超音波モータカタログ

Ultrasonic actuator
超音波リニアアクチュエータ
TULA series
High precision system solutions
Medical
Biotechnology
Laser applications
Semiconductor positioning
Optical fiber applications
Micro parts assembly robot
Technohands Corp.
TULA （Tiny Ultrasonic Linear Actuator)
超音波モータ
概要
一般にアクチュエータとしては電磁式、流体式（空圧、油圧）が主流ですが、近年全く新しい方式の超音波モータ
が登場して、産業用を初め最近ではデジカメ、携帯電話等のモバイルのアクチュエータにも採用され、我々の身の回
りで活躍しつつ新市場を求めて各社で商品化されております。　弊社でこの超音波アクチュエータを組み込んだ各種ステージ、ドライバ・コントローラ等をお客様の仕様に合わせて
設計・製作・販売しており、回転型からリニア型、マニピュレータ、ロボットまで幅広く展開しております。
これら新規開発のアクチュエータを組合わせることにより、高精度な機械の自動化を行うことを可能にします。
超音波モータとは
一般に超音波モータは、圧電セラミックス（振動子）の圧電効果による超音波振動を、直動・回転運動に変換する
モータです。摩擦力を利用しているため、モータに通電することなく摩擦力によって完全停止することができます。
主な特長
・減速機無しで低速・高トルク（推力）・軽量化を実現。
・無通電時でも保持力が高い。
・駆動音が小さい。
・停止時は摩擦力によって完全停止（無振動、無発熱）。
・ダイレクト機構による高い機械応答性（振動⇒動作）。
・構造がシンプルで部品点数が少ないため、量産時のコストダウンが可能。
・非磁性材料で構成でき、強磁場環境でも駆動可能。
・材質・接着材変更により真空(10-5Pa)対応可能。
・TULAは軸の自己潤滑作用によりガイド軸を兼用可能。
用途
・顕微鏡用ステージ　・カメラ(AF、ZOOM、手振れ）
・干渉計用小型ステージ　・小型ロボット　・産業用シャッター
・真空中用ステージ　・バルブ、ノズルの流量調整　・医療機器用ステージ　・対物レンズ用ステージ
・監視カメラのアクチュエータ　・カメラ用IRフィルタ
・点字用ユニット
・半導体装置用ステージ　・レーザビーム調整ユニット　・測量機器
・精密超小型ステージ　・無重力用各種ステージ
・小型インクジェット用ステージ
・光学系のミラーアライメントユニット　・小型マニピュレータ　1
・強磁場環境用ステージ
TULA （Tiny Ultrasonic Linear Actuator)
TULA駆動原理
駆動原理
超小型超音波リニアアクチュエータ：TULAは、ユニモルフ型、またはバイモルフ型の圧電セラミックスの振動制御に依る次世代アクチュ
エータです。駆動軸の根元に圧電セラミックスが固定され、駆動軸に予圧が掛かった摩擦体（移動体）で挟み込み、停止時は
その摩擦力で保持するため、電磁モータの様な微振動は生じず発熱もありません。動作原理は、圧電セラミックス（振動子）
が振動して駆動軸に伝わり、その振動の行きと帰りのスピードを変える事で移動体（摩擦体）を微小量置き去ることで動作させます。
慣性の法則を利用したインパクト駆動方式を基本原理とし、微動作を高い振動周波数（超音波振動）でコントロールしますので、
アクチュエータとして滑らかに動作します。超小型形状に対し、高い推力・保持力が得られ、位置決め用アクチュエータに最適です。
Direct piezoelectric effect
Pi = dijkTjk
Inverse piezoelectric effect
Sij = dkijEk
Down
up
Elastic material
Piezoelement
ユニモルフ型
fr: 114kHz
Coupling coefficient : 24%
Uni-morph type
fr: 128kHz
Coupling coefficient : 43%
