CleanStar ® iComLine® Construction CleanStar C50 HPW,C51 HPW,C57 HPWは超高純度プラスチック 製のダイアフラムシート式グローブバルブです。バルブボディとすべて の接液部は PTFE ,アクチュエーター外装は PVDF ,ユニオンナットは PVDF,PFAまたはC-PFA製となっています。 ポジションインジケーターが標準装備されており,さらにC50 HPWには ストロークリミッターが付きます(アクチュエーターサイズによってはオ プション)。2/2-wayバルブに加え,マルチポートブロックバルブという ® C50 HPW カスタマイズソリューションがあります。 Features • • • • • • • • • • 設置面積が小さいグローブバルブ 接液部の材質はすべてPTFE 一体成形ダイアフラムシート(バックアップゴムなし) 開閉動作500万回の耐久性能 標準的な接続とアクセサリーに幅広く対応 最小限のデッドレグ 高い洗浄性,最小限のコンタミネーションリスク 高い耐熱性 高い流量能力 クリーンルーム内で製造,SEMI F57規格適合 C51 HPW Advantages • • • • • • • コンパクト設計で省スペースに貢献,液溜りの少ない構造 広範な耐薬品性,あらゆるアプリケーションに使用可能 長寿命で低ランニングコスト 高温流体も柔軟にハンドリング 圧力損失が小さい 直径拡張シートによりバルブサイズとコストを低減 超高純度流体に好適 Sectional drawing C57 HPW C50,C51,C57 HPW General technical data 使用流体 アクチュエーターとシートサイズのバリエーション 腐食性・不活性の気体および液体。バルブボディとダイアフラム に 物理的・化学的悪影響を及ぼさないもの。 シートサイズ Ø 流体方向 バルブボディ側面に矢印表示 使用流体圧力 アクチュエーター サイズ 0.6 MPa以下 0.42 MPa以下 40 kPa/abs*まで 標準シートサイズ 直径拡張シートサイズ 真空 1 2 1A1 1B1 2A1 型式 3 2B1 3A1 4 3B1 4A1 シートサイズ Ø 6.38 9.20 9.55 15.30 15.80 21.00 22.25 [mm] * 過度の真空状態で使用すると製品寿命が短くなる場合があります。 標準シートサイズは1A1,2A1,3A1,4A1です。 直径拡張シートサイズ1B1,2B1,3B1ではアクチュエーターサイ ズが小さいままシート径が大きくなります。 使用流体温度 圧力 - 温度ダイアグラムをご覧ください。 周囲温度 60℃以下 材質 PTFE PTFE PVDF バルブボディ ダイアフラム アクチュエーター 2/2-wayバルブのKv値/Cv値 接続 サイズ 1/4" 3/8" 1/2" 接続方法 サイズ Code チューブ フレア 73, 75, 77 チューブ ピラー Super 300 Type 79 チューブ フレア 73, 75, 77 チューブ ピラー Super 300 Type 79 チューブ フレア 73, 75, 77 チューブ フレア 73, 75, 77 チューブ ピラー Super 300 Type 79 チューブ ピラー Super 300 Type 79 チューブ フレア チューブ フレア 3/4" チューブ ピラー Super 300 Type チューブ ピラー Super 300 Type チューブ フレア チューブ フレア 1" チューブ ピラー Super 300 Type チューブ ピラー Super 300 Type チューブ フレア 1 1/4" チューブ ピラー Super 300 Type C50, C51, C57 73, 75, 77 73, 75, 77 79 79 73, 75, 77 73, 75, 77 79 79 73, 75, 77 79 Code 呼び径 アクチュ エーター 4 4 1A1 4 4 1A1 6 6 1A1 6 6 1A1 8 10 1B1 8 10 2A1 8 10 1B1 8 10 2A1 12 15 2B1 12 15 3A1 12 15 2B1 12 15 3A1 16 20 3B1 16 20 4A1 16 20 3B1 16 20 4A1 20 25 4A1 20 25 4A1 2 最高使用 Kv値 圧力 [MPa] 0.6 0.6 0.6 0.6 0.42 0.6 0.42 0.6 0.42 0.6 0.42 0.6 0.42 0.6 0.42 0.6 0.6 0.6 Cv値 [US [l/min] gal/min] 4.0 0.28 4.0 0.28 11.7 0.82 11.7 0.82 23.0 1.61 23.7 1.66 23.0 1.61 23.7 1.66 62.5 4.38 75.0 5.25 62.5 4.38 75.0 5.25 105.0 7.35 137.0 9.59 105.0 7.35 137.0 9.59 145.0 10.15 145.0 10.15 質量[g] C50 C51 C57 240 240 250 250 280 560 280 560 700 1030 700 1030 2180 2740 2180 2740 2950 2950 