室温・大気圧で薄膜形成
～チューブ・小物・布～
様々な形状に
SAKIGAKE-Semiconductor CO.LTD.
チューブ内壁への処理
用途
• 保護膜の形成
• 耐薬品性の向上
• ガスバリア性の向上
• 絶縁コーティング
• 液とのなじみを改善
処理部
マスク部（基材）
→薄膜による均一な干渉色
（模様は光の反射）
処理の概要
チューブ
TEOS+O3
評価のためテストピース（SUS小片）を
チューブ内壁に貼り付け
内壁に膜形成
小物への処理
処理後 未処理
処理後
未処理
着色を確認
薄膜による虹色の干渉色
用途
• 錆の防止・耐腐食性の向上
• ガスバリア性の向上
• 花びらの保存
• 着色（干渉色）
処理の概要
TEOS+O3
布・メッシュ・多孔質への処理
SUSメッシュシートを重ねることで模擬。
処理部（中心の円形）に沿って着色を確認。
重なり合った繊維の間にも処理が可能。
用途
• 燃えない繊維
• 燃えない紙
• 耐薬品性の向上
処理の概要
TEOS+O3
SUS製メッシュ8枚重ね