賣空排気設備の第1段フォアボンプ系と制御機器の改造
仕様書
平成28年8月
国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
核融合エネルギー研究開発部門那珂核融合研究所
トカマクシステム技術開発部 JT-60本体開発グループ
目次
第 1章一般仕様_ー_
1.1 件名.............................................
1.2 目的.............
1.3 契約範囲_._
1.4 作業場所.................
1.5 作業期間................
........■..............■.●.●.■.●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●■●●●●●●●●●●■●●●●●●●●●●●●●■●●●●●●●●■●■●●●●●●●●●
1.6 納期.
1.7 納入場所及び納入条件
1.8 検収条件__.
1.9 保証..................
1.10 かし担保責任,.ー,,
...........................2
.....■....■.....■●.●■........●●.●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●■●●●●■●■●■●●●●●●●●●●●●■●●●●●●●
1.11 提出書類
......2
1.12 支給品_
1.13 貸与品
2
.3
.........■.■.●.●●.●●●●●●●●●●.●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●■●●●●●●●●■●●●●●●●●●●●●●闇●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●
4
1.14 適用法規・規格基準
1.15 産業財産権の取扱い
.............■..●.●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●■●●●■尋●●●●●■●●●●
5
1.17 安全管理等
....5
5
1.16 秘密の保持................................
.........4
1.18 グリーン購入法の推進
1.19 t窃議,._,
1.20 成果の帰属__..
第2章技術仕様書
7
2.1 第 1段フォアポンプー
2.1.1 製作仕様.
7
2.1.2 組立仕様.
.................8
2.2 マニホールド真空計
2.2.1 製作仕様.............
........9
......9
2.2.2 組立仕様,.
2.3 質量分析計排気ユニット
2.3.1 製作仕様.......................
...................10
10
2.3.2 組立仕様_..
2.4 真空容器ぺント系配管の改修_____
2.4.1 C 系統第 1 仕坊弁(GVOICE)蔓新.............................
2.4.2 D 系統と Ctyostat 系マニホールドへの接続配管..ー,,,.,,ーーーー.
2.5 本体室制御系_.
2.5.1 製作仕様一ー
....11
.._ 11
12
........13
13
2.52 組立仕様
●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●■●●●●●●●●●●●●●■●●●●■●■●●●●●■●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●......
15
2.6 本体機器制御室制御系..........................................................................................................15
2.6.1 製作仕様
●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●■●●■●■●■●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●.●●●●.●....■...
16
2.6.2 組立仕様......................................................................................................................16
2.7 中央制御室伶1 御系................................................................................................................16
2.フ.1 中央術1御室計測盤(CP3)の改造.........................................................................................16
2.フ.2 中央制御室操作盤(CP I ).............................................................................................16
2.8 架台改造
●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●■●■●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●●..●●●●●●●●.、●●●●●■●.●.●..●.■........
17
2.8.1 架台機器の取り外し・保管.............................................................................................17
2.9 試験検査.............................................................................................................................22
添付資料・ 1 (主要調達機器仕様一覧表)..............................................................................................23
1.百空言1'..................................................................................................................................23
2.真空ボンプ............................................................................................................................24
添付資料・2 (支給品一覧表)..............................................................................................................25
1.アングルバルプ.....................................................................................................................25
2.吉空言十..................................................................................................................................26
3.真空ポンプ............................................................................................................................27
添付資料・3 (PLC 構成表)................................................................................................................28
添付資料・4 (添付資料目次)...............................................................................................................32
