電容量センサタイプは未使用) 変位調整 Displacement adjustment ・Gain(変位計アンプゲイン) *2 ・Zero(変位計アンプオフセット) センサー原点モニター Sensor origin monitor 変位モニター -10V ~ +10V(BNC コネクタ)(静電容量センサタイプは未使用) 0V ~ +10V (出力抵抗 1kΩ・BNC コネクタ) Displacement Monitor 変位モニター出力フィルタ 積分時定数調整 Filter Time Filter 切り換えスイッチ(Through,500Hz,100Hz,30Hz) Constant Time 変位モニター出力ノイズ *2 300µVrms/Through(=1.5kHz) *1 100µVrms/100Hz 600µVrms/100Hz Display 電源 *2 4 段切り換えスイッチ(Long,・,・,Short) 3mVrms/Through(=1.5kHz) Displacement Monitor noise 表示器 Constant 5 桁デジタル(D.P.M. Select スイッチで µm・V 表示切換え可) Operating Voltage AC100 ~ 240V 50Hz/60Hz 消費電流(AC100V) 0.3A 0.5A 0.3A 0.5A 99W×160H×280D、 260W×149H×350D、 99W×160H×280D、 260W×149H×350D、 2.5kg 6.5kg 2.5kg 6.5kg Consumption electric current 外形寸法・重量 Dimensions, weight 温度:0~40℃ 使用環境 Environment 湿度:85%RH 以下 環境:直射日光の当らない、腐食性物質を含まないほぼ1気圧の室内 注釈 *1 *2 Typical(代表値) パネル面上にてマイナストライバーで調整できます www.mess-tek.co.jp [email protected] Phone.048-464-5001 1102091018-160 M-2629S(C) 多チャンネルピエゾコントローラー Piezo controller 特徴 ・ ・ ・ ・ ・ イメージ(実物とは若干異なります) 当社標準ピエゾドライバーM-2629 シリーズに M-5106 サーボユ ニットを搭載することでひずみゲージセンサーによるピエゾス テージのフィードバック制御が可能 さらに静電容量変位計 M-2218 を搭載することで静電容量変位 センサーでのフィードバック制御も可能 JIS ラックに搭載可能 「ひずみゲージセンサー内蔵のピエゾ(各メーカー) 」に対応 オプションで USB インターフェース搭載可能 サーボユニット M-5106 静電容量変位計 M-2218 仕様 Technical Data 型式 Models M-2629S チャンネル数 Channels 対応センサー Sensor type 入力 M-2629C 1~4ch(+M-5106) ひずみゲージ / Strain Gauge Input voltage 入力抵抗 Sensor PC Interface 出力電圧 Output voltage センサーコネクタ 制御 Output volt-noise BNC コネクタ) 2mV rms 以下(M-2629) Bandwidth 100kHz (–3dB)(M-2629) Sensor connector LEMO 0S.304(M-5106) Operation type PI 制御 LEMO Servo ON/OFF Zero 0V ~ +10V 変位モニター出力ノイズ * 10mVrms Display (M-5106 0S.650(M-2218) スイッチ(M-5106) 半固定ポテンショメーター Monitor (M-5106) 出力抵抗 1kΩ・BNC コネクタ) 2mVrms 3.5 桁デジタル数値表示(ピエゾドライバ電圧表示) Operating voltage AC100V 50Hz/60Hz インレット 無負荷:1A 以下 消費電流 外形寸法・重量 OUTPUT 10 回転ダイアルポテンショメーター(M-2629) 変位モニター出力 電源 Sensor BNC コネクタ) 100mA(M-2629 最大電流) センサーオフセット調整 ** 表示器 +M-2218) Capacitive (但し M-2629S-4 は搭載不可) -10V ~ +150V(M-2629 出力電圧設定(オフセット電圧) DC-offset 周波数特性 / 100kΩ(M-2629) USB(オプション)リアパネル Output current(continuous) 出力ノイズ 静電容量センサー -10V ~ +10V (M-2629 Input resistance PC インターフェース 出力電流 1~3ch(+M-5106 定格負荷:1.8A 以下 Dimensions, weight 430W×150H×300D、10kg (M-2629C-3 の時(フル装備搭載時)) 温度:0~40℃ 使用環境 湿度:85%RH 以下 環境:直射日光の当らない、腐食性物質を含まないほぼ1気圧の室内 * 弊社ピエゾステージとの組み合わせ(Typ.) ** パネル面上にてマイナストライバーで調整できます M-2629S⇒MA-140XLS、M-2629C⇒MA-140XLC、 注:本書に記載されている内容は予告無しに変更することがあります。 www.mess-tek.co.jp [email protected] Phone.048-464-5001 1102091018-160 2 軸チルトステージ専用コントローラ M-2629PS-4 Piezo controller 特徴 ・ 当社標準ピエゾドライバーM-2629 シリーズに M-5106 サーボユ ニットを搭載することひずみゲージセンサーによるピエゾス テージのフィードバック制御が可能 ・ MQ-2TXYDS チルトステージの専用コントローラで 出力は 2 軸(4ch)プッシュプル駆動用出力 ・ JIS ラックに搭載可能 ・ オプションで USB インターフェース搭載可能 イメージ(実物とは若干異なります) プッシュプル駆動 2 軸チルトステージ MQ-2TXYDS サーボユニット M-5106 CH1 (CH3) +10V IN +1 0V Pow amp OUT Pow amp OUT 0V...150V CH2 (CH4) -1 150V...0V Piezo 仕様 Technical Data M-2629PS-4 型式 Models チャンネル数 Channels 対応センサー 4ch(2 チャンネルプッシュプル駆動用出力×2) Sensor type 入力 ひずみゲージ Input voltage 入力抵抗 Input resistance PC インターフェース PC Interface 出力電圧 Output voltage 出力電流 / -10V ~ +150V(M-2629 制御 2mV rms 以下(M-2629) 10 回転ダイアルポテンショメーター(M-2629) Bandwidth 90kHz (–3dB) Sensor connector LEMO 0S.304(M-5106) Operation type PI 制御 Servo 0V ~ +10V (M-5106 スイッチ(M-5106) 半固定ポテンショメーター Monitor 変位モニター出力ノイズ * (M-5106) 出力抵抗 1kΩ・BNC コネクタ) 10mVrms Display 3.5 桁デジタル数値表示(ピエゾドライバ電圧表示) Operating voltage AC100V 50Hz/60Hz インレット 無負荷:1A 以下 消費電流 外形寸法・重量 ON/OFF Zero 変位モニター出力 電源 BNC コネクタ) 100mA(M-2629 最大電流) センサーオフセット調整 ** 表示器 OUTPUT CH1-θX1(CH3-θY3)が+150V の時 CH2-θX2(CH4-θY4)は 0V となります 出力電圧設定(オフセット電圧) DC-offset センサーコネクタ Sensor 100kΩ Output volt-noise 周波数特性 Gauge BNC コネクタ) USB(オプション)リアパネル Output current(continuous) 出力ノイズ Strain -10V ~ +10V (M-2629 定格負荷:1.8A 以下 Dimensions, weight 430W×150H×300D、10kg 温度:0~40℃ 使用環境 湿度:85%RH 以下 環境:直射日光の当らない、腐食性物質を含まないほぼ1気圧の室内 * 弊社ピエゾステージとの組み合わせ(Typ.) MQ-2TXYDS ** パネル面上にてマイナストライバーで調整できます 注:本書に記載されている内容は予告無しに変更することがあります。 www.mess-tek.co.jp [email protected] Phone.048-464-5001
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