240 240 250 250 280 598 280 598 738 738 - 240 240 250 250 280 580 280 580 720 1040 720 1040 2190 2190 - 圧力 - 温度ダイアグラム 14 32 50 68 86 温度 [°F][°F] Temperatur 104 122 140 158 176 194 212 230 248 266 284 302 AG 1+2 AG 3+4 圧力 [bar] Druck [bar] 7 6 105 90 75 5 60 4 3 45 使用の許容範囲 2 30 15 1 - 20 Druck [PSI] 圧力 [PSI] -4 -10 0 10 20 30 40 50 60 70 80 Temperatur [°C] 温度 [°C] 90 100 110 120 130 140 150 圧力 - 温度ダイアグラム使用の際の注意事項 圧力 - 温度ダイアグラムはあくまでも目安です。参考としての利用にとどめてください。データは使用流体を水としたときのものです。 流体の種類その他の諸条件により変動します。実際の使用条件で試験をおこない本体材質に影響がないことを確認してください。 Technical data GEMÜ C50 HPW 操作空気圧力 ノーマルクローズ(NC) 0.4 ∼ 0.7 MPa 0.4 ∼ 0.7 MPa* アクチュエーター サイズ ノーマルオープン (NO) * 0.6 ∼ 0.7 MPaでは製品寿命が短くなる場合があります。 1 2 操作空気供給口 3 G 1/8 接続ねじサイズ 4 操作空気使用量 C50 コントロールファンクション 1 2 1 2 1 2 1 2 空気室の容積 ノーマルクローズ(NC) ノーマルオープン (NO) ノーマルクローズ(NC) ノーマルオープン (NO) ノーマルクローズ(NC) ノーマルオープン (NO) ノーマルクローズ(NC) ノーマルオープン (NO) [cm3] 5.30 4.80 18.39 25.10 25.34 37.71 83.52 105.68 Dimensions A B フレア継手の重なり部寸法,ねじサイズ チューブサイズ 1/4" 3/8" 1/2" 3/4" 1" 1 1/4" ねじの表記 1/2"-20-UNF 5/8"-20-UN 3/4"-20-UNEF 1"-20-UNEF 1 7/16"-12-UN 1 3/4"-8-UN 規格 ANSI B 1.1 ANSI B 1.1 ANSI B 1.1 ANSI B 1.1 ANSI B 1.1 ANSI B 1.1 A mm[inch] 7.0 [0.27"] 10.0 [0.39"] 12.0 [0.47"] 14.0 [0.55"] 14.0 [0.55"] 18.0 [0.71"] 寸法許容差 CleanStar® のプラスチック部品は,DIN 16901-140規格に準拠して製作されています。 3 C50, C51, C57 Order data タイプ 空気操作バルブ 手動バルブ レバー式(Quarter Turn) 手動バルブ ハンドル式(Multi Turn) 呼び径 1/4" 3/8" 1/2" 3/4" 1" 1 1/4" DN 4 DN 6 DN 10 DN 15(C50,C57のみ) DN 20(C50,C57のみ) DN 25(C50,C57のみ) バルブボディ形状 2/2-way 接続 フレア継手 C-PFAユニオンナット フレア継手 PVDFユニオンナット フレア継手 PFAユニオンナット ピラー継手 Super 300 Type PFAユニオンナット Code バルブボディ材質 Code シール材質 Code コントロールファンクション Code PTFE(ポリテトラフルオロエチレン) C50 C51 C57 26 PTFE Code 4 6 8 12 16 20 5 手動(C51,C57のみ) 0 1 2 ノーマルクローズ(C50のみ) ノーマルオープン (C50のみ) Code アクチュエーター アクチュエーターサイズ 1, シート ∅ 6.38 mm 1A1 1B1 2A1 2B1 アクチュエーターサイズ 1, シート ∅ 9.20 mm Code アクチュエーターサイズ 2, シート ∅ 9.55 mm D アクチュエーターサイズ 2, シート ∅ 15.30 mm アクチュエーターサイズ 3, シート ∅ 15.80 mm (SC50,C57のみ) Code 73 75 77 79 3A1 アクチュエーターサイズ 3, シート ∅ 21.00 mm (C50,C57のみ) 3B1 アクチュエーターサイズ 4, シート ∅ 22.25 mm (C50,C57のみ) 4A1 バルブ呼び径とアクチュエーターの組合せは,2ページをご覧ください Code カラーバージョン HPW ハイピュリティー ホワイト Order example タイプ 呼び径 C51 8 C51 8 バルブボディ形状 接続 バルブボディ材質 シール材質 コントロールファンクション アクチュエーター カラーバージョン C50, C51, C57 4 D D 75 75 26 26 5 5 0 0 2A1 2A1 HPW HPW Dimensions C50 HPW [mm] □B B1 M H2 A1 A5 G 