４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
・慶大・早大・東工大・東大
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5%
SiO2
Φ170 mm
3 inch 3 4
Φ220 mm
-4
5 10 Pa
10
7 10-3 Pa
300℃
Ti Cr Ni Au

岩崎香子

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