Products Guide 最先端を超えて 新たなるステージへ ますます小型化 ますます ます ます小型 ます小 小型化 小 型化 化・高密 高密度化 高密度化する電子部品。 度化する する電子 電子部品 電子部 部品 部 品。わ わずかな不具合も許されない、 わずか ずかな不 ずかな ずか な不具合 な 不具合 具合も許 も許され 許され されない ない、 ない 、繊細 繊 繊細で高機能な電子部品を、 細で高機能な電子部品を 細で高機能な電子部品 細で 品を、非破 非破壊で検査するユニハイ 破壊で検査するユニ ユニハ ハイト システム社のX線CTシステム「3DCT」シリーズ。独自技術の着目中心回転機能＝ユーセントリック（U-CENTRIC）機能により、360° の 着目ポイントから “ミクロの眼” 、さらには “ナノの眼” で、 プリント基板内部やワイヤボンディングの状況までを高精度に解析。X線検 査装置の専業メーカーとして、独自の技術開発を進め、世界で初めて「3次元斜めCT」技術を開発。つねに次世代に向けた検査装置 を開発してきたユニハイトシステムは、 これからも世界をリードするX線検査装置を提供していきます。 1997年 ユーセントリック機能開発 EV-160 EV-160ｍ1 XVA-160 （青） XV-160PC XVA-160 （黒） 2001年 直交CT：Presto開発 2002年 斜めCT：Noix開発 XVA-160L 2015年 新型直交CT：Presto α 新制御ソフト 2010年 非停止撮影：Noix-Light開発 発 System Line Up ∼ ナノフォーカス3次元X線CTシステム ∼ ユーセントリック機能、3次元斜めCT機能など独自の技術をベースに高倍率（1,600倍） 、 ナノオーダのフォーカスサイズ （250nm/800nm切り替え） を実現したハイエンド高分解能3次元X線CTシステムです。 新機能 自動ワーク高さ検知機能 自動光軸・回転中心調整機能 自動フォーカス調整機能 標準仕様 高分解能 ユーセントリック機能 高倍率（1,600倍） Xanalyzer搭載 焦点寸法切り替え機能（250nm/800nm） 4Mピクセルカメラ 高精細トップテーブル オプション機能 3次元斜めCT：Noix 高速3次元斜めCT : Noix-Light 高精度直交CT：Presto α 直交CT：Presto 低エネルギー・高コントラスト発生器 可視光マッピング機能 標準仕様 高分解能 ユーセントリック機能 高倍率（1,600倍） Xanalyzer搭載 焦点寸法切り替え機能（250nm/800nm） メガピクセルカメラ オプション機能 3次元斜めCT：Noix 高速3次元斜めCT : Noix-Light 高精度直交CT：Presto α 直交CT：Presto 低エネルギー・高コントラスト発生器 高精度トップテーブル 可視光マッピング機能 3 ユーセントリック機能 特許取得済 ユーセントリックステージ ●カメラ傾斜時 ●カメラ傾斜＆拡大時 X線源 X線源 ステージ動作 ステージ動作 X線 ラ カメ 着目ポイント 着目ポイント X線 ラ カメ ※着目ポイントを逃さない！ ！ ※着目ポイントを逃さない！ ！ 60° 傾斜時 60° X線 カメラ ●カメラ傾斜＆ステージ回転 カメラ傾斜時の ステージ回転 （0° ） カメラ傾斜時の ステージ回転 （180° ） X線源 X線源 180° 回転 着目ポイント 着目ポイント 60° 傾斜時 ※着目ポイントを逃さない！ ！ X線 ラ カメ X線 ラ カメ ※着目ポイントを逃さない！ ！ 60° 傾斜時 回転軸 回転軸 CT機能 3次元斜めCT：Noix-Light/Noix 特許取得済 直交CT：Presto α 大型基板でも破壊せずに、断層撮影が可能 小型部品の精密断層解析に最適 ユーセントリック機能を利用し、斜め方向からX線を照射して、 従来の直交CT「Presto」をさらに進化させ、今まで以上に操作性を 3次元断層撮影を行います。 向上し、高倍率での撮影を可能にした新たな直交CTユニットです。 専用ステージを装着することでCTスキャナの撮影が可能です。 ●3次元斜めCTの撮影 直交CT断層画像 （コイル） X線源 X線源 X線 ラ カメ 撮影例 斜め方向からX線を照射するため、 アスペクト比のある大型基板の ようなサンプルでも、360° 方向同一条件での撮影が可能です。 また、 Ｘ線焦点に着目部位を近づけることができるため、高拡大率で の断層撮影が可能です。特別な治具を使用せず、 サンプルをステー ジ上に置くだけで断層撮影が可能なため、高い操作性を実現してい X線 カメラ アスペクト比の少ない 小型部品単体の解析に最適！ ！ ます。 ●一般的な横型CTの撮影 X線 カメラ X線源 斜めCT機能・直交CT機能 撮影例 併用可能 サンプルに対し垂直にX線を照射し、 サンプルを360° 回転させる方 式のため、 アスペクト比のあるサンプルの場合、断層データがノイズ だらけになってしまいます。 また、 Ｘ線焦点にサンプルの着目部位を 近づけられないため、高拡大率を得ることができません。 