第1章一般仕様
1.1 件名
真空排気設備の第1段フォアポンプ系と制御機器の改造
1.2 目的
本件では、 JT、60SA で再利用する既存の真空排気設備の改造の一環として、真空排気設備のメインボンプで
あるターボ分子ポンプ運転に向けた第1段フォアボンプと制御機器等の改造を行うものである。
1.3 契約囲
山第1段フォアポンプの製作組立
②マニホールド真空計の改造
③質量分析計排気ユニットの設置
杵)真空容器べント系配管の改修
⑤本体室制御系の改修
(6)機器制御室制御系の改修
⑦中央制御室制御系の改修
⑧架台の改造
⑨試験検査
1.4 作業場所
量子科学技術研究開発機構(以下「量研機構」という。)
那珂核融合研究所
住)JT・60実験棟本体室(第 1種管理区域)
(2)JT・60実験棟組立室(第 1種管理区域)
(3)JT・60実験棟本体機器制御室(第2種管理区域)
(4) JT・60地下ダクト 1 (第2種管理区域)
(5)JT・60制御棟中央制御室
1.5 作業期間
本作業における作業期間は、契約締結日から平成30年3月28日までとする。なお、作業工程の詳細につい
ては、別途協議の上、決定するものとする。
1.6 紬期
平成30年3月30日
1.7 紬入場所及び納入条件
山納入場所
茨城県那珂市向山801-1
量研機構那珂核融合研究所
②細入条件
据付調整後渡し
JT・60実験棟内指定場所
1.8 検収件
第 1章 1.7項に示す納入場所に据付後、員数検査、外観検査及び第2章に定める試験検査及び第 1章 1.11
に示す提出書類の合格をもって検収とする。
1.9 保証
第2章に定める仕様及び機能要求を満足レ、運転・制御ができることを保証すること。
1.10 かし担保任
検収後 1年以内に設計、製作上のかレが発見された場合、無償にて速やかに改修、補修又は交換を行うもの
とする。
1.11 提出書類
以下に示す書類を遅滞なく提出すること。
表 1.11-1提出書類一覧
工程表
再委託承諾願
確認図
作業従事者名簿
部数
内容及び提出期限
図書名
形式
契約後速やかに。
文書3部
紙
作業予定に変壷が生じた場合は、変更後速やかに。
電子ファイル
PDF
1式
紙
文書3部
紙
電子ファイル
PDF
作業開始前。
文書 1部
紙
作業者に変更があった場合は、速やかに。
電子ファイル
PDF
文書2部
紙
電子ファイル
PDF
文書2部
紙
電子ファイル
PDF
文書3部
紙
電子ファイル
PDF
文書3部
紙
電子ファイル
PDF
作業開始2週間前。
確認
要
要
様式は、量研機構の様式とする。
製作開始前。
作業要領書
作業開始前。
試験検査要領書
検査関始前。
試験検査成績書
納入時。
取扱説明書
納入時。
納入時。
要
不要
要
要
不要
不要
不要
3部
図面類はA3版に縮小U製本Uたもの。
完成図
PDF
納入時。
図面類を上記製本とは別にCD・ROM (又はDVD)
電子ファイル
その他量研機構が
必要とする書類
不要
2DCAD
を用いて納入すること。
議事録
3DCAD
打合せ後速やかに。
文書2部
紙
電子ファイル
PDF
必要部数
その都度(詳細は別途協議)。
2
要
1脆駈
提出書類補足)
提出ファイル形式
提出する完成図の電子ファイルの資料は、以下の形式を用いること。
・3DCADで作成レた場合: Dassaultsystem社製CATIAV5、又は変換ファイル (STP、喰eS 等)
・2DCADで作成レた場合:オートデスク社のAutocAD用DWG形式2014版
完成図の種類
提出する完成図の種類は、以下のとおりとする
・組立図
・製作品部品図(量研機構で将来部品の改修、調達できるンペルの図面
・購入品部品図
・系統図
・配線系統図
・配管ルート図(サポート配置図、サボート詳細図を含む。)
・配管りスト
・機器りスト
・計器りスト
・展関接続図(ECWD)
・構成機器一覧表(メーカー、型式、仕様等
・単線結線図
・ケーブルリスト
・特殊工具りスト
・附属品りスト、予備品りスト
(提出場所)
量研機構核融合エネルギー研究開発部門那珂核融合研究所
トカマクシステム技術開発部 dT-60本体開発グループ
(確認方法)
・再委託承諾願
r再委託承諾願」は、量研機構の確認後、書面にて回答するものとする。
・その他
量研機構が確認のために提出された図書を受領レたときは、受領印を押印して返却する。また、当該期限まで
に審査を完了し、確認レない場合には修正を指示し、修正等を指示レ恋いときは、確認レたものとする。
1.12 支給品
山支給品
①アングルバルプ等の詳細仕様は添付資料・2に示す。
②支給時期は、量研機構と協議の上、決定する。
③支給場所は、量研機構の構内とする。
②電気
本作業を行うに当たの必要とする場合に限り量研機構の指定する場所から無償で支給する。
③水
本作業を行うに当たり必要とする場合に限り量研機構の指定する場所から無償で支給する。
1.13 貸与品
山管理区域用防護機材
第 1種管理区域内の作業に2週間以上連続して従事する作業従事者に対しては、第 1種管理区域用作業衣、
線量計を無償貸与する。また、2週聞未満の作業従事者に対しては、第 1種管理区域用作業衣、安全靴、ヘルメ
ツト、安全帯、線量計、排煙用排気装置及び仮設ダクト{蛇腹管等}類を無償貸与する。
②クレーン
本作業を実施するに当たって必要となる、建家に設置されている天井クレーンを貸与する。ただし、クレーン
運転士、玉掛け技能者及び受電に必要となる設備、吊り治具、屋外保管用地でのクレーン等は受注者が準備する
ものとする。各建屋の天井クレーン等の仕様は以下のとおの。
① JT・60実験棟本体室・組立室
250/70 ton、 30/5 ton
②地下ダクト1
2.8 ton
③設計図書、完成図
本作業を行うに当たの必要となるJT・60に関する図書、図面等を貸与する。
(4)事務所等
現地作業において事務所が必要となる場合は仮設管理第3棟、又は量研機構内の土地を貸与する。ただし、
必要な電気及び水は量研機構の指定する場所から無償で支給するが、通信機器等は受注者が準備するものとす
る。
⑤資材置き場
本作業に必要な資材置き場は、可能な範囲において作業場所付近にて無償貸与する。
⑥放射化物・汚染物仞断用工具
配管等の放射化物・汚染物の切断を実施するに当たって必要となる量研機構で保管されている電動工具を貸
与する。ただレ、消耗品については受注者が準備するものとする。
1.14 用法規・規格基準
設計・製作・試験検査・据付調整等に当たっては、以下の法令、規格、基準等を適用又は準用して行うこと。
山労働基準法
②労働安全衛生法
(3)放射線障害防止法
(4)日本工業規格(JIS)
⑤量研機構内規程、規格
(6)那珂核融合研究所放射線安全取扱手引等放射線に関する諸規程
⑦その他受注業務に関し、適用又は準用すべき全ての法令・規格・基準など
1.15 産業財産権の取扱い
本製作組立により発生する産業財産権の取扱いは、別紙として添付に定める「産業財産権の取扱いについて」
によるものとする。
1.16 秘密の保持
本契約において作成され、又は量研機構が貸与した資料は、契約目的以外に使用してはならない。ただし、事
前に量研機構の承認を得た揚合には、この限のではない。
1.17 安全管理等
(1)一般安全管理
・作業計画に際し綿密かつ無理のない工程を組み、材料、労働安全対策等の準備を行い、作業の安全確保を最優
先としつユ迅速な進捗を図るものとするま忌作業遂行上既設物の保護及び第三者への損害防止にも貿意レ、
必要な措置を講ずるとともに、火災その他の事故防止に努めるものとする。
・作業現場の安全衛生管理は、法令に従い受注者の責任において自主的に行うこと。
・受注者は、作業着手に先立ち量研機構と安全について十分に打合せを行った後着手すること。
・受注者は、作業現場の見やすい位置に、作業任者名及び連絡先等を表示すること。
・作業中は、常に整理整頓を山掛ける等、安全及び衛生面にも十分に注意すること。
②放射線管理
・受注者は管理区域内で作業を行う場合1ま量研機構が定める放射線管理仕様書を遵守しなけれぱならない。
・受注者は、本作業期間中、心身ともに健康で身体に外傷のない作業員を従事させること。
・本作業を開始する前に、受注者側作業員は、量研機構が行う保安教育を受けること。ただし、放射線に関する
知識は、受注者側で教育すること。
・放射線管理及び異常時の対策は、量研機構の指示に従うこと。
(3)その他
・受注者は、従事者に対して法令上の責任及び風紀の維持に関する責任を負うこと。
・作業の監督者ば量研機構の担当者と常に密接に連絡を取りながら作業を進ぬ量研機構が行う作業工程調整
と協調すること。
・作業員は、放射線管理区域内作業である経験を有するか、又は事前に十分な教育を受けた者とすること。
・受注者ば量研機構が量子科学技術に関する研究・開発を行う機関であるたぬ高い技術力及び高い信頼性を
社会的に求められていることを認識圦量研機構の規程等を遵守し安全性に配慮し業務を遂行U得る能力を有す
る者を従事させること。
1.18 グリーン購入法の推進
山本契約において、グリーン購入法(国等による環境物品等の調達の推進等に関する法律)に適用する環境物
品(事務用品、 OA機器等)が発生する場合は、これを採用するものとする。
