OPS-3100/4100 Series MECS DAIHEN

3∼4ポート対応EFEM
Ophiuchus
（オフューカス）
OPS-3100/4100 Series
MECS DAIHEN
300mm
3 Ports
4 Ports
特徴
■ 業界最高レベルの 300WPH を実現
■ コンパクトな筐体
■ 独自機構を持つ搬送ロボット搭載で
スライダレスの 4FOUP アクセスと
最高 1.6m の高所搬送が可能
Features
■ High throughput 300 WPH.
■ Compact enclosure.
■ Trackless 4FOUP access and
1.6m reachable height.
仕様 Speciﬁcation ＊1
そして、両社のノウハウを結集し
新たに生まれたACT RANS シリーズ。
私たちの高い Quality が、
御社のビジネスをサポートします。
2
外形寸法
Outline Dimension
1955mm(W)
1235mm(D)
2230mm(H)
適用ウエハ
Applicable Wafer
300mm Silicon Wafer
(SEMI Standard E15.1)
適用カセット
Applicable Casette
FOUP (SEMI Standard E47.1, E62)
FOSB
スループット
Throughput
300 WPH (w/Vacuum E/E)
220 WPH (w/Edge Grip E/E)
クリーン度
Cleanliness
ISO Class 1 (ISO-14644）
本体質量
Mass
750kg
HOST通信I/F
HOST Communication I/F
HSMS
オプション Option
Aligners, Ionizers, Safety Light Curtains
真空 Vacuum
必要諸源
Facilities
設置環境
Environment
-80kPag or less, 40NL/min.
-60kPag±10%, 20NL/min.
圧空 CDA
0.52 0.6MPag, 60NL/min.
電源 Power
Single Phase 200±10% VAC 20A
温度 Temp.
0-40℃ (周辺機器により異なります)
(Depends on the peripheral devices)
湿度 Humidity
70% or less (No condensation)
＊1：4ポートモデル（OPS-4100 Series）についてはお問い合わせください。
Aligner
Safety Light Curtains
(Optional)
Load Port
FFU
Ionizer (Optional)
1235
(1178)
700
Touch Panel
913
高い技術力の「DAIHEN」。
OPS-3100 Series
2230
確かな実績の「M E C S」。
Wafer Transfer Robot
型式 Model
1955
EFEM Controller
OPS-3100
Clean Robot Division
3
■ High speed 450 WPH.
■ Sophisticated controller.
■ Conforms to RoHS Directive.

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