Bi-morph type
Piezoelement
Elastic material
Piezoelement
バイモルフ型
2
TULA （Tiny Ultrasonic Linear Actuator)
評価用キット
Open Loop Type
● ST50A-16.5型
(
)
● ST70A-22型
14.5
● ST35B-14型
14
90°
2.50
1
1.80
2.30
3.50
1
3
3.30
1
3
4
1
1.70
3.50
4.1
2.50
26.5
＋
TD-102 型
駆動推力
保持力
＋
● ST***-***型
5V 電源、 USB ケーブル
● ST50A-16.5-KIT型
● ST70A-22-KIT型
● ST35B-14-KIT型
40 ～ 60gf
30 ～ 50gf
150gf
70 ～ 150gf
3
TULA （Tiny Ultrasonic Linear Actuator)
アクチュエータ単体仕様（TULA35,50,70,70W)
4
1.50
2.43
● TULA35
3
3.60
23
14
1 +0.005
0
・振動子径：φ3.5mm
・シャフト：長さ 14mm (3 ～ 14mm まで変更可能）
・推力： 15 ～ 25gf
・保持力： 30 ～ 80gf
・ストローク： 3 ～ 6mm
・振動周波数： 70 ～ 100ｋHz
・駆動電圧： 12 ～ 30V　● TULA50
+0.005
・振動子径：φ5.5mm
・シャフト：長さ 16.5 (3 ～ 16.5mm まで変更可能 )
・推力： 25 ～ 40gf
・保持力： 100 ～ 150gf
・ストローク： 3 ～ 9mm
・振動周波数： 50 ～ 90ｋHz
・駆動電圧： 10 ～ 38V
18.6
（16.5）
Φ1.32 0
● TULA70
+0.005
0
(22)
Φ1.32
・振動子径：φ7.5mm
・シャフト：長さ 22 (3 ～ 22mm まで変更可能 )
・推力： 40gf ( 移動体の加圧力により変動 )
・搭載荷重： 100ｇｆ
・保持力： 150gf ( 移動体の加圧力により変動 )
・ストローク： 3 ～ 1 5 mm
・振動周波数： 30 ～ 70ｋHz
・駆動電圧： 20 ～ 35V
1
7.6
● 摩擦体構造例
4
TULA （Tiny Ultrasonic Linear Actuator)
超小型超音波 Linear stage
● Encoder Type
高精度光学式エンコーダを搭載し、高精度の位置決めが可能。
超音波アクチュエータの特長の一つである高い保持力が得られる。
1.X軸ステージ
*XDT35-045型　P6
*XDT50-045型　P6
*XDT70-105型　P7
*XDT70-155型　P7
→
Slider
2.XY軸ステージ
*XYDT50-045型　P8
TULA50
3.θ軸ステージ
*θDT70-0605型　P9　*θDT50-0205型　P9
4.XYθ軸ステージ
*XYDT50-045/θDT70-0605型　P10
→
板バネ(予圧)
→
→
→
シャフト
5.XY軸中空ステージ
*XYHDT50-045型　P11
→
Base
→
Scale
光学式Encoder
● TULA ステージ型式構成
X
D
T70
－
15
2
アクチュエータ種類
T35： TULA35
T50： TULA50
T70： TULA70
ステージ種類
X　： Xステージ
Y ： XYステージ
XYZ： XYZステージ
θ ： θステージ
S：
D：
H：
C：
ストローク、回転角
・ストローク
04 ： 4mm
10 ： 10mm
15 ： 15mm
・回転角（θステージ）
例 060：60°（P9参照）
0：
1：
2：
3：
4：
分解能
Open Type(エンコーダ無）
5μm
1μm
0.005° (θステージ)
0.5μm
0.1μm
アクチュエータ数、ガイド種類、ステージ形状
1個、アクチュエータ軸がガイドを兼用
2個、アクチュエータ軸がガイドを兼用
中空型ステージ
クロスローラガイド（オプション）