②本仕様に定める提出図書(納入印刷物)については、グリーン購入法の基本方針に定める「紙類」の基準を
満たレたものであること。
1.19 協議
U)本仕様書に記載されている事項及び本仕様書に記載されてい恋い事項について疑義が生じた場合は、量研機
構と協議の上、その決定に従うものとする。
②受注者は、量研機構の担当者と緊密恋連絡をとりつつ製作及び作業を行うこと。製作及び作業の途中で経過
報告を求めた場合には報告を行うこと。
(3)本作業中に量研機構の財産に損害を与えた場合は、その補償について量研機構と協議の上、その決定に従う
こと。
1.20 成果の帰属
本検討により得られた成果を利用、又は処分する権利は研機構に帰属する。提出された書類の所有権は全て
量研機構に帰属するものとする。ただレ、受注者は書面による量研機構の承認を得て、この成果を利用できるも
のとする。
第2章技術仕様書
本件では、第 1 段フォアポンプの製作組立、マニホールド真空計の改造、質量分析計排気ユニットの設置、
真空容器ぺント系配管の改修、本体室制御系の改修、本体機器制御室制御系の改修、中央制御室制御系の改修、
架台の改造及びこれらに係る試験検査を行う。
2.1 第 1段フォアポンプ
第 1 段フォアポンプは、主排気ユニットの背圧側に位置しアングルバルブ、磁気浮上型ターボ分子ボンプ
(TMP)、真空計等の機器から構成される。本仕様では、第 1 段フォアポンプユニットを製作し、据付を行う
ものである。詳細については、添付資料参照。
2.1.1 製作仕様
ターボ分子ポンプをJT・60SAの強磁場から保護するための磁気シールド、架台及び配管等を製作する。
山磁気シールド
・側面は、ケーブル、真空配管及び冷却水配管を引き出すための開口部を設け、開口部形状に合わせて磁気シ
ールドを設けるものとする。
・TMPを設置する空間の最大磁場強度は30即Tとする。
・磁場強度1ま口ーター軸方向についてはTMP吸気口表面中脚において 10mT以下とし、ローター軸垂直方
向については、 TMP本体表面で3mT以下とする。
・構造は、 TMP等のシールド内機器の点検を行えるように容易に分解組立が行えるものとする。
・磁気シールドの表面は、塗装すること。塗装色は、量研機構と協議の上、決定する。
②
力0'.、
^Cコ
・架台は、磁気シールド、真空配管等を固定する機能を有し、材質は、ステンレス鋼(SUS304)とする。
・架台の固定方法は、原則として真空排気設備架台とボルトで固定できる構造とする。
・架台の製作に当たっては、磁気シールド重量、電磁力及び振動を考慮すること。
(3)真空配管
①TMP上流側アングルバルプとTMP間配管
・配管には、真空計等の取り付けポートを2箇所設けること。
・真空配管の材質は、ステンレス鋼(SUS304)とする。
・真空配管のフランジ規格を下記に記す。
・アングルバルプ側:1CF152相当(銅ガスケット)
・ TMP側
VF150 (バイトン 0 りング)
・真空計ボート
ICF70相当(銅ガスケット)
・アングルバルプの吸気口側フランジには、配管内を真空排気できる閉止フランジ(支給品)を取り付ける
0
こと
②TMP排気口と既設配管間の配管
・TMP排気口と既設配管取合いフランジ問の配管を製作すること。
・配管には、アングルバルプ(支給品)、ガス導入用バルプ、ベローズ等を設けること。
・真空配管の枋質は、ステンレス鋼(SUS304)とする。
・既設配管のフランジ規格を下記に示す。
・既設配管
ICF253 相当(銅ガスケット)
仟)TMP本体取の付けボルトの指定
・TMP 及び上部配管の固定ボルトは、オーステプイト系ステンレスボルト A2-70 (JIS BI054 引張強さ
70ON/m伽2以上)又はそれ以上の強度を有するものとする。
⑤員数:4式
2.1.2 組立仕様
2.1.1項で製作レた磁気シールド、架台及びTMR 真空計等の必要な機器を真空排気設備架台C系架台内(4F)
及びD系統架台内(2F)に組み込み、真空排気設備のシステムが成立するようにする。
1)第 1段フォボンプの組立
・2.1.1 項で製作した架台、磁気シールド、真空配管及び TMP、コンベクトロンゲージ等の機器を真空排気
設備架台のC系架台(4F)及びD系統架台(2F)の所定の位置に組み込むこと。
・TMP排気口と既設第2段フォアポンプからの配管を真空配管で接続すること。なお、配管には、アングル
バルプ、ペント用手動バルプ、ベローズ等を組み込むこと。
・各機器間を接続する配管は受注者が用意レ、現地合わせにて形状等を調整し組み立てること。接続に必要な
パッキン類も受注者が用意すること。
・ベント用手動バルプ(機器番号;V61・62CM/DM)の空気吸入口には、塵挨侵入防止用のフィルターを
取り付けること。
・下記に第1段フォアポンプユニットの主な構成機器を示す。
表2.12'主な構成機器一覧表
番号
名
称
内訳
参照資料
2
3 4
戸D
支給品
支給品一覧表
百空酉己管
製作
ターボ分子ポンプ
調達
使用機器一覧表
コンベクトロン真空計
調達
使用機器一覧表
圧空作動式アン.グルバルブ
支給品
支給品一覧表
VENTパルプ
i周達
6
圧空作動式アングルバルプ
・架台への同定は、第 1 段フォアボンプユニットの重量及び電磁量を考量した上で、真空排気設備架台床と
ボルト締結で圖定する。
②圧空
・アングルパルブの駆動用圧空配管は、バルプ接続口に専用継手(prV8-6mm変換)を取の付ける。
③ケープル
・機器の運転に必要な電源及び制微等のケープルは磁気シールド盤及び中継端子箱の端子台等から各機器間
までの敷設・接続を行うこと。
・ケープル及び敷設・接続に必要なバーツ美動す受注者が用意すること。その際、専用ケーブル以外のケーブル
は、原則難燃性ケーブルく1EEE383)を用いること。
22 マニホールド真空計
マニホールド真空計は、電離真空計、隔膜真空計(バラトロン真空計)と切替えバルプからなり、 JT・60SA
マニホールド内の圧力を測定するものであり、 C系統とD系統のそれぞれにある(図2.2-1)。本ユニットは、
真空計(電離真空計PE41CP・DPは除く。)及び配管は、既設品を流用する。ただし、真空計測定子とコント
ローラ閻のケーブルを新規で配線する。
傷腰夷空矛
隔腰真空計
IPE31CPI
四E21CP}
征宏UC助
{PE11Dpj
フ
'1当" 11、fl
郡圧防止
パルブ
聽令加1
唱喉具モエ言'
IPE41CPI
仇↓
ぞ
T
電離真空計
加圧防仁
パルフ
1
レ
ノー・イ仕坊パルフ
ブ
ト・→仕初パルブ
切
真空計ユニット
VV系マニホールト
C系、 D系)
図2.2・1 真空計ユニットtvV系)の構成
2.2.1 製作仕様
・電離真空計をJT・60SAの強磁場から保護するための磁気シールドを製作する。磁気シールドには、ケーブノ
を引き出すため開口部を設けるものとする。
・電離真空計を設置する空間の最大磁場強度は20mTと叺磁気シールド内側の磁場強度は5mT以下とする。
・構造は、電離真空計の点検を行えるように容易に分解組立が行えるものとする。
・磁気シールドの表面は、塗装すること。塗装色は、量研機構と協議の上、決定する。
2.2.2 組立仕様
(1)真空計
①電離真空計
・新規調達レた電離真空計 G則定範囲: 1×10-7Pa)及び製作した磁気シールドは、既設電離真空計測定
子(PE41CP,DP)を取り外レたポート(フランジ規格; UFC70 パッキン;銅ガスケット)に取の付ける
こと。
・取の外Uた電離真空計測定子は、 JT・60 実験棟組立室の計測架台内、又は量研機構で指定する場所に運
搬すること。
・既設真空計ユニット1ま配管内部がトリチウムで汚染されているおそれがあり、その他の機器は放射化し
ている。
②隔腹真空計(バラトロン真空計)
・既設隔膜真空計コントローラ(PE11,21,31CP/DP 計6台)を磁気シールド盤内の制微ラックに移設す
ること。
・隔膜真空計と移設レたコントローラ間にケープルを新規調達レ、敷設接続すること。
・コントローラとプログラマブルロジックコントローラ(PLC)を配線で接続すること。
③差圧計
・既設 C系統マニホールドの手動式バ儿ブ(既設品:フランジ UFC70 相当)に圧空駆動式加圧防止パル
ブを介して差圧計を取の付けること。
・差圧計は、架台を製作レ取り付ける。
・差圧計から磁気シールド盤内のPLC取合い端子台まで配線レ接続する。接続する端子台は、別途量研機
構で指示する。
②圧空
・各真空バルブには、専用継手(6mm変換)を取り付ける。
(3)配線
・ケーブル1ま各真空計、差圧計と磁気シールド盤内の各コントローラ及び端子台聞コントローラからPLC
までの敷設・接続を行うこと。
・ケープル及び敷設・接続に必要なパーツ類は受注者が用意すること。その際、専用ケーブル以外のケーブル
は、原則として難燃性ケーブル(促EE383)を用いること。
2.3 質分析計排気ユニット
質量分析計排気ユニットは、 JT・60SA真空容器の残留ガスを幅広い圧力環境下で測定するユニットであり、
質量分析計、真空ポンプ(ターボ分子ポンプ、ロータリーボンプ)、圧力に応じて使い分ける切替バルプ等から
なる(図 2.3・D 。
質量分析計排気ユニット
翊喬パルフ
オリフィス1
▼
残留ガス質貴分折計
ターボ分テボンプ
.
