半導体製造プロセス用 精密圧力調整器 高圧大流量タイプ R61シリーズ R61シリーズ 半導体製造プロセス用 精密圧力調整器 R61シリーズ 元圧変動 22 . 2 MPa（入口側） －10 ～＋40 ℃ 外部リーク 内容積 緩衝スプリング 入口圧力 OUT 0.6 8MPa 2MPa 1MPa 25 . 3 cm 3（継手部を除く） 取付方法 0.2 前面パネル取付用ナットまたは背面ビスによる取り付け 0 0 約９2 約１５8 約１４７ 100 200 300 400 500 600 700 800 900 流量 ［NL/min］ 窒素ガス ［N₂］ 構造図 流量曲線図 入口圧力 0.6 約１０６ （フェイス・シール面間） 非研磨仕様（グレード“B・C ”） 研磨仕様（グレード“A ” ） R61SS 接ガス部表面 処理面 SUS316 SUS316 SUS316 SUS316 L PCTFE（ダイフロン ® ） SUS316 Ni PTFE（テフロン ® ） 真鍮（クロム・メッキ） ABS樹脂 NBR ［備考］ ■ 圧 力 計 接 続 継 手の サイズおよび 形 状は、1 / 4 ”NPTメス・ネジまたは 1 / 4”フェイス・シール継手オスが標準です。 ■ 入口・出口継手の、 種類・サイズおよび形状（オス、 メス） の組み合わせは、 品番コード表に示すものの中から選択可能です。 ■ UJR ® 、VCR ® 、 CVC ® 以外の継手の面間寸法は標準面間寸法と異なる 場合があります。 8MPa 2MPa 1MPa シリーズ 0.2 調整器カバー ダイヤフラム 0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 圧力調整ハンドル 流量 ［NL/min］ 窒素ガス ［N₂］ O-リング 調整弁シート 弁座 調整弁 OUT φ72 シリーズ 器 種 R 6 1 24 約６３ 約１４７ M36×1.5 パネル取付寸法φ３７ （φ43でも可） 材 質 グレード 約１０６ （フェイス・シール面間） 61 最大入口圧力 14.8MPa 圧力計無し 又は ポートのみの場合 器 種 6000シリーズ 調整器本体 ［備考］ ■圧力調整ハンドルは、必要以上に押し込まないように、 ご注意ください。 W ポート仕様 溶接ポート B B 級 3 3ポート P ねじ込みポート C C 級 4 4ポート G ポート特殊 （継手・位置） ポート数 ポート仕様 圧力調整 ハンドル 低圧側圧力計 オプション 高圧側圧力計 継手形状 継手サイズ 1 W21−14山 R 右 オス 継手メス M オス 2 0∼0.6MPa 2 W22−14山 F メス Q 0∼0.4MPa 6 W26−14山 高・低圧圧力計 0∼25MPa 10 調整圧力範囲 0∼0.99MPa H8 0∼16MPa 06 2A 0∼10MPa 04 6B 0∼6MPa 02 0∼0.2MPa A5 0∼2.5MPa 2J 0∼1.6MPa A2 0∼1MPa B6 0∼0.6MPa B3 0∼0.3MPa 2K −0.1∼0∼1.6MPa 2R −0.1∼0∼1MPa R6 −0.1∼0∼0.6MPa R3 −0.1∼0∼0.3MPa R1 −0.1∼0∼0.1MPa 圧力計無し 又は ポートのみの場合 L 左 0 NPT 2 1/8 2 VCR 4 1/4 3 S-JSK 6 3/8 4 JSK 8 1/2 6 SWL 0 その他 7 UJR 9 0 0 オプション 出入口逆仕様 特殊研磨処理ECB （MD） K クリーンエス処理 G 特殊仕様 その他 その他 パネル取付ワッシャー 約９2 パネル取付ナット 約１５8 背面取付ネジ・サイズ ２−Ｍ６×１ （深さ１０） 調整器カバー 出口継手 形状 サイズ オス・メス 圧力計付の場合 圧力調整 スプリング ダイヤフラム 入口継手 形状 サイズ オス・メス 5A GE 50 高圧側圧力計 低圧側圧力計 （最大入口圧力）（調整圧力範囲） IN 10 IN フィルター ポート数 2 2ポート １/４フェイス・ シール （オス） １/４フェイス・ シール （オス） OUT ［備考］ 36 ■各流量曲線データは、標準仕様での参考値です。 また、 ガス温度等により変動します。 緩衝スプリング 材 質 SUS SS Rシリーズ グレード A A 級 パネル取付ナット 背面取付ネジ・サイズ ２−Ｍ６×１ （深さ１０） 約９2 0 R パネル取付ワッシャー 0.1 約１５8 調整圧力 ［MPa］ 圧力調整 スプリング 品番コード 高圧側圧力計 低圧側圧力計 0.3 0 .18μm Ra以下 NPT 1 /4メス・本体面間寸法 ………………… 約 72 mm 1 /4”フェイス・シール継手面間寸法（オス） 約106 mm 1 /4”フェイス・シール継手面間寸法（メス） 約123 mm 3 / 8・ ”1 / 2 ”フェイス・シール継手面間寸法 （オス、メス同一）……………………………… 約132 mm ［備考］ ■ ハステロイ® C-22 製圧力計は、オプションでの選択となります。 0.4 0 .80μm Ra以下 標準面間寸法 0.5 圧力調整 ハンドル ■ 単位：mm ■ 各寸 法は、改 良のため予 告 なく変更することがあります ので、ご了承ください。 クリーン・レベル タイプ 接ガス部 本体 調整弁 弁座 ダイヤフラム 弁シート 緩衝スプリング 圧力計部継手シール用ガスケット パッキン材 非接ガス部 調整器カバー 圧力調整ハンドル Ｏリング 0.1 ［注記］ （1） 圧力計付の場合の調整圧力は、最大目盛値の 60 % 以内です。 （2） 1 MPa = 10 . 2 kgf/cm 2 = 144 . 84 PSI = 7504 . 36 mmHg = 295 . 4 inHg 約６３ 材 質 フィルター 約 2 . 0 kg 24 M36×1.5 パネル取付寸法φ３７ （φ43でも可） 調整器本体 0.3 質量 IN [ 備考 ] φ72 IN ネジ込み仕様（P） ；1×10 －9 Pa・m 3 /sec・He（真空法） 0.5 溶接仕様（ W ） ；1×10 －11Pa・m 3 /sec・He（真空法） （但し、グレード“ C ”はN 2 ガスによる24 時間封入テスト） 0.4 １/４フェイス・ シール （オス） １/４フェイス・ シール （オス） 36 調整弁 入口圧力；0 .1MPa当り、調整圧力変化量 0 . 001MPa 使用温度 圧力調整ハンドル OUT 調整弁シート 弁座 Max. 0 . 99 MPa （レンジ仕様 0 ～ 0 . 2 MPa、0 ～ 0 . 4 MPa、0 ～ 0 . 6 MPa、0 ～ 0 . 99 MPa） 耐圧圧力 パネル取付ナット 調整器カバー O-リング 14 . 8 MPa以下 調整圧力 ［MPa］ 調整圧力（注1） パネル取付ワッシャー 背面取付ネジ・サイズ ２−Ｍ６×１ （深さ１０） ダイヤフラム 高圧側圧力計 低圧側圧力計 圧力調整 スプリング 高圧大流量タイプ 入口圧力 外観図 圧力調整 ハンドル 圧力調整ハンドル １/４フェイス・ シール （オス） １/４フェイス・ シール （オス） 51
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