● 標準品仕様
ステージ種類
型式
ストローク、回転角
分解能
繰返位置決め精度
最大推力、トルク
保持力
最大速度
駆動用ドライバ
X軸ステージ
XDT35-04□ XDT50-04□ XDT70-10□ XDT70-15□ XYDT50-04□
4mm
4mm
10mm
15mm
4mm
1pulse： 0.1, 0.5, 1, 5μm
±3 pulse
40gf
70gf
70gf
60gf
60gf
300gf
150gf
10mm/s
TD-102
ステージ種類
型式
θ軸ステージ
θDT70-□□□2
θDT50-□□□2
60°,120°,180°
20°,60°,90°,140°
240°,360°
180°,260°,300°,360°
1pulse： 0.005°
ストローク、回転角
分解能
繰返位置決め精度
最大推力、トルク
保持力
最大速度
駆動用ドライバ
50g・㎝
150g・㎝
-
40g・㎝
130g・㎝
-
XY軸ステージ
XYDT70-10□
10mm
60gf
250gf
XYDT70-15□
15mm
50gf
ＸＹθ軸ステージ
XYDT50-04□/θDT70-□□□2
XY軸中空ステージ
XYHDT50-04□
4mm　/60°,120°,180°,240°,360°
4mm
1pulse： 0.1, 0.5, 1, 5μm　/　0.005°
±3 pulse
60gf、　50g・㎝　250gf、 150g・㎝
10mm/s
TD-102
1pulse： 0.1, 0.5, 1, 5μm
※□内の数値は「TULA ステージ型式構成」を参照ください。
5
60ｇｆ
250ｇｆ
TULA （Tiny Ultrasonic Linear Actuator)
Encoder type Linear stage
● X軸ステージ　XDT35-045型
20
20
14
10
6
2- 1.5 貫通
（M1.4ネジ用取付穴
裏面から組立）
17
4-M1.4 貫通
C0.2
（有効深さ1.5）
17
13
21
1.5 貫通
17
20
4-
2-M1.4 貫通
C0.2
（有効深さ1.8）
6
7
10
18
2-M1.4 DP1.0
C0.2
2- 1.0 貫通
ザグリ 1.5 深さ1.5
C0.2
7
10
17
22
23.2
6.2
Encoder FPCB = 150mm
- 仕様 1. ストローク： 4mm
2. 分解能： 1μm (A,B,Z相 )
オプション： 0.1、 0.5μm
3. 繰返位置決め精度： ±3ｐ
4. 推力： 40ｇｆ
5. 保持力： 150ｇｆ
6. 移動速度： 10mm/ｓ
7. 駆動用ドライバ： TD-102 型
8. 駆動用アクチュエータ： TULA35 (14mm)
2.3
2.3
● X軸ステージ　XDT50-045型
20
17
24
15
20
4-M2 貫通
12
16
1.5 貫通
2-M1.4 貫通
C0.2
2-M2 貫通
C0.2
2- 1.5 貫通
C0.2
（位置決めピン用穴）
7
12
22
2-M1.4 深さ2.0
C0.2
24
28
4-
4- 1.5 貫通
（M1.4ネジ用取付穴
裏面から組立）
1.5
18.5
11
7
8
12
13
18
26
27.4
8.65
Encoder FPCB = 150mm
2.5
2.5
6
- 仕様 1. ストローク： 4mm
2. 分解能： 1μm/p (A,B,Z相)
オプション： 0.1、 0.5μm/p
3. 繰返位置決め精度： ±3p
4. 推力： 70ｇｆ
5. 保持力： 300ｇｆ
6. 移動速度： 10mm/ｓ
7. 駆動用ドライバ： TD-102 型
8. 駆動用アクチュエータ： TULA50 (16.5mm)
TULA （Tiny Ultrasonic Linear Actuator)
Encoder type Linear stage
● X軸ステージ　XDT70-105型
20
17
24
11
7
1.5 貫通
22
18
14
12
1.5
4-
2- 1.5 貫通
（位置決めピン用穴）
20
18.5
2-1.5 貫通