電雛真空翫
'
仁窮バルフ
舎
山
コンペクトロン真空矛
④
0
'
ロータリーボンフ
万リフノス2
図2.3-1 質分析計排気ユニットの構成図
2.3.1 製作仕様
・なし
2.3ユ組立仕様
住)圧空
・各真空バルブには、専用継手(6mm変換)を取の付ける。
②配線
・各機器の動力及び制御ケーブルは、磁気シールド盤の電源及びPLC取合い端子台等から各機器まで敷設接
続を行うこと。
・支給品の電離真空計及びTMP用ケープル以外のケープル及び敷設・接続に必要なバーツ類は、受注者が用
意すること。
・専用ケーブル以外のケーブルは、原則として難燃性ケープル(1EEE383)を用いること。
10
(3)背圧配管
・ロータリーポンプの背圧配管は真空ポンプ系配管に接続し、本体室に放出はレ恋い構造とすること。
2.4 真空容器ぺント系配管の改修
VV系真空排気設備(C系、 D系)とCryostat系真空排気設備のVENT系配管の組み立てを行う。 VENT配
管は 3,ooom3/h の排風機(空調:真空容器べント系)を用いてJT・60SA真空容器及び Cryostat 内を換気す
るための配管である。 C系統の配管は既設配管を用い、この C系統の既設配管(40OA)から新規に D 系及び
Cryostat 系配管を分岐し、さらに D 系統配管(30OA)、 cryostat 系配管(30OA)に分岐し組み立てる。た
だレ、 D系統配管はマニホールドまでは接続せずに途中で閉止する。 C系統マニホールド部のVENT系配管の
系統図及びイメージを図2.4-1に示す。詳細については、添付資料参照。
既設配管(40OA)
GVOICE GV02C三
排風機(真空容器べント系)
新設配管(30QA)
VENT系酉3管の系統図
ー,,'.ーー
VV系
GVOICE更新伴う酉拒更新
VV系
CNostat系
仁様外
閉止板
GⅥ)1AE
新設酉譜(30OA)
仕様囲
GⅥ)2AE
図2.4.1 VENT系配管の系統図と配管イメージ
2.4.1C系統第 1仕蜘弁(GVOICE)更新
既設第 1仕切弁(機器番号; GVOICE)のシートに真空リークがあるためバルプを更新する。
製作仕様
・第1仕切弁と第2仕切弁間の真空配管を製作する。
・配管には、真空計取付ボートを 1箇所設け、閉止板を取の村ける。
・真空配管の材質は、ステンレス鋼(SUS304)とする。
・真空配管のフランジ規格を下記に記す。
・第 1仕功弁側:1CF306 相当(銅ガスケット)
・第2仕切弁側: VG300 (バイトン 0 りング)
・真空計ボート:1CF70相当(銅ガスケット)
②組立仕様
①更新部の取り外し
・既設第 1仕切弁及び第2仕功弁との接続配管(UFC306-250FH VG300違径短管)を取の外すこと。
なお接続フランジ及び第2仕切弁は再利用するためシート面を傷つけないように注意レて取り外すこと。
・取り外し品の第 1 仕翊弁及び接続配管は開口部を金属板等で封止レ、組立室の計測架台内に運搬するこ
と。
②組立
・新規に調達する圧空駆動式第1仕切弁(フランジ規格:1CF306相当品)を取り付けること。
・第 1仕翊弁は、圧空駆動式、機械式りミットスイッチ付(開閉信号)及び電磁弁なレとする。
・既設バルブと更新するパルプの面間長さが違うため製作レた接続配管を挿入し、排気ができるようにす
る。
③圧空
・ゲートバルプには、専用継手(6mm変換)を取の付ける。
④配線
・第 1仕切弁の開閉用りミットスイッチ配線は、磁気シールド盤内のPLC取合い端子台まで敷設接続をす
る。接続する端子については、別途量研機構で指示する。
・ケーブル及び敷設接続に必要なパーツ類は受注者が用意すること。ケープルば原則として難燃ケーブル
(1EEE383)を用いること。
2.42 D系統とCryostat系マニホールドへの接続配管
山既設配管改造
・既設配管(40OA)は、 VV系C系統マニホールドに接続(30OA)されているが、途中で配管を分岐レ、 D
系統及びCryostat系へ将来接続可能なように改造する。
・D系統及びCryostat系配管ばゲートバルブ2台及びエキスパンジヨンジヨイントを将来挿入できる空閻
を保持し、閉止フランジを取り付ける。フランジは、 JIS規格(30OA)とする。
・配管とフランジ材質は、炭素鋼とする。
・配管の表面は、塗装すること。塗装色は、別途量研機構と協議の上、決定する。
・必要に応じてサポートを設けること。
・配管を分岐する際に加工した既設配管は、内面を清掃した後開口部を金属板等で封止すること。また、封止
した配管は、組立室内の計測架台内に運搬すること。
②作業の注意点
・既設配管を加工する場合1ま放射化物であの、かつ配管内表面がトリチウム汚染の可能性があることを認識
し、放射線防護の対策を講じてから行うこと。熱的加工を行う場合は、作業者の防護と局所排気等にて負圧管
理の下、行う。詳細は、量研機構と打合せにて決定するものとする。
・既設機器である配管の翊断は放射化物であるたぬ放射化物専用の切断工具を使用し、翊粉管理を徹底する
等を厳守すること。
2.5 本体室制御系
本体室制御系は磁場やノイズ等から電子機器類を保護するため機能を有する磁気シールド盤をVV系真空排
気設備架台IFに製作設置し、真空排気設備の運転に必要な制御機器の設置及び配線を行う。本盤内には、原則
本体室内で使用するVV系真空排気設億 CTyostat系真空排気設備のターボ分子ポンプ電源、真空計電源、PLC
等の機器類を収納する。設置位置は既設真空排気設備架台内IFエリアである。磁場、ノイズ等を考慮してシー
ルド対策を講じるここ電子機器類を一括で覆った場合の磁気シールド盤のイメージを図2.5-1に示す。詳細に
ついては、添付資料参照。
電子機器類収納ラック
"＼
磁気シールド
出入口
磁気シールド盤
VV系架台IF
VV系架台内配置イメージ
磁気シールド盤内設置イメージ
図2.5-1 磁気シールド盤イメージ
2.5.1 製作仕様
(1)磁気シールド盤
磁場やノイズ等から電子機器類を保護するため機能を有する磁気シールド盤を製作する磁気シールド盤は、
シールド盤内の電子機器を一括で、又は制御ラックごとに分割して磁気シールドで覆う構造とする。
①設置空間のサイズ(目安)
・幅2,10o m伽 X 奥行 2,890 mm X高さ 1,350 mm
②材質
・ステンレス鋼(SUS304)等
③磁気シールド
・盤の外周部に磁場及びノイズ等を遮蔽するシールドを取り付ける。磁場強度条件は、遮蔽外側を 20mT
とし、遮蔽内側が5mT以下になるように遮蔽する。
・シールド材表面は、塗装すること。塗装色は、別途量研機構と協議の上、決定する。
④外部との取合い
・ケーブルや配管を通すための開口部を設ける(磁気シールドを考慮のこと。)。
⑤構造
・ラックを設け、各種電源、モニター、 PLC類の取の付け及び必要恋配線を行うこと。
・ラックに収紬する主恋収納品は、表2.5-1のとおゆと弓る。
・PLCの仕様は、添付資料・3 を参照のこと。
・ラック部の表面・裏面はメンテプンス可能な空間を有する構造とする。必要に応じて、盤内面板部に機器
の取り付けも可とする。その場合、盤板に直接取の付けるのではなく板等の台を介して取り付ける。
表2.5・1 専用ラック収納品予定品一覧表
機器名
番号
員数
23456789
磁気浮上型ターボ分子ポンプ(3.3m3/S)電源
100
磁気浮上型ターボ分子ポンプ(0.8m3/S)電源
4台
ターボ分子ボンプ電源
3台
電離真空計
バラトロン真空計(VV系;6台)
磁気浮上型ターボ分子ポンプ回転計(VV系;12台,cryostat系;2台)
16 台
9台
14 台
クライオポンプパネル温度計(冷凍機,シールド)
40
PLC(真空排気設備;3式,一次冷却系;1式)
4式
電源とりレー等の制御回路
1式
⑥電源部
・NFB、 MCB、 TB等の電気機器類は充電部を露出させないようにカバー等で安全対策を講じること。
⑦配線
・ケープルトレー等を設けて配線を行うこと。
⑧接地