1/8 A2 A4 A3 E Ø N 3 N2 N1 1/2 L サイズ 接続 1/4" フレア ピラー Super 300 Type フレア ピラー Super 300 Type フレア フレア ピラー Super 300 Type ピラー Super 300 Type フレア フレア ピラー Super 300 Type ピラー Super 300 Type フレア フレア ピラー Super 300 Type ピラー Super 300 Type フレア ピラー Super 300 Type 3/8" 1/2" 3/4" 1" 1 1/4" アクチュ エーター 1A1 1A1 1A1 1A1 1B1 2A1 1B1 2A1 2B1 3A1 2B1 3A1 3B1 4A1 3B1 4A1 4A1 4A1 A1 54.5 54.5 54.5 56.5 64.0 66.0 66.0 66.0 85.5 91.5 87.0 93.0 99.5 119.5 100.5 120.5 127.0 128.0 A2 A3 A4 11.0 11.0 11.0 11.0 11.0 13.5 11.0 13.5 13.5 17.0 13.5 17.0 17.0 18.5 17.0 18.5 18.5 18.5 12 12 12 12 12 16 12 16 16 24 16 24 24 37 24 37 37 37 3.0 3.0 3.0 3.0 3.0 4.5 3.0 4.5 4.5 5.5 4.5 5.5 5.5 7.5 5.5 7.5 7.5 7.5 A5 □B B1 85.0 85.0 85.0 87.0 94.5 108.5 96.5 108.5 128.0 143.5 129.5 145.0 151.5 184.0 152.5 185.0 191.5 192.5 5 37 37 37 37 37 50 37 50 50 58 50 58 58 85 58 85 85 85 45.5 45.5 45.5 45.5 45.5 57.0 45.5 57.0 57.0 62.0 57.0 62.0 62.0 86.0 62.0 86.0 86.0 86.0 1/2 L L E 37.0 37.0 37.0 37.0 41.0 50.0 41.0 50.0 60.0 65.0 60.0 65.0 67.5 93.0 67.5 93.0 93.0 93.0 H2 13.5 13.5 13.5 15.5 16.0 16.0 18.0 16.0 19.0 19.0 20.5 20.5 25.0 25.0 26.0 26.0 32.5 33.5 N4 L 98.4 75.0 104.8 87.0 111.6 121.6 99.0 108.0 136.4 141.4 132.0 137.0 164.7 190.2 153.5 179.0 206.3 217.0 M N1 N2 ØN3 N4 M12x1 58.0 M12x1 58.0 M12x1 58.0 M12x1 58.0 M12x1 62.0 M12x1 71.0 M12x1 62.0 M12x1 71.0 M12x1 81.0 M16x1 89.0 M12x1 81.0 M16x1 89.0 M16x1 91.5 M16x1 118.0 M16x1 91.5 M16x1 118.0 M16x1 118.0 M16x1 118.0 39 39 39 39 39 49 39 49 49 60 49 60 60 74 60 74 74 74 6 6 6 6 6 6 6 6 6 7 6 7 7 9 7 9 9 9 12 12 12 12 12 12 12 12 12 13 12 13 13 15 13 15 15 15 C50, C51, C57 Dimensions C51 HPW [mm] B1 H2 A5 A4 □B E N2 N1 3 N Ø 1/2 L サイズ 接続 アクチュ エーター 1A1 1A1 1A1 3/8" 1A1 1B1 2A1 1/2" 1B1 2A1 2B1 3/4" ピラー Super 300 Type 2B1 1/4" フレア ピラー Super 300 Type フレア ピラー Super 300 Type フレア フレア ピラー Super 300 Type ピラー Super 300 Type フレア C50, C51, C57 A4 29.7 29.7 29.7 29.7 29.7 39.3 29.7 39.3 39.3 39.3 A5 113.9 113.9 113.9 115.9 123.4 162.9 125.4 162.9 182.4 183.9 L □B B1 37 37 37 37 37 50 37 50 50 50 57 57 57 57 57 90 57 90 90 90 6 N4 1/2 L E 37.0 37.0 37.0 37.0 41.0 50.0 41.0 50.0 60.0 60.0 H2 13.5 13.5 13.5 15.5 16.0 16.0 18.0 16.0 19.0 20.5 L 98.4 75.0 104.8 87.0 111.6 121.6 99.0 108.0 136.4 132.0 N1 58.0 58.0 58.0 58.0 62.0 71.0 62.0 71.0 81.0 81.0 N2 39 39 39 39 