（M1.4ネジ用取付穴
裏面から組立）
4-M2 貫通
C0.2
2-M1.4 貫通
C0.2
7
2-M2 貫通
C0.2
2- 1.0 貫通
ザグリ 1.5 深さ2.0
C0.2
（位置決めピン用穴）
22
12
2-M1.4 深さ2.0
C0.2
8
12
13
26
27.42
5.5
5.5
8.65
Encoder FPCB = 150mm
- 仕様 1. ストローク： 10mm
2. 分解能： 1μm (A,B,Z相 )
オプション： 0.1、 0.5μm
3. 繰返位置決め精度： ±3ｐ
4. 推力： 70ｇｆ
5. 保持力： 300ｇｆ
6. 移動速度： 10mm/ｓ
7. 駆動用ドライバ： TD-102 型
8. 駆動用アクチュエータ： TULA70 (22mm)
● X軸ステージ　XDT70-155型
20
24
17
15
10
2- 1.5 貫通
（M1.4ネジ用取付穴
裏面から取付）
4-M2 貫通
C0.2
(有効深さ2.5）
1.5 貫通
20
1.5
18.5
12
18
19
27
4-
7
2- 1.5 貫通
C0.2
（位置決めピン用穴）
2-M1.4 貫通
C0.2
22
7
12
2-M2 貫通
C0.2
2- 1.0 貫通
ザグリ 1.5 深さ2.0
C0.2
2-M1.4 DP 2.0
C0.2
8
12
13
18
26
27.4
8
Encoder FPCB = 150mm
2.7
8.65
8
7
- 仕様 1. ストローク： 15mm
2. 分解能： 1μm (A,B,Z相 )
オプション： 0.1、 0.5μm
3. 繰返位置決め精度： ±3ｐ
4. 推力： 60ｇｆ
5. 保持力： 300ｇｆ
6. 移動速度： 10mm/ｓ
7. 駆動用ドライバ： TD-102 型
8. 駆動用アクチュエータ： TULA70 (22mm)
TULA （Tiny Ultrasonic Linear Actuator)
Encoder type Linear stage
● XY軸ステージ　XYDT50-045型
20
17
24
15
11
7
18.5
20
4-M2 貫通
(有効深さ2.5）
16
24
28
2-M2 貫通
(有効深さ2.5）
8
12
4
2- 1.5 貫通
（位置決めピン用穴
有効深さ2.0）
18
26
2- 1.0 貫通
ザグリ 1.5 深さ2.0
13
1.5 貫通
12
1.5
8-
2- 1.5 貫通
（M1.4ネジ用取付穴
裏面から組立）
- 仕様 1. ストローク： XY 4mm
2. 分解能： 1μm (A,B,Z相 )
オプション： 0.1、 0.5μm
3. 繰返位置決め精度： ±3ｐ
4. 推力： 60ｇｆ
5. 保持力： 300ｇｆ
6. 移動速度： 10mm/ｓ
7. 駆動用ドライバ： TD-102 型
8. 駆動用アクチュエータ： TULA50 (16.5mm)
2-M1.4貫通
(有効深さ2.5）
7
12
22
2-M1.4 深さ2.0
2.5
Encoder FPCB = 150mm
6
17.3
2.5
● XYZ軸ステージ　XYZDT70-045型
28
22.5
18.1
2-φ1.5貫通
裏からM1.4締結
2.2
14
24
15
7
24.3
27.5
1.6
4- 1.7貫通
M1.6ネジ締結用
24
2-M2貫通
28
− 付着物取付位置 −
12
8
2-M1.4 有効深さ3mm
7
2-M2 有効深さ3mm
付着品限度寸法
重量50ｇ以下
15
45.3
有効stroke 2.2mm 有効stroke -2.2mm
31.3 (中心)
A
30
詳細図 A ｽｹｰﾙ 2:1
※ Home位置
FPCB 150mm
屈曲可能
19.65 (中心)
33.65
8
- 仕様 1. ストローク： XYZ 4mm
2. 分解能： 1μm (A,B,Z相 )
オプション： 0.1、 0.5μm
3. 繰返位置決め精度： ±3ｐ
4. 推力： 50ｇｆ
5. 保持力： 300ｇｆ
6. 移動速度： 10mm/ｓ
7. 駆動用ドライバ： TD-102 型
8. 駆動用アクチュエータ： TULA70 (22mm)