・盤等の接地は近傍の基準接地端子盤にて行うこと。
⑨盤内設備
・照明(LED)とコンセント(10OV)を必要に応じて設けること。
・必要に応じて盤内部を監視できるカメラ(web カメラ等)を設けること(シールド盤内の電子機器をー
括で覆った場合には必要。)。
・必要に応じて煙感知器、又は温度センサを設けること(シールド盤内の電子機器を一括で覆った場合には
4斈要。)。
⑩電源
・既設機器(盤番号;1186L2CM,2DM)の端子台から入力電源(AC20OV,10OV)を取の合うこと。
・盤内で必要恋電源は入力電源から分岐、降圧トランス(ACI0OV)及び専用電源(DC24V)等を用いて
行うこと。
⑪換気
・フィルター、換気ファン等を設置レ空気が滞留レない構造とする。
⑫盤内出入口
・シールド盤内の電子機器を一括で覆った場合は、作業者が盤内に出入りする出入口を設けること。
・ラックを個別に覆った場合は、容易に内部機器の点検を行える構造とする。
⑬員数
1式
2.5.2 組立仕様
山磁気シールド盤(本体室内既設架台)
・2.H.1項で製作レた磁気シールド盤を既設真空排気設備架台 IFエリアに組み立てる。
・架台への固定1ま磁気シールド盤の重量及び電磁量を考量レた上で、真空排気設備架台床とボルト締結で同
定する。
・磁気シールド盤内の機器で使用する電源ば既設の本体室中継端子盤(盤番号;LICM,LIDM)及びLP11B
中継端子箱等の量研機構の指定する端子台から供給する。
・真空排気設備の運転に必要な電源及び制御ケーブルを配線すること磁気シール盤内電源系統イメージを図
2.5-2 に示す。
亙]L雙_
既設TB盤
AC20OV
CrYostat系
MBP,DRP電源(ポンプへ直接)
(LICM,LIDM等)
^
,____2、力靈源_,__
L-_____
磁気シールド盤
NFBI
既設ケーブル(既設LP21B)
既設ケーブル(既設LP21B)
UPS
既設ケーブル(既設LP11B)
AC20OV
TB
TB
N 3
C『y05tat系. TMP系(2)
PLC 共通:PLC亀源系
TB
ACI0OV
既設TB盤
VV系:TMP電源(1)
V
, ACI0OV
NFB4
NFB5
共通:制御系
共通:補棲系(照明、コンセント等)
(LICM,LIDM等)
DC24V
6
tL
共通:電磁弁系
^席
図2.5、2 磁気シールド盤内電系統
2.6 本体機器制御室制御系
真空排気設備の制御系は、 PLC を用いた制御であり、中央制御室と本体室等とは光ファイバーケープルで接
続し、タッチパネルでの入力及びモニターを行うものである(図 2.6-1)。このうち、本体機器制御室制御系
には、 C系統、 D系統、 cryostat系の3つの系統のメインPLCが設置され、 FAバスを用いて各V0モジュー
ル等と通信する。他設備等とは、 PLC の入出力信号を接点として通信する。また、本体機器制御室には、本体
室のPLCの無停電電源装置(UPS)を設置し、電源を供給するものである。
本仕様では、真空排気設備を運転するために必要な PLC、構成機器及び他設備との通信信号用回路等、制御
機器の設置及び配線を行うものとする。詳細については、添付資料参照。
仕様外
中央制仭寔
一一
徴器制御室
夏空排気設賃室
本体羣
Ea
LANI
工
.
IPLCメンテナンス専用
(ラダー、 GUI)
笈蝕
LAN2
C系
付帯設伽斬括制御PC(SCADA)
モ
タ
ン一
・=
レタ
トニ
のの
住体
髭
"髭
PLC_FAハ'スづモ;,トワーク
D系
PLC_FNI'ス,"ネ,トワーク
Cry05tヨ係
PLC_FN、'ス光ネ,トワーク
図2.6-1 真空排気設備制御系の概要
2.6.1 製作仕様
・PLC、真空計コントローラ及びUPSの設置ラック
2.6ユ組立仕様
.既設C系統排気系制御盤(盤番号;LPIC)内に、真空排気設備(C系統,D系統,cryostat系統)の制御、運
転操作及び監視するためのPLC、タッチパネル、真空計コントローラ及びUPS等を設置する。また、本体室冷
却水系PLCの更新を行う。
・盤内に設置するC系統P系統,cryostat系及び本体室冷却水系のPLC及び各種モジユールは横河電機妹製を
使用すること。添付資料・3参照。
.各PLCから各盤(盤番号; LPIC,LPID,LP2B,LP3B,LP4,LP5,LIW)の抗子台、又は各機器まで配線するこ
と。なお、配線する端子台については、量研機構が別途指示するものとする。
・他設備等の入出力信号でりレー等が必要な場合は、りンー回路を設けること。
・PLC電源は、停電時でもPLCの性能を維持するためにUPSを設置すること。
2.7 中央制御室制御系
2.フ.1 中央制御室計測盤(CP3)の改造
・CP3盤内には、マニホールド真空計圧力信号出力用のPLCを設置する。詳細については、添付資料参照。
・既設計測系制御盤(CP3)の不要となる機器の撤去を行う。撤去品は、量研機構の指定する場所に運搬する
・CP3内に中央制御室PLCを設置すること。
・PLCから量研機構の指定する端子台まで配線すること。
2.フユ中央制御室操作盤(CPI)
・既設CP1を改造してタッチパネル及び質量分析計操作用PCを設置する。詳細については、添付資料参θ系。
・真空排気設備の制御・監視は中央制値室内の中央制微盤(CPI)において専用のタッチパネルを用いて行うた
め、 VV系真空排気設備用 1台くC系、 D系)、 cryostat系真空排気設備用 1台の2台を設置すること。
・既設の不要となる機器は取の外し、量研機構の指定する場所に運搬する。
2.8架台改造
VV系真空排気設備の架台は、主な機器とレて、1Fに現場制御盤、 2FにD系統のバルブ、ポンプ類、 3Fに
D系統の排気マニホールド、 4FにC系統のバルプ、ポンプ類、5FにC系統の排気マニホールドが配置されて
いる(図 2.8・D 。架台内部及び側面部には、真空ポンプの背圧配管(20OA、 150A)、冷却水配管(25A>、
窒素ガス配管、圧空配管(20A)等が床貫通口から関連する各フロアに配置されている。また、 1F 架台内部か
ら架台側面を介してその場ポロン化処理設備の配管が5Fに通っている。
D系排気マニホー儿ド
真空ボンブ
バ儿ブ類
5F・6F
C系祥気マニホールド
真空ボンプ
バルブ類
2F・3F
画
,'
ー、
一燮、
＼
、
^笂系会登弓・
図2.8.1 既設VV系真空排気設備架台の構造
2.8.1 架台機器の取り外し・保管
・既設真空排気設備の改造を行うたぬ架台内の使用レない既設機器を取の外し、組立室内の計測架台に汚染品
と非汚染品をエリア区分して保管すること。
・保管時は必要に応じ固縛等の安全対策を講じること。
・保管する際にドラム缶に収納レ保管する場合は、撤去品をドラム缶に収納する前にスミヤをとること。
山主排気ユニツト:8ユニツト
主排気ユニット等は、ゲートバルプ、ターボ分子ポンプ、アングルバルブ、真空配管、架台等から構成され
ている。取の外レ範囲は、主排気ユニット全体とし、真空に接している配管や機器の内部はトリチウムによる
表面汚染があの、それ以外の部分は放射化物である。主排気ユニットの外観を図2.8-2に示す。ゲートバルブ
のマニホールド側フランジを取り外す際はフランジを再使用するためシール面を傷つけないように注意する
こと。
②第 1段フォアボンプユニット:4ユニット
本ユニットは、ターボ分子ポンプ、アングルバルブ、真空配管、架台等から構成されている。取り外レ範囲
は、第 1 段フォアユニット全体とレ、真空に接している配管や機器の内部はトリチウムによる表面汚染があ
り、それ以外の部分は放射化物である。第 1段フォアユニットの外観を図2.8-2に示す。
ゲートバルブ
バルブ
ターボ分子ポンプ
主排気ユニットの外観
ターボ分子ポンブ
第1段フオアユニットの外観
図2,8・2 主排気ユニット・第1段フォアユニットの外観
(3)その場ボロン排気ユニット:1ユニット
その場ボロン排気ユニットは、ターボ分子ポンプ、アングルバルブ、真空配管架台等から構成されている。
