科学・産業機器 4.プラズマ装置 プラズマリアクター Gas Plasma Reactors 小型・一体型／DP方式バレル型 PR500/510 高周波出力 50∼500W 反応槽 φ215×305mm 低温プラズマ・バレル型の定番 PR500（手動制御方式） PR510（自動タッチパネル方式） 低温プラズマ、バレル型の定番として歴史が物語る装置 です。オートマッチング機構の標準装備をはじめ、タッ チパネル（PR510）の採用により、さらに操作性・安全 性を高めた、コンパクトタイプのバレル型プラズマ処理 装置です。 ■ 用途 ●フォトレジストの除去 ●部品の洗浄 ●界面活性処理 ●マイクロ研磨 ●ウエーハ、ガラス基板に対応 ■ 特徴 ●大口径 （φ215mm） の石英チャンバーを装備 ●発振器とチャンバー部を一体化したコンパクトタイプ ●操作の簡単なタッチパネル方式 （PR510型） PR500 チャンバー ウエーハアッシング状態 PR510（マスフローメータ仕様） ■仕様 215007 215012 型 式 PR500（フローメータ仕様） PR510（マスフローメータ仕様） 方 式 高周波出力 発振周波数 同調方式 反応槽 反応ガス系 制御系 配管系材質 外形寸法・重さ 電源 DP方式バレル型 Max500W 13.56MHz オートチューニング 石英製φ215×305mm 2系統（O2／CF4） 手動 SUS、テフロン 幅438×奥行520×高さ760mm・約60kg AC100V 9A（15A） 価 格 ¥5,900,000 制御部 商品コ−ド 反応部 タッチパネルからの自動シーケンス 仕様書参照 AC200V 三相 8A（15A） ¥7,800,000 （注） 上記の価格には、真空ポンプは含んでおりません。※上記の価格には、消費税は含まれておりません。●荷造・運送・搬入・据付費は別途申し受けます。 （注） 上記の仕様につきましては詳細な打ち合わせを必要としますのでご照会ください。電源欄の （ ） はブレーカ容量および電源設備容量です。 ●仕様および外観は改良のため予告なく変更することがありますのでご了承下さい。製品カラーは、撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがあります。 169 ヤマト科学 PR500/510 www.yamato-net.co.jp 0120-405-525
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