TULA （Tiny Ultrasonic Linear Actuator)
Encoder type Rotary stage
4-
1.5 貫通
中空穴
4-M2 深さ2.5
C0.2
6
15
17
20
20
1.5
18.5
● θ軸ステージ　θDT70-0605型
2.2 貫通
C0.3
1.5
2-
12
15
- 仕様 1. 回転角： 60°
オプション： 120°.180°.240°.360°
2. 分解能： 0.005°/p (ABZ相 )
3. 繰返位置決め精度： ±3p （±0.015°)
4. トルク： 50ｇ・ｃｍ
5. 保持トルク： 150ｇ・ｃｍ
6. 駆動用ドライバ：ＴＤ-102型
7. 駆動用アクチュエータ： TULA70 (22mm)
8. 中空 ( 貫通 ) 穴径：Φ6
37
7
A
32
21
1.2 深さ3.6
C0.2
5
2-
A
2-M1.4 有効深さ3.5
C0.2
20
27
12.05
6
12
15
31.2
Encoder FPCB = 150
● θ軸ステージ　θDT50-0205型
4-
5.65
20
17
1.5 貫通
5
1.5
4-R5.3
8.5
4-M2 深さ2.0
C0.2
3
18.5
20
1.5
中空径
6.5
2- 1.2 THRU
（有効深さ 2.9)
C0.2
- 仕様 1. 回転角： 20°
オプション： 20、60、90、140、180、260、300、360°
2. 分解能： 0.005°/p (ABZ相 )
3. 繰返位置決め精度： ±3p （±0.015°)
4. トルク： 40ｇ・ｃｍ
5. 保持トルク： 130ｇ・ｃｍ
6. 駆動用ドライバ：ＴＤ-102型
7. 駆動用アクチュエータ： TULA50 (16.5mm)
8. 中空 ( 貫通 ) 穴径：Φ3
3
6.5
15.5
24
27.5
15
A
A
2-M1.4 THRU
(有効深さ 2.5)
C0.2
10
21.6
2-
1.8 貫通
9.48
19.5
Enocder FPCB = 150
9
TULA （Tiny Ultrasonic Linear Actuator)
Encoder Type Rotary ＆ Linear stage
● XYθ軸ステージ　XYDT50-045/θDT70-0605型
20
1.5
12-
1.5 貫通
28
24
16
12
2- 1.5 貫通
（M1.4ネジ用穴）
[ ステージの上面側から
組立時使用 ]
17
20
17
24
15
11
7
27
20
4-M2 貫通
（有効深さ2.5）
[ ステージの裏面側から
組立時使用 ]
7
21
1.2 深さ3.6
C0.2
2- 1.5 貫通
（有効深さ 2.5)
37
30.85
2-
6
12
31.2
15
1.5
2-M1.4 有効深さ3.5
C0.2
3-Encoder FPCB = 150mm
2.5
2.5
- 仕様 1. 移動量： XY 4mm、θ 60°
オプション： 120°.180°.240°.360°
2. 分解能：ＸＹ 1μm/ｐ (ABZ相 )
0.005°/p (ABZ相 )
3. 繰返位置決め精度： ±3ｐ
(XY ±3μm、θ ±0.015°)
4. 推力： 60ｇｆ、 50ｇ・ｃｍ
5. 保持トルク： 250ｇｆ、 150ｇ・ｃｍ
6. 移動速度： 10mm/ｓ
7. 駆動用ドライバ：ＴＤ-102型
8. 駆動用アクチュエータ： TULA50 (16.5mm)、
TULA70 (22mm)
● XYθ軸ステージ（クロスローラガイドタイプ）　XYCT50-045/θDT70-0605型
1.5
26
2-M1.4 有効深さ3.5
C0.2
2-
1.2 深さ3.6
C0.2
49
1.5
17
20
20
17
20
27
55
32
12
6
4- 2.4 貫通
（M2ネジ用組立穴）
[ ステージの上面側から
組立時使用 ]
7
37
55
38.35
Encoder FPCB = 150mm
10
- 仕様 1. 移動量： XY 4mm、θ 60°
オプション： 120°.180°.240°.360°