取り外し範囲はユニット全体と畭真空に接している配管や機器の内部は卜1ノチウムによる表面汚染があり
それ以外の部分は放射化物である。また、ゲートバルブのマニホールド側フランジを取り外す際は、フランジ
を再使用するためシール面を傷つけないように注意すること。
(4)圧空配管:一式
架台内のゲートバルブ・バルブ駆動用圧空配管を取り外すこと。取の外レ範囲は本体室内貫通口近傍の接
続フランジから架台内部の全ての圧空配管とする取り外レ品は全て放射化物である切離レた貫通口側の既
設配管は、再接続する薮で閉止板を取の付けること。
(5)冷却水配管:一式
架台内の行き戻り冷却水配管(25A)等を取り外すこと。取り外U範囲は、架台内部の全ての冷却水配管と
する。取り外レ品は全て放射化物である。
(6)真空配管:一式
架台内の真空配管を取り外すこと。取り外し範囲は、VV系真空排気設備の組み立てで不要となる架台内全
ての配管とする。翊離レたフランジ部には閉止板を取り村け、又はビニール等で封止すること。また、再利用
する真空配管のフランジを取り外す際ばシール面に傷がつかないように注意すること。真空に接している配
管や機器の内部はトリチウムによる表面汚染があり、それ以外の部分は放射化物である。
⑦窒素ガス配管:一式
架台内の窒素ガス配管を取り外すこと。取り外レ範囲は、真空排気設備で不要となる配管全てとし、本体室
貫通部近傍の立ち上がり配管フランジ部から架台内配管とする初離レたフランジ部は閉止板を取り付ける。
取り外レ品は全て放射化物である。
⑧乾燥空気導入系配管:一式
架台内の乾燥空気導入系配管を取の外すこと。取り外レ範囲ば本体室貫通部近傍の立ち上がり配管フラン
ジ部から架台内とする。切離レたフランジ部は閉止板を取り付ける。取り外レ品は全て放射化物である。
四)ケーブル解線:一式
・既設ケープルは、中継端子箱及び現場制御盤等の端子台 2 次側、各コントローラ等から架台内各機器談で
配線されているケーブルを取り外すこと。取り外す主なケーブルとレて、ターボ分子ポンプ専用ケーブル(24
本)、ゲートバルプ用バルプコントローラケープル(18本)及び各種信号線等がある(表2.8-1参照)
0
・一部、再使用するケープルで端子台を経由レないもの(地下ダクトからの制御線 2 本)、その場ボロン化
処理設備制御盤のポンプ系ケープル(10本)は、現状を維持すること。
・原則として各盤内端子台 1 次側ケープルは、再使用するので現状を維持すること。ただし、真空排気本体
室現場盤(盤番号;LP11B)及びターボ分子ポンプ電源盤(盤番号;LP2D については、
力0'.、
ニキて^
IF付近の架
台内現場電源盤の外側にLP11B中継端子箱を新設圦その中に移設するここ移設対象ケーブルは表2.8-2
及び表 2.8-3 参照。
・移設対象ケープルには、別途量研機構が指示するケープル番号を各ケープルに取り付けること。
・取り外し後の保管ケープルは端末処理とケープル番号を表示し量研機構が指定する場所に保管すること。
・ケーブルや機器の取の外し時に干渉するケーブルトレー(再使用品)は、再現することを条件に一時的に取
り外すことも可能である。架台内の端子台位置と一部ケープルトレー位置を図2.8-3、図2.8-4に示す。取り
外レ品は全て放射化物である。
架台IF 3F内ケーブル
梨台内ケーブルは纎去
3F
2F
饗台2階床
IF
(W1牲氏
梨台1階床
蟻子台二次側から架台内各獲器へのケーフノⅨす搬去
レ、必要に応じて新詮亨る.
図2.8.3 架台IF 3Fのケープル分布
栗台4F
5F内ケーブル
5F
4F
梨台4階床
3F
2F
CM霊内
梨台内ケーフルは無三
崎子台二次側から架台内谷複器へのケーフJレ{衣搬去
し、必要に応じて新詮する.
図2.8.4 架台4F 5Fのケープル分布
表2.8-1 ケープル別対処一
ケープル名称
NO
LIDM(端子台)2 次側・各機器
32箇所取り外し
L2DM(端子台)1次側・各機器
1式現状維持
L2DM儲子台}2次側・各機器
98箇所取り外し
LICM(抗子台)1次側・各機器
1式現状維持
LICM(端子台)2次側・各機器
32箇所取り外し
L2CM(端子台)1次側・各機器
1式現状維持
L2CM(端子台)2 次側・各機器
98箇所取り外し
3
4
5
考
1式現状維持
LIDM(端子台)1次側
2
備
端子数or本数対応
LP11B(端子台)1次側
1式
架台内取り外し
架台内取り外し
架台内取り外し
取り外し後保存
取り外レ
移設対象は新設中継端子箱へ
(一部移設)
6
7
8
LP11B(端子台)2 次側・各機器
1式取り外し
地下ダ外制御盤 架台内
2本現状維持
LP21・分電盤
2本移設
9
ボロツ制御盤のホ゜ツプケ・ブル
架台内取り外し
(対象ケープルは別表参照)
架台内取り外し
新設中継端子箱へ移設
TMPケーフ'ルのみ保管
10本現状維持
玲Ⅱ姶玲
TMP振動用光ケ・ブル
2本再使用
C系統残留力'ス分析系(端子台中継)
2本取り外し
実験盤 機器間取り外し
東側架台θ系ヨ創端子台中継)
3本取り外し
実験盤 機器間取り外し
本体点検用ユツセツト盤(端子台中継)
2本取の外し
実験盤 機器間取り外し
H
ヒーター用ユツセツ襍色縁トラツス(端子台中継)
1本取り外し
実験盤 機器間取り外し
その他、不要なケープル類
1式取り外し
実験盤等 機器間取り外し
表 2.8.21'P21から新規中
NO
ケープル名称
TB番号
端子盤への移設対象ケープル
線種
芯数予備芯数
サイズ
(mm2)
2
1186J2623AI
TBO
M・CV
4
0
22.0
1186J2872AI
TBO
M、CV
4
0
22.0
20
表2.8,3 LP11Bから新規中
ケープル名称
NO
端子盤への移設対象ケーブル
線種
TB番号
芯数予備芯数
サイズ
(mm2)
TBI
1186J2467A2
M、CVV・S
20
2.00
M、CVV、S
20
2.00
M、CVV、S
20
2.00
M、CVV、S
20
1
2.00
TB2
TB2
2
1186J2470A
TB3
TB3
3
1186J2473A
TB4
TB4
4
1186J2476A
TB5
5
TB6
M・CVV・S
20
2
2.00
1186J2462A
TB7
M・CVV・S
20
5
2.00
M、CVV、S
20
2.00
M、CVV、S
20
2.00
M・CVV・S
20
2.00
M、CVV、S
20
2.00
20
2
2.00
6
1186J2463A2
TB11
7
1186J2497A2
TB12
TB12
8
1186J250OA
TB13
TB13
9
1186J2503A
TB14
TB14
10
1186J2506A
TB15
11
1186J2493A2
TB16
M・CVV・S
12
1186J1250M2
TB52
60OV M・CV
2
0
38.0
13
1186J689M2
60OV M・CV
2
0
5.5
A43X
B43X
住0)制御盤類:一式
以下に記載する IF架台内の制御盤類(関連ケープル含む。)を取り外すこと。取の外し品は全て放射化物で
ある。
①真空排気設備本体室現場制御盤(盤番号;Ⅱ86LP11B):1面
②ゲートバルブコントロールユニット:1面
③ターボ分子ポンプ電源盤(盤番号;LP2D :1面
④ユーティリティボックス:12面
⑤本体室コンセント照明盤:1面
⑥本体室東側コンセント盤:1面
2.9試査
現地組立後、以下に示す試験検査項目を実施する。
NO
対象
項目
1 外観検査全て
時・期
組立完了後
試験方法
目視
判定基準
有害な傷、変形、汚れな
どが恋いこと。
仕様書、確認図に記載さ
2
員数検査新設部全て
組立完了後
目視
れた員数と相違ないこ
と。
3
寸法検査
確認図に記載され
た主要寸法
組立完了後
ノギス、スケール等による
図面の寸法に相違ない
目視
こと。
気体を用いて最高使用圧力
5
気密試験新設配管
組立完了後
でスヌープ又は目視にて漏