39 49 39 49 49 49 ØN3 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 N4 12 12 12 12 12 12 12 12 12 12 Dimensions C57 HPW [mm] H2 A5 A4 □B E N2 N1 3 ØN 1/2 L サイズ 接続 1/4" フレア ピラー Super 300 Type フレア ピラー Super 300 Type フレア フレア ピラー Super 300 Type ピラー Super 300 Type フレア フレア ピラー Super 300 Type ピラー Super 300 Type フレア フレア ピラー Super 300 Type ピラー Super 300 Type フレア ピラー Super 300 Type 3/8" 1/2" 3/4" 1" 1 1/4" アクチュ エーター 1A1 1A1 1A1 1A1 1B1 2A1 1B1 2A1 2B1 3A1 2B1 3A1 3B1 4A1 3B1 4A1 4A1 4A1 A4 2.5 2.5 2.5 2.5 2.5 4.0 2.5 4.0 4.0 5.5 4.0 5.5 5.5 8.5 5.5 8.5 8.5 8.5 A5 106.0 106.0 106.0 108.0 116.0 130.0 118.0 130.0 150.0 156.5 151.5 158.0 164.5 178.5 165.5 179.5 178.5 179.5 L □B 37 37 37 37 37 50 37 50 50 58 50 58 58 85 58 85 85 85 7 E 37.0 37.0 37.0 37.0 41.0 50.0 41.0 50.0 60.0 65.0 60.0 65.0 67.5 93.0 67.5 93.0 93.0 93.0 N4 1/2 L H2 13.5 13.5 13.5 15.5 16.0 16.0 18.0 16.0 19.0 19.0 20.5 20.5 25.0 25.0 26.0 26.0 25.0 26.0 L 98.4 75.0 104.8 87.0 111.6 121.6 99.0 108.0 136.4 141.4 132.0 137.0 164.7 190.2 153.5 179.0 206.3 217.0 N1 58.0 58.0 58.0 58.0 62.0 71.0 62.0 71.0 81.0 89.0 81.0 89.0 91.5 118.0 91.5 118.0 118.0 118.0 N2 39 39 39 39 39 49 39 49 49 60 49 60 60 74 60 74 74 74 ØN3 6 6 6 6 6 6 6 6 6 7 6 7 7 9 7 9 9 9 N4 12 12 12 12 12 12 12 12 12 13 12 13 13 15 13 15 15 15 C50, C51, C57 マルチポートブロックバルブシステム Should there be any doubts or misunderstandings, the German version of this data sheet is the authoritative document! GEMÜ C50,C51,C57をベースとして,お客様のさまざまアプリケーションにあわせた材質および接続のバルブボディをブロック材の 切削加工により製作します。 各種センサー, チャッキバルブの組込みや異なる接続の組合せも可能です。 All rights including copyright and industrial property rights are expressly reserved. カスタマイズソリューション Features Main advantages & customer benefits ハイピュリティーバージョン (クリーンルーム内で製造) と スタンダードバージョン 広範なアプリケーションに使用可能 ステンレス鋼など) 多様な材質(PTFE,PVDF,PP,PVC, 流体の種類,要求仕様に最適の材質 その他のバルブ,ハイピュリティー製品,アクセサリーなどにつきましては お問合わせください。 VALVES, MEASUREMENT AND CONTROL SYSTEMS GEMÜ Gebr.Müller · Apparatebau GmbH & Co.KG · Fritz-Müller-Str.6-8 · D-74653 Ingelfingen-Criesbach · Telefon +49(0)7940/123-0 · Telefax +49(0)7940/123-192 [email protected] · www.gemu-group.com Subject to alteration · 11/2014 · 88xxxxxxx コンパクトデザイン,省スペース, メンテナンス部品点数低減,現 完全一体化のシステムソリューション 場作業時間短縮,接続箇所数削減, ローメンテナンス,高い費用 (バルブ,継手, センサー, チャッキバルブ, ミニタンク, フィルター) 対効果
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