磯上：高真空スパッタリング装置へ設置した赤外線加熱機構の立ち上げとMgO薄膜結晶性へ及ぼす赤外線加熱効果
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研究紀要　第55号（2014）　福島工業高等専門学校
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磯上：高真空スパッタリング装置へ設置した赤外線加熱機構の立ち上げとMgO薄膜結晶性へ及ぼす赤外線加熱効果
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