気体の漏れがないこと。
れがないことを確認
絶縁抵抗
新規敷設ケーブル
測定
と移設ケープル
導通確認
真空漏洩
試験
機器動作
試験
組立てに関連する
全てのケーブル
組立完了後
組立完了後
真空配管接続部
組立完了後
新設全ての機器
組立完了後
動カケープルとアース問の
適翊な絶縁が確保され
絶縁抵抗を測定
ていること。
機器と端子台、端子台間の
結線確認図のとおりで
導通を確認
あること。
真空法により漏えいを確認
性能に影響のある漏れ
がないこと。
全ての機器を操作し、正常
正常に動作、信号の通信
に動作することを確認
を行えること。
添付資料・1{主要調達機器仕様一覧表}
1.百空計
1.1 メタル電離真空計
(アルバック株式会社 modelGI・M2、 M・13 相当品)
対象機器番号:基本仕様:
PEOICQ
メタル電離真空計測定子 (M・13)
PEOIDQ
フィラメント;
2本
PE41CP
接続フランジロ径;
ICF034 相当
PE41DP
コントローラ(GI・M2)
測定圧力範囲;
5.00× 10-8 999× 10o pa
測定精度;
士 159'。
圧力表示;
仮数部3桁、指数部2桁のデジタル表示
測定子ケーブル長;
30m以下(別途指定)
制御入力信号;
制御切替え,フィラメント 0N/OFF
フィラメント V2,DEGAS ON/OFF
レンジホールド
制御出力信号;
アナログ出力(0 10V),BCD 出力
フィラメント 0N/OFF,エミッシヨン設定
DEGAS ON/OFF
DEGAS
,
直接通電加熱方式
電源入力電圧;
10O VAC
電源入力周波数;
50HZ
電源入力相数;
単相
パネル設置寸法;
40o mm(W)×1,ooo mm(D)×50o mm(H)以内
1.2 コンベクトロンゲージ
(日本エム・ケー・エス株式会社 SedeS275、 475 相当品
対象機器番号:基本仕様
PE21CM
コンベクトロン測定子(275)
PE22CM
フィラメント;
1式
PE21DM
接続フランジロ径;
ICF70相当
PE22DM
コントローラ(475)
測定圧力範囲;
1.O× 10-2 Pa 大気圧(Air aTld N2)
測定精度;
土15%
圧力表示;
仮数部3桁、指数部2桁のデジタル表示
測定子ケープル長;
30m以下(別途指定)
制御出力信号;
アナログ出力(0 10V)
電源入力電圧;
24 VDC
パネル設置寸法;
10o mm(W)×160 竹,m(D)×45 mm(印以内
2.真空ポンプ
2.1 第1段フォアポンプ用ターボ分子ポンプ
(株式会社アルバック UTM・80OFH 相当品)
対象機器番号:基本仕様
TMP21CM
磁気浮上型ターボ分子ポンプ(水冷)
TMP22CM
フランジロ径;
給気口 VG150相当、排気ロト卿40
TMP21DM
排気速度;
N2:室 810 L/sec、 H2:宅 530 L/sec
TMP22DM
到達圧力;
S I× 10-8 Pa
最大圧縮比;
N2:塗 I×109、 H2:室 3×104
N2最大給気口圧力;
室 18Pa (水冷)(最大流量時)
N2最大排気口圧力;
至 180pa (水冷)(最大流量時)
N2連続最大運転流量;
盆 1,10o sccm (水冷)
必要冷却水流量;
<
冷却水接続口;
RC 3/8
5.O L/miτ1
電源セパレートタイプ(ケーブル長30m)
電源入力電圧;
200 240VAC
電源入力周波数;
50HZ
電源入力相数;
単相
電源遠隔制御1/0
TMPSTART/STOP接点入力
ACCELERATION (加速中);接点出力
NORMAL (定常中);
接点出力
DECELERATION (減速中);接点出力
FNLU距(故障);
接点出力
回転数出力;
パルス又はBCD
添付資料・2(支給品一覧表)
1.アングルパルブ
1.1VV系第1段フォアポンプアングルパルプ(本体室)
(VAT株式会社 SedeS26 高真空アングルバルブ(ペローズ軸シール)型式;26440・GE24-00OD
対象機器番号:基本仕様
V41CM
作動方式;
圧空作動式(複動シリンダー)
V42CM
駆動用空圧
4.5 -7 bar
V41DM
電磁弁;
なし
V42DM
シール材質;
エラストマー0りング
継手型式/シール材;
ICF152回転フランジ/無酸素銅
圧空接続口(開閉;
female V8"1SO/NPT
リミットスイッチ;
あの(開閉帥
リミットスイッチ接点容量電圧;550VDC/AC
リミットスイッチ接点容量電流; 5-100111A
重量;
12.54 k宮
許容設置寸法;
20o mm岡)×350 mm(D)×230 伽m(印以内
員数;
4助
12VV系第1段フォアポンプアングルパルプ(本体室)
(VAT株式会社 SedeS26 高真空アングルバルプ(ベローズ軸シール)
型式; 26432・GE21-0001)
対象機器番号:基本仕様
V41CM
作動方式;
圧空作動式(単動シリンダー)
V42CM
圧空圧力;
4 -8 bar
V41DM
電磁弁;
なし
V42DM
シール材質;
エラストマー0りング
継手型式/無酸素銅;
ICF70回転フランジ(銅ガスケット)
圧空接続口(開閉);
female M5
リミットスイッチ;
あり(開閉別)
リミットスイッチ接点容量電圧;
5-50 V DC/AC
リミットスイッチ接点容量電流;
5-10o t11A
申量
136 k底
許容設置寸法;
75 mm(W)×170 mm(D)×10o mm(印以内
員数;
4阜
2.百空計
2.1 メタル電離真空計
(アルバック株式会社 modelGI・M2相当品)
対象機器番号:基本仕様
PEOICQ
コントローラ(GI・M2)
PEOIDQ
測定圧力範囲
5.00× 10・8 9.99× 10o pa
測定精度;
土 159、0
圧力表示;
仮数部3桁、指数部2桁のデジタル表示
測定子ケープル長;
30m以下(別途指定)
制御入力信号;
制御翊替え,フィラメント0N/OFF
フィラメント V2,DEGAS ON/OFF
レンジホールド
制御出力信号;
アナログ出力(0 10V)
BCD出力
フィラメント 0N/OFF
エミッション設定
DEGAS ON/OFF
DEGAS
,
直接通電加熱方式
電源入力電圧;
10O VAC
電源入力周波数;
50HZ
電源入力相数;
単相
パネル設置寸法;
40o mm(W)×1,ooo mm(D)×50o mm(H)以内
員数;
2式
2ユコンベクトロンゲージ
(日本エム・ケー・エス株式会社 SedeS275、 475 相当品)
対象機器番号:基本仕様
PEOICR
コントローラ(475)
PE02CR
測定圧力範囲;
1.O× 10'2 Pa 大気圧(Air atld N2)
PEOIDR
測定精度;
土 159"0
PE02DR
圧力表示;
仮数部3桁、指数部2桁のデジタル表示
PE03CM
測定子ケーブル長;
30m以下(別途指定)
PE03DM
制御出力信号;
アナログ出力(0 10V)
PE02CQ
電源入力電圧;
24 VDC
PE02DQ
パネル設置寸法;
10O Mm(W)×160 如m(D)×45 mm(H)以内
員数;
8台
26
2.3 隔驥真空計{パラトロン真空計}
(日本エム・ケー・エス株式会社 Type670B)
対象機器番号:基本仕様
PE11CP
コントローラ(Type670B)
PE21CP
RS・232C コネクタ;
9・P血 male Type D
PE31CP
電源入力電圧;
90-132 VAC,50-60HZ,75VAC(m鯉)
PE11DP
寸法;
240 mm(W)×234 mm(D)×88 mm(H)
PE21DP
員数;
6式
PE31DP
3.真空ポンプ
3.1質分析計排気ユニット用ターボ分子ポンプ
(株式会社アルバック UTM・150 相当品)
対象機器番号:基本仕様
TMPOICQ
ターボ分子ポンプ(空冷)、電源セパレートタイプ(ケーブル長30m)
TMPOIDQ
電源入力電圧;
