Transferzentrum Halbleitertechnologie Vakuumworkshop 2017 des Transferzentrums Halbleitertechnologie Prof. Dr. P. Michler für Personen, die mit dem Thema Vakuum in der Praxis umgehen, auch für Vorgesetzte und Planer sowie alle, die sich intensiv mit diesen Inhalten beschäftigen und den Erfahrungsaustausch suchen Der Workshop wird durch eine Firmenpräsentation umrahmt Ort der Veranstaltung: Termin der Veranstaltung: Modul I Dienstag, 14.02.2017 Modul II Mittwoch, 15.02.2017 Grundlagen und klassische Themen der Vakuumtechnologie Spezielle Anwendungen in Vakuumsystemen Universitätsstraße 38, Informatik-Gebäude Hörsaal V 38.04 EG Anmeldung: Teilnahmegebühr: Bis spätestens 30.01.2017 an: [email protected] Die Anmeldebestätigung erfolgt nach Eingang der Überweisung. 310,- € + MWST pro Einzelmodul 530,- € + MWST Modul I + II (jeweils inkl. Verpflegung) Details unter: http://www.ihfg.uni-stuttgart.de/aktuelles/vakuumworkshop2017/ Universität Stuttgart, Universitätsstraße 38, 70569 Stuttgart Informatik-Gebäude: Hörsaal V38.02 im EG (Vorträge) Hörsaal V38.03 im EG (Tagungsbüro + Firmenpräsentation) Allgemeine Touristikinformation/ Übernachtungen: Stuttgart-Marketing GmbH Commundo Tagungshotel Reservierungshotline: (0711) 22 28 233 [email protected] Aus organisatorischen Gründen können wir keine Hotelbuchungen für Sie vornehmen. Informationen zur Firmenpräsentation Vakuumworkshop 2017 Dem Besucher wird unter anderem Gelegenheit gegeben folgende Themenbereiche vertiefend kennen zu lernen: ● Gesichtspunkte bei Wartung und Einsatzbereichen von Pumpen ● Detektion von Leckagen an Prüflingen mittels Heliumlecksuchgerät ● Ausstellung von Flanschbauteilen, Pumpen, Druckaufnehmern und Komponenten zur Druck- und Massenflussregelung Modul I: Grundlagen und klassische Themen der Vakuumtechnologie 8:30 Begrüßung: Prof. Dr. P. Michler, Dr. M. Jetter, E. Kohler (Transferzentrum Halbleitertechnologie an der Universität Stuttgart) Vorstellung der Referenten 8:45 Technologie und Einsatzbereiche moderner Membranpumpen (Achim Melching, Vacuubrand) - Funktionsweise, Vorteile und Grenzen dieser Technologie - Konstruktionsmerkmale für extreme Lebensdauer - Einsatzbereiche und spezifische Pumpenauswahl - Auslegung von Vorpumpen für Turbomolekularpumpen - Membranvakuumpumpen mit großem Saugvermögen bis 120 Kubikmeter/h 9:45 Flachdichtungen in Flanschverbindungen und dauerhafte technische Dichtigkeit - Ein Widerspruch? (Wolfgang Abt, Klinger) - Grundbegriffe der Dichtungstechnik - Dichtungswerkstoffe im Überblick: Weichstoffdichtungen (Faser-, PTFE- + Graphitdichtungen), Metallweichstoffdichtungen (Gummi-Stahl-Dichtung, Spiral- + Kraftnebenschlussdichtung) - Flanschverbindungen - Auswahl, Auslegung und Berechnung - Montage - Definition "Auf Dauer technisch dicht" - bisher und zukünftig 10:45 Pause mit Gelegenheit zum Besuch der Firmenpräsentation 11:30 Bedarfsgerechte Instandsetzung von Vakuumpumpen (Dr. Martin Bartels, Druschke) - Tipps & Erfahrungen kundenorientierter Servicearbeit - Unterschiedliche Arbeitsbereiche von Vakuumpumpen am Beispiel Drehschieberpumpe, Schraubenpumpe und Wälzkolbenpumpe - Typische Verschleißerscheinungen an Vakuumpumpen - Auswirkungen auf den erreichbaren Enddruck + das Saugvermögen - Beispielkostenrechnung mit ungefähren Zahlenwerten von Komplettreparatur, bedarfsgerechte Reparatur und Folgekosten - Tipps zum Betrieb von Vakuumpumpen - Vermeiden von Bedienfehlern mit hohen Folgekosten - Kleine Wartung selbst gemacht 12:30 Mittagspause 14:00 Problematik des Abpumpens leichter Gase im UHV und deren Lösungsmöglichkeiten (Jonas Geßler, Pfeiffer-Vacuum) - Erörterung der Anforderung: Welches UHV brauche ich? - Gegenüberstellung von verschiedener Pumptechnologien in Bezug auf leichte Gase - Diskussion der Lösungsmöglichkeit an zwei Beispielen: Molekularstrahlepitaxie und Photolumineszenzmessungen am Kyrostaten 15:00 Dichtungsmechanismen lösbarer Verbindungen in der Vakuumtechnik (René Bauer, Vacom) - Vakuumtechnische Grundlagen (Leckursachen, Leckrate, Enddruck) - Elastomer-O-Ring Dichtungen (Gestaltung, Permeation, Werkstoffe + Eigenschaften) - Metallische Dichtungen (Gestaltung, Leckrate, Werkstoffe) - CF-Flanschsystem und weichmetallische Flachdichtungen - Standardisierte Vakuumflanschverbindungen (KF, ISO, CF, QCF) - Gestaltungsregeln lösbarer Verbindungen 16:00 Kaffee - Pause mit Gelegenheit zum Besuch der Firmenpräsentation 16:30 Funktionsprinzipien + Anwendungsbeispiele typischer Vor- & Hochvakuumpumpen sowie Pumpsysteme (Peter Lambertz, Leybold) - Überblick der allgemeinen Funktionsprinzipien - Typische Druck- und Saugvermögensbereiche - Vorstellung ausgewählter Vor- und Hochvakuumpumpen sowie typischer Pumpsystemkombinationen - Vor- und Nachteile verschiedener Pumpentypen 17:30 Entwicklungsgeschichte der (Pumpen-)Technologien (Erich Kohler, Gasefachreferent) - Bilder + Erfahrungen mit den Pumpen-Oldtimern aus der Welt des Vakuums + der Lecksuche Modul II: Spezielle Anwendungen in Vakuumsystemen 8:30 Begrüßung: Prof. Dr. P. Michler, Dr. M. Jetter, E. Kohler (Transferzentrum Halbleitertechnologie an der Universität Stuttgart) Vorstellung der Referenten 8:45 Herausforderungen und Anwendungsmöglichkeiten der Vakuummesstechnik (Pelin Jadidi, Leybold) - Vorstellung verschiedener Messprinzipien - Anwendungsmöglichkeiten & Grenzen der Sensoren - Handlungsempfehlungen bei der Auswahl der passenden Messtechnik 9:45 Schaugläser & optische Faserdurchführungen: Aufbau, Funktionsweise + Anwendungsbeispiele (Dr. André Becker, Vacom) - Schaugläser : Aufbau und Funktionsweise - Optische Faserdurchführungen: Aufbau und Funktionsweise - Bewertung der Vakuumtauglichkeit und Ausheizbarkeit - Anwendungsbeispiele 10:45 Pause mit Gelegenheit zum Besuch der Firmenpräsentation 11:30 Vakuumdurchführungen - triviale Vakuumkomponenten oder doch nicht? (Erich Buttmann, Buttmann VPS) - Welche Typen bringen welche Probleme? - Technische Werte - Was geschieht bei schwacher Auslegung? - Wofür müssen Vakuumdurchführungen geeignet sein? - Auswahl der Materialien 12:30 Mittagspause 14:00 Explosionsschutz und Sicherheit in der Vakuumtechnik (Reinhard Jung, Planungsbüro für Industrie- und Elektrotechnik) - Vergleiche der Technik im Laborbereich zu denen in industriell genutzten Anlagen - Regeln und Gesetze - Aufbau einer traditionellen Vakuumkammer: Eingang - Kammer – Ausgang - Verhalten eines brennbaren Gemisches unter verschiedenen Bedingungen (Atmosphäre, Überdruck und Vakuum) - Möglichkeiten zur Beherrschung der festgestellten Risiken - Verweise auf die Rechtslage, Richtlinien, technischen Regeln, Aufbau nach Rechtsbedeutung und Technikdetails 15:00 Einsatzmöglichkeiten und Grenzen der Heliumlecksuche im HV- + UHV-Bereich (Norbert Hänisch, Agilent) - Warum Helium? - Minimale Nachweisgrenzen im Über- + Unterdruckverfahren - Wirkungsweise der verschiedenen Geräte und Methoden - Wann ist welche Methode, abhängig von den Anwendungen, sinnvoll? - Alternativen und Grenzen des Verfahrens 16:00 Kaffee - Pause mit Gelegenheit zum Besuch der Firmenpräsentation 16:30 Von high purity bis antimagnetisch - Anforderungen an Vakuumschieber in der Praxis (Felix Jordan, VAT)) - Unterscheidung und Kennung verschiedener Dichttechniken und Dichtmechanismen - Einsatzgebiete und Anforderungen der Ganzmetalltechnologie - Anforderungen moderner Beschleuniger in der Teilchenphysik - Synergien mit der Halbleitertechnik - Der Vakuumschieber als Hilfsmittel - alles nur kein Ventil! - High Purity / Antimagnetismus / Ausheizen / Optik im Vakuum 17:30 Flexibler Einsatz von Flowcontrollern durch Multi-Gas / Multi-Range Funktionen und Druckmessung im Vakuum durch Full-Range Gauges (Sven Nieft, MKS Instruments) - Anbindung des MFC‘s ins System - Flexible Einstellmöglichkeiten durch den Einsatz von Software u. Gaskurven (Modellbasiert vs. Korrekturfaktoren) - Vergleich indirekter Druckmessung (Pirani, Kathoden etc.) zu direkter Messung (Baratron, d.h. kapazitive Messung) 18:30 Ende des Workshops
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