要求仕様適合確認表 １ 申請事業者名 申請事業者名 ２ 納入予定機器 製造元 納入予定機器名 （規格・形式） ３ 要求仕様確認表 項 目 要求仕様 納入機器仕様 到達圧力 ５ ×１ ０ － ４ Pa 以 下 メインポンプ ドライ真空系ポンプ 成膜方向 可変 膜厚分布 ±１ ０ ％ 以 下 装置内冷却 冷却水循環装置付き カソードサイズ ２ イ ン チ (φ 50.8mm)以 上 基板サイズ φ 70mm 以 上 スパッタ電源 高周波電源 真空排気操作 自動 装置サイズ 重量 確認書類 適否 W1,100mm,D1,100mm,H10 00mm 以 内 に 本 体（ 冷 却 循 環 装 置 含 む 。)が 設 置 で き ること。 150kg 以 内（ 本 体 ＋ 冷 却 装 置） ※「 確 認 書 類 」欄 に は 、納 入 予 定 機 器 の 仕 様 が 記 載 さ れ た カ タ ロ グ 、仕 様 書 等 を 記 載 し 、 確認書類のコピーの該当箇所をマーカーで表示してください。 -1-
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