2. 分解能：ＸＹ 1μm/ｐ (ABZ相 )
0.005°/p (ABZ相 )
3. 繰返位置決め精度： ±3ｐ
(XY ±3μm、θ ±0.015°)
4.真直度：XY軸(縦、横1μm以下)
5. 推力： 60ｇｆ、 50ｇ・ｃｍ
6. 保持トルク： 250ｇｆ、 150ｇ・ｃｍ
7. 移動速度： 10mm/ｓ
8. 駆動用ドライバ：ＴＤ-102型
9. 駆動用アクチュエータ： TULA50 (16.5mm)、
TULA70 (22mm)
TULA （Tiny Ultrasonic Linear Actuator)
Encoder type Linear hollow stage
● XY軸中空ステージ　XYHDT50-045型
50
43
20
4- 2.2 貫通
（M2ネジ用取付穴
裏面から組立）
47
39
30
20
1.5
17
20
17
1.5 貫通
1.5
8-
1.5
4-M2 貫通
4-
3 貫通
C0.2
4-M2 貫通
C0.2
27
36
30
50
47
30
20
36
50
4-Guide shaft
2.5
16
2.5
2.5
- 仕様 1. ストローク： XY 4mm
2. 分解能： 1μm (A,B,Z相 )
オプション： 0.1、 0.5μm
3. 繰返位置決め精度： ±3ｐ
4. 推力： 60ｇｆ
5. 保持力： 250ｇｆ
6. 移動速度： 10mm/ｓ
7. 駆動用ドライバ： TD-102 型
8. 駆動用アクチュエータ： TULA50 (16.5mm)
2.5
● XYZ軸中空ステージ　XZYCHDT50-045型
20
36
30
12.5
9.5
8.5
5.5
4-M2貫通
3貫通
7
47.15
72.95
10
36
20
30
15
32
27.5
- 仕様 1. ストローク： XYZ 4mm
2. 分解能： 1μm (A,B,Z相 )
オプション： 0.1、 0.5μm
3. 繰返位置決め精度： ±3ｐ
4. 推力： 50ｇｆ
5. 保持力： 300ｇｆ
6. 移動速度： 10mm/ｓ
7. 駆動用ドライバ： TD-102 型
8. 駆動用アクチュエータ： TULA70 (22mm)
TULA50(16.5mm)
26
32
裏から4-Ｍ2締結
3
4-
49
3
55
11
TULA （Tiny Ultrasonic Linear Actuator)
Finger unit
● フィンガーユニット　FUT70-3型
2-TULA70(11mm)
2-ガイドシャフト(22mm)
1.45
31.4
1.45
12.8
1.5
11.8
0.8
6
25
21.9
12
- 仕様 1. 最大開け時ストローク： 3mm
2. 推力： 20ｇｆ
3. 保持力： 70ｇｆ
4. 制御 : パルスとコマンド制御
2-M1.4 貫通
C0.2
※カスタマイズで設計可能
5
9
12
16
7
4-
1.5 貫通
C0.2
2- 1.5貫通
ザグリ 3 深さ0.8
option品：JOG controller(open駆動）
● フィンガーユニット（Encoder type)　FUET70-035型
1.5 貫通
17
20
4-
1.95
1.95
17
20
16
3.5
8
3.5
2- 1.5 貫通
ザグリ 2.7 深さ1.0
14.3
3.2
24.5
6
18
22.9
0.8
8.5
16.5
26
- 仕様 1. 最大開け時ストローク： 3mm
2. 推力： 20ｇｆ
3. 保持力： 70ｇｆ
4. 制御 : パルスとコマンド制御
5.分解能：1μm、0.5、0.1μm
※カスタマイズで設計可能　0.5
43.2
12
TULA （Tiny Ultrasonic Linear Actuator)
Applications
● Stage & Finger Unit
開
閉
◆XYθF型　(XY Stage：0.1μm、θ：0.005°)
◆XYF型　(XYStage：0.1μm)
※Finger先端形状変更可能
※カスタマイズ設計可能　◆Xθ1θ2F型　(X Stage：0.1μm、θ：0.005°)
◆ZθF型　(Z Stage：0.1μm、θ：0.005°)