4 System Line Up ∼ マイクロフォーカス3次元X線CTシステム ∼ ユーセントリック機能搭載スタンダードモデル 標準仕様 高分解能 ユーセントリック機能 高倍率（1,000倍） Xanalyzer搭載 可視光マッピング機能 ２． ８Mピクセルカメラ オプション機能 3次元斜めCT：Noix 高速3次元斜めCT : Noix-Light 高精度直交CT：Presto α 直交CT：Presto 高精細X線発生器 Lサイズ基板対応モデル □500 標準仕様 ユーセントリック機能 高倍率（1,600倍） Xanalyzer搭載 焦点寸法切り替え機能 メガピクセルカメラ オプション機能 3次元斜めCT：Noix 高速3次元斜めCT : Noix-Light 直交CT：Presto UIF機能 Other Series ∼ 高出力マイクロフォーカス3次元X線CTシステム ∼ Si-230/300 〈撮影事例〉 5 ソフトウェア 多様な線源、 カメラに対応できるマルチデバイス制御ソフトウェア 可視光マッピング機能 X線マッピング機能 ティーチング機能 可視光マップ上をクリックすることで任意の場所へ移動で マッピング上のガイドを操作することで、 ステージ制御も可能 透視画像、CT撮影など、多点でそれぞれの登録をして自動 きます。マーキングポイントを表示することで、撮影箇所を後 です。 で撮影することが可能です。 また、 マッピングと連動した に確認することが可能です。 マウス操作機能 座標登録も可能です。 シェーディング補正機能 計測機能 マウスを使い、 モニタ上の画像を動かすことで、 ステージ 高機能のシェーディング補正機能により、従来の画像処理 ●寸法計測 制御を可能としています。 では困難であったものも識別可能です。 着目高さを合わせることで、透視画像上でも、各種寸法 計測が可能です。 着目高さ自動合わせ機能 ●面積計測 （ボイド計測） カメラ傾斜時に、 ガイドが出てくるので、簡単に着目高さを 各種面積やボイドの計測が可能です。 合わせることが可能です。 シェーディング補正前 シェーディング補正後 カスタマイズ 製造ラインでの高度な品質保証やナノレベルでの実装解析など、X線非破壊検査に関するお客様の様々なご要望に対応します。 最先端のX線デバイスや画像処理技術を用いた装置を優れた技術サポートとともに提供する事が可能です。 〈撮影事例〉 6 SPECIFICATIONS 製 品 型 式 □500 本体（W x D x H） 1,400 x 1,850 x 2,100 1,400 x 1,730 x 1,850 1,200 x 1,510 x 1,750 2,000 x 2,100 x 2,000 1,200 x 700 x 700 1,600 x 700 x 700 1,200 x 700 x 700 1,200 x 700 x 700 ステージサイズ （mm） 490 x 490 490 x 490 430 x 460 690 x 690 ストローク （mm） 310 x 310 300 x 300 310 x 310 500 x 500 ※突起含まず 本体寸法 （mm） デスク（W x D x H） 回転角度 -10∼370° 1∼360° 360° （±180° ） -1∼360° 傾斜角度 0∼60° 0∼60° 0∼60° 0∼60° ステージ 発生器 管電圧 20∼160 kV 20∼160 kV 20∼160 kV 20∼160 kV イメージインテンシファイア カメラ 制御ソフト Xanalyzer Noix ○ ○ ○ ○ Presto ○ ○ ○ ○ Presto α ○ ○ ○ − ソフトウェア CT ※外観・仕様は予告なく変更する場合がありますので予めご了承ください。 製品に関する詳細は http://www.marubun.co.jp/product/inspection/xray/unihite_top.html ユニハイト製品の情報はもちろん、 さまざまなニュース・ご案内をお知らせするページです。 カタログ請求・ご質問などをホームページから直接Eメール経由で送ることができます。 ご注意 ユニハイトシステムの充実したカスタマーサービスとサポート体制 ●ユニハイトシステム CSグループ 当社製品をご購入頂いたお客様に対し、サンプル撮影方法など、各種の技術的なご相談と修理の受付を行っております。 TEL 046-272-0111 （ダイヤルイン） FAX 046-272-2331 e-mail：[email protected] ●作業前に、 「取扱説明書」 や付属書類をよくお読みになり、 正しくお使いください。 ●本製品は、 電離放射線障害防止規則に基づきご使用ください。 ●類似品にご注意ください。 （株）ユニハイトシステムは JIMA（日本検査機器工業会） の会員です。 製造元 総販売元 神奈川県大和市下鶴間505-1 〒242-0001 TEL 046-272-0111 FAX 046-272-2331 URL：http：//www.unihite-system.co.jp e-mail：[email protected] 東京都中央区日本橋大伝馬町8-1 〒103-8577 システム営業本部 営業第2部 TEL 03-3639-9823 FAX 03-3639-2358 中部支社 TEL 052-563-1181 関西支社 TEL 06-4704-8205 20151P0510G
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