制御・電子材料科 - 地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所

ご利用推進月間 平成 28 年度第 2 回
産技研ラボツアーのご案内
初心者向け
(地方独立行政法人 大阪府立産業技術総合研究所)
機能性薄膜 作製・加工・評価速習コース (制御・電子材料科)
~薄い膜で目指せ性能アップ!!~
今回ご案内するラボツアーは、制御・電子材料科で担当している薄膜作製、微細加工、薄膜評価装置に関
する内容です。本ラボツアーでは、産技研が保有する制御・電子材料科の装置をご紹介いたします。産技研
をご利用の皆様におかれましては、これらの機器の特徴をよくご理解していただける大変良い機会となって
おりますので、多数のご参加をお待ちしております。
多機能真空蒸着装置
磁気特性測定装置
両面マスクアライナー
◆日 時:平成28年12月14日(水) 13時20分~16時20分 (受付:13時より)
(バスでお越しの場合、和泉中央駅を13:00に出発するバスで間に合います。)
○当研究所内に食堂がございます。一般の方もご利用になれます。(営業時間:11:45~13:15)
◆場 所:(地独)大阪府立産業技術総合研究所 研究本館2F 第5研修室
当日は、講習開始時刻までに当研究所の玄関ホール 講習会受付にて、受付をおすませください。
担当者が講習会場にご案内します。
◆定 員:9名 (1社2名まで)
※ 受講票は発行いたしません。返信で受付をお知らせします。
※ 受講には TRI カードが必要です。まだお持ちでない方は、申し込み方法をご連絡いたします。
◆受講料:無料
◆申込先:(地独)大阪府立産業技術総合研究所 顧客サービス室 業務推進課
※ お申し込みはメール([email protected])または FAX(0725-51-2520)までお願いします。
当研究所の催事情報等をお知らせする「産技研ダイレクトメールニュース」の配信をご希望のかたは、申込書
にメールアドレスをご記入ください。
<内容>
1.制御・電子材料科の装置と利用方法について
(13時20分 ~ 13時45分)
制御・電子材料科
宇野 真由美
2.薄膜作製、微細加工、薄膜評価装置の見学・実演
(13時45分 ~ 16時00分)
○薄膜作製装置(多機能真空蒸着装置、高密度プラズマCVD成膜装置、スパッタ装置など)
制御・電子材料科
筧 芳治、近藤 裕佑
○微細加工装置(両面マスクアライナー、ドライエッチング装置、レーザ描画装置など)
制御・電子材料科
佐藤 和郎、宇野 真由美
○薄膜評価装置(磁気特性測定装置、触針式膜厚測定装置、薄膜用スクラッチ試験機など)
制御・電子材料科
山田 義春、中山 健吾
種々の薄膜作製装置、微細加工装置、薄膜評価装置の原理や使用方法などを丁寧にご説明します。
3.質疑応答
(16時00分 ~ 16時20分)
・お問い合わせ先:顧客サービス室 業務推進課(TEL:0725-51-2518)
地方独立行政法人
大阪府立産業技術総合研究所
交通案内
地下鉄御堂筋線
新大阪
JR「大阪」・地下鉄「梅田」
新幹線
JR環状線
なんば
難波
南海電鉄
天王寺
地下鉄御堂筋線
中百舌鳥
泉北高速鉄道
なかもず
和泉中央
和泉中央駅バス乗り場5番から
研究所方面へのバスが出ております
駐車場は、入口から入って左手に
あります。ご利用下さい。
<和泉中央駅発バス時刻>
9 時:8, 27 分
10 時:3, 36 分
11 時:6, 30 分
12 時~15 時:毎 0,30 分
FAX 0725-51-2520
(地独)大阪府立産業技術総合研究所
業務推進課
行
産技研ラボツアー 「機能性薄膜 作製・加工・評価速習コース (制御・電子材料科)」 参加申込書
開催日:平成28年12月14日(水)
会
社
名
所
在
地
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加
(〒
所属:
)
役職:
氏名:
者
TRI カードをお持ちの方は、「K 番号」のご記入もお願いします。(K
連
絡
先
TEL:
)
FAX:
講習会の情報源 ①産技研HP ②産技研メール配信 ③産技研チラシ ④他機関の情報 ⑤その他(
)
講習会の申込状況の確認はホームページをご覧下さい:http://tri-osaka.jp/c/seminar/seminar.html
講習会の案内など、当研究所の関連情報をお知らせする「産技研ダイレクトメールニュース」の配信を
新規にご希望の方は、下記にメールアドレスをご記入下さい。
※上記参加申込書に記載された内容につきましては、本講習会の参加者の集計及び下記の目的に使用させ
ていただきます。
①お客様からの問い合わせへの対応、当研究所利用に関する手続きの案内など、お客様サポート。
②当研究所および関連団体の催事情報提供などの案内。