13
TULA （Tiny Ultrasonic Linear Actuator)
Applications
● SCARA roboｔ　（5軸：回転3軸、Z軸、Finger）
A
SCARA robot
R112.2
53.5
104.8
84.3
196.5
光学部品等の小物部品のハンドリングが可能なロボットです。
電磁モータと異なり先端のフィンガーが振動しないため、高精度の位置
決めが可能です。
UV接着等の光学部品の接着時の安定性を実現します。
-仕様1.型式 : SUT70-180-6
2.軸仕様 : θ1.θ2.θ3 ：±180°
Ｚ軸：±5mm
3.軸分解能 : θ1.θ2.θ3 <0.005°/p>
Ｚ軸： 0.1μm/p
4.フィンガーストローク開閉： 0～3mm
5.推力：10gf
6.可搬重量：10 gf
※カスタマイズ可能
80
14
35.71
30.71
◆Z軸±5.0駆動時
25.71
46
63
100
TULA （Tiny Ultrasonic Linear Actuator)
Applications
● Optical component assembly applications
Optical lens module assembly
● 仕様
1. モータ形式: 超音波リニアアクチュエータ
2. 推力: 35ｇｆ
3. 保持力: 150ｇｆ
4. 位置決め精度: 0.5μm
5. 位置センサー：光学式エンコーダ
6. 移動スピード: Max10mm / s
7. 制御：コマンド、 pulse / dir　8.通信: RS232, USB, RS485
Lens size: 0.7mm × 0.7mm × 0.7mm
5軸ドライバ：TD-501型
交換用Finger
15
TULA （Tiny Ultrasonic Linear Actuator)
Driver
● TD-102型　（1軸）
1. 特長
① 超音波リニアアクチュエータ用ドライバ
② TULA35、50、70駆動可能
③ 精密位置制御可能
・光学式エンコーダにより高い位置精度を実現
・パルス入力によるオープン駆動が可能　④指令入力選択可能
1）外部パルス指令列入力
・pulse/dir　2）コマンド入力
・付属のPC Program (Tula Controller Manager)による
3)　USB2.0対応（RS-232C対応可）
25
61
6
2.50
放熱ゴムシーツ
放熱板
9.50
9.9
TD-102回路
.
25
14
4-M2　有効深さ2.0
(取り付け用穴）
45.50
61.50
2.仕様
① 駆動周波数：20 ～100kHz
② 駆動電圧：16 ～35V
③ 駆動Duty： 0 ～48％
④ PCとのUSBインターフェイス（FTDI FT232R使用）
⑤ 供給電源：DC5V、1A
⑥ PCモニタープログラム
・駆動用プログラムはメールか、CDで提供
※TD-102は旧ドライバTD-101のコネクタをアングルタイプ
に変更したもので、特性はTD-101と変わりません。
外形寸法図
● TD-102型Case付　型番：TD-102C
新Driver　2軸用
並列連結により32軸まで対応可能
RS232C、RS485
・ファン内蔵
・ W64.3 x D27 x H19mm
（突起部含まず）
TD-201型（2軸）
TD-102型（1軸）
TD-102
Master microprocessor (dsPIC33EP128MC804)
インターフェース
FT232R
通信交換機
UART
Boost DC/DC
コンバーター
RS-232
I/Oシステム
DI/DO/AI
Pulse/Dir
フィードバック
QEI
PIDF
コントロール
PWM
モジュレータ
モータドライバ
TULAモジュール
QEI
差動ライン
ドライバ
Incremental
Encoder
1msec sampling me
ブロック図
15年5月販売
16
TULA （Tiny Ultrasonic Linear Actuator)
Driver
● TD-102型　PC Program
