超音波ミスト発生器 超音波霧化の原理 d 微粒子 キャピラリー波 λ d∝T (T:液体の表面張力) d∝1/ρ (ρ:液体の密度) d∝1/f (f:周波数) 液 超音波振動子 周波数により粒径選定可能 d=0.34(8πT/ρf2)1/3
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