大面積プラズマチェッカー
• プラズマを照射することで変色します（薄膜の干渉色が膜厚によ
り変化することを利用）。
• 変色の偏り（ムラ）の有無でプラズマ処理効果の均一性を目視で
簡単に確認できます。
• 従来品（□10mm）の100倍の面積を一度に確認可能です。
• 基材が金属製のため、高温処理にも対応します。
SAKIGAKE-Semiconductor CO.LTD.