( モータ制御画面例）
1．モータ制御
① モータ駆動と同時に、モータ駆動状況
モニタリング可能
② 画面に縮小、拡大の機能付きで、
欲しいモータ動作区間のみ確認
③ 絶対座標及び相対座標での動作可能
( オープンループ画面例）
2．オープンループ
① 周波数、Duty、電圧設定可能
② 時間 /パルス駆動選択可能
( P T テーブル画面例）
3．PTテーブル
① 50行までの簡易プログラム制作
② Position(ステップ数）とTime(動作後の待ち
時間)の設定が可能
③ 簡易プログラムの繰返し動作が可能
※不明な所がありましたらマニュアルを参考または、
弊社までご連絡お願い致します。
17
TULA （Tiny Ultrasonic Linear Actuator)
Option
● Motor & Encoder Cable
◆オプション販売
③ ＡＣアダプタ　型番：TAC5V ④ RS232C用ケーブル1ｍ
型番： TRCA1MJ
USBケーブル
（型番：TUSB1M）付属
① モータケーブル 1ｍ　② エンコーダケーブル 1ｍ
型番： TECA1MJ
型番： TMCA1MJ
⑤ パルス列入力用ケーブル 1m
型番： TPCA1MJ
①ステージとドライバ接続用の専用モータケーブル
②ステージとドライバ接続用の専用エンコーダケーブル
③ドライバへの 5Ｖ電源供給用ACアダプタ
（PCとドライバ接続用 USB ケーブル付属）
④ドライバとPC接続用RS232Cケーブル
⑤パルス列入力制御用のケーブル
● 光学式Encoder
■ リニアエンコーダ　TA シリーズ
TA-200は80μm ピッチスケール用リニアエンコーダで、1倍から200倍の逓倍数を選定することが可能です。
15
7.5
A,B,Z 相光学中心
60 or 150 or 320
２-Φ1.５穴
対角線上
コネクタ： JST製　SM08B-GHS-TB
Pin No
信号名
1
GND
2
DC5V
3
A+
4
A5
B+
6
B7
Z+
8
Z-
27.5
24.3
・標準リニアスケール
80μmピッチ
12.4
2-M1.4
対角線上
1 番ピン
5.3
スケール
1.5
Gap：0.75±0.25
1.5
7.4
18.1
22.5
4.88
・コネクタピンアサイン
逓倍数 ※1
分解能（μm) ※2
最高速度 (mm/sec)
1
80
9,600
4
20
20
4
9,600
9,600
40
200
2
0.4
9,600
3,200
※1 ： A相、B相それぞれの分割数 ※2 ： A, B相出力を使ってお客様にて更に4逓倍することが可能です。
※価格は弊社までお問合せください。
18
▲
FAX引き合い表
コピーの上、FAXお願いします　年　月　日
テクノハンズ株式会社　営業技術部　行
FAX 045-547-6976
TEL 045-547-6971
※カスタマイズ品は下記のご要望欄に記載頂くか、お電話またはメールにてご連絡お願い致します。
◆電話： 045-547-6971　◆メール： [email protected]
●貴社名・所属・氏名・電話番号・FAX番号　等をご記入して下さい。
貴社名
ご所属
ご氏名
FAX番号
様
電話番号
（　）　-
（　）　-
追加事項
X、XY、XYθ、θ
Stage 種類
ストローク(mm)
±　mm
分解能(μm)
μm
移動スピード(mm/ｓ)
mm/ｓ
搭載荷重(ｇ)
ｇ
搭載荷重Size
×　×　mm
駆動方向(水平、垂直)
駆動環境(℃)
真空中(10-条)
水平　垂直
℃
10-
真直度(μm)
μm
予算と納期
特記事項　及び　ご要望
テクノハンズ株式会社
〒222-0037　神奈川県横浜市港北区大倉山6-29-34-103
T E L：0 4 5 - 5 4 7 - 6 9 7 1 F A X：0 4 5 - 5 4 7 - 6 9 7 6
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1504

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