100
電源入力周波数;
50HZ
電源入力椙数;
単相
電源遠隔制御1/0 ;
TMPSTART/STOP接点入力
240 VAC
ACCELERATION (加速中);接点出力
NORNIAL(定常中);接点出力
DECELERATION (減速中);接点出力
FNLU麗(故障);
接点出力
回転数出力;
パルス又はBCD
員数;
2式
添付資料・3(PLC構成表)
表 3.1 中央制御室 PLC制御
名
番号
メーカー
型
式
ペースモジユール
横河電機
F3BU09-ON
電源モジユール
横河電機
F3PU20-OS
シーケンスCPUモジユール
横河電機
F3SP71-4S
Ethemetインターフエースモジユール
横河電機
F3LE11-1T
パソコンリンクモジユール
横河電機
F3LC11-1F
光FAりンクHモジユール
横河電機
F3LP12-ON
入出カモジユール(短絡保護機能付)
横河電機
F3WD64-3P
出カモジユール
横河電機
F3YD32-1T
プランクモジユール
横河電機
F3BLO0-ON
タッチパネル
富士電機
V815ix
員数
2
23456789
2
2
10
称
器仕様表
表3.2 機器制御室C系統 PI,C制御機器仕様表
名称
番号
メーカー
^
式
2
F3BU09-ON
電源モジユール
横河電機
F3PU20-OS
シーケンスCPUモジユール
横河電機
F3SP76-7S
Ethemetインターフエースモジユール
横河電機
F3LE11-1T
パソコンリンクモジユール
横河電機
F3LC11-1F
光FAりンクHモジユール
横河電機
F3LP12-ON
ブランクモジユール
横河電機
F3BLO0-ON
アナログ入カモジユール
横河電機
F3AD08-4R
アナログ入カモジユール
横河電機
F3AD08-5R
10
アナログ入カモジユール
横河電機
F3AD08-6R
11
光FAバス2モジユール
横河電機
F3LR02-ON
12
入カモジユール
横河電機
F3XD64-3F
13
出カモジユール
横河電機
F3YD64-1P
14
タッチパネル
富土電機
V815ix
2
横河電機
23456789
ペースモジユール
28
員数
7
2
2
表3.3 本体室C系統 PιC制御機器仕様表
番号
名
称
メーカー
型式
員数
2
横河電機
F3BU09-ON
電源モジユール
横河電機
F3PU20-OS
入カモジユール
横河電機
F3XD64-3F
アプログ入カモジユール
横河電機
F3AD08-4R
ラダー通信モジユール
横河電機
F3RZ82-OF
光FAバス2モジユール
横河電機
F3LR02-ON
出カモジユール
横河電機
F3YD64-1P
ブランクモジユール
横河電機
F3BLO0-ON
2
5
2
2
2
6
2345678
ベースモジユール
表3.5 機器制御室D系統 PLC制御器仕様表
番号
名称
メーカー
型式
2
F3BU09-ON
電源モジユール
横河電機
F3PU20-OS
シーケンスCPUモジユール
横河電機
F3SP76-7S
Ethemetインターフエースモジユール
横河電機
F3LE11-1T
パソコンリンクモジユール
横河電機
F3LC11-1F
光FAりンクHモジユール
横河電機
F3LP12-ON
ブランクモジユール
横河電機
F3BLO0-ON
アナログ入カモジユール
横河電機
F3AD08-4R
アナログ入カモジユール
横河電機
F3AD08-5R
10
光FAバス2モジユール
横河電機
F3LR02-ON
11
入カモジユール
横河電機
F3XD64-3F
12
出カモジユール
横河電機
F3YD64-1P
13
タッチパネル
富士電機
V815Ⅸ
名
番号
2
横河電機
23456789
ベースモジユール
表3.6 本体室D系
員数
8
2
2
PιC制御機器仕様表
称
メーカー
型式
電源モジユール
横河電機
F3PU20-OS
入カモジユール
横河電機
F3XD64-3F
アナログ入カモジユール
横河電機
F3AD08-4R
ラダー通信モジユール
横河電機
F3RZ82-OF
光FAバス2モジユール
横河電機
F3LR02-ON
出カモジユール
横河電機
F3YD64-1P
横河電機
F3BLO0-ON
2
6
29
2
1 ブランクモジュール
2
F3BU09-ON
5
横河電機
2 2
2345678
ペースモジユール
員数
表3.7 機器制御室Cryostat系統 PI,C制御機器仕様表
番号
メーカー
名称
型式
電源モジユール
横河電機
F3PU20-OS
シーケンスCPUモジユール
横河電機
F3SP76-7S
Ethemetインターフエースモジユール
横河電機
F3LE11-1T
パソコンリンクモジユール
横河電機
F3LC11-1F
光FAりンクHモジユール
横河電機
F3LP12-ON
FAりンクHモジユール
横河電機
F3LP02-ON
アナログ入カモジユール
横河電機
F3AD08-4R
アナログ入カモジユール
横河電機
F3AD08-5R
光FAパス2モジユール
横河電機
F3LR02-ON
入カモジユール
横河電機
F3XD64-3F
出カモジユール
横河電機
F3YD64-1P
プランクモジユール
横河電機
F3BLO0-ON
タッチパネル
富土電機
V815ix
4
2
11
2
67890
5
2
F3BU09-ON
3
横河電機
2 2
2
1 ペースモジュール
員数
2
5
3
2
4
表3.8 本体室Cryostat系統 PLC制御機器仕様表
名称
番号
メーカー
牙"
式
横河電機
F3BU09-ON
電源モジユール
横河電機
F3PU20-OS
入カモジユール
横河電機
F3XD64-3F
アプログ入カモジユール
横河電機
F3AD08-4R
ラダー通信モジユール
横河電機
F3RZ82-OF
光FAバス2モジユール
横河電機
F3LR02-ON
出カモジユール
横河電機
F3YD64-1P
パソコンリンクモジユール
横河電機
F3LC11-1F
プランクモジユール
横河電機
F3BLO0-ON
2
242222
23456789
ベースモジユール
員数
5
表3.9 本体室一次冷却設備 PI'C等制御機器仕様表
番号
名
メーカー
称
型式
横河電機
F3BU06-ON
ベースモジユール
横河電機
F3BU09-ON
電源モジユー儿
1横河電機
F3PU20-OS
電源モジユール
横河電機
F3PU30-OS
温度モニタモジユール
横河電機
F3CX04-ON
アプログ入カモジユール
横河電機
F3AD08-6R
光FAバス2モジユール
横河電機
F3LR02-ON
ブランクモジユール
横河電機
F3BLO0-ON
30
6324
2345678
ベースモジユール
員数
表 3.10 本体室冷却水系 PLC等制御器仕様表
名
番号
称
メーカー
井Ⅱ
式
2345678
ベースモジユール
横河電機
F3BU06-ON
電源モジユール
横河電機
F3PUI0-OS
シーケンスCPUジユール
横河電機
F3SP71-4S
入カモジユール
横河電機
F3XD64-3F
出カモジユール
横河電機
F3YD32-1P
出カモジユール
横河電機
F3YD64-1P
アナログ入カモジユール
横河電機
F3AD08-4R
FAりンクHモジユール
横河電機
F3LP02-ON
員数
1
添付資料・4(添付資料目次)
添付資料一覧表
番号
名
資料番号
添付資料・4.1
称
真空排気設備系統と仕様範囲
2 添付資料・42
真空容器べント系統及び仕様範囲
3 添付資料・4.3
第1段フォアポンプユニット組図(案)
4 添付資料・4.4
真空容器ぺント系_C系統マニホールド接続部(既設)
5 添付資料・4.5
真空容器ぺント系_C系統マニホールド接続部(改修案)
6 添付資料・4.6
真空容器ぺント系配管ルート(案V平面図
7 添付資料・4.フ
真空容器べント系配管ルート(案V立面図
8 添付資料・4.8
本体室磁気シールド盤内配置図(案)
9 添付資料・4.9
本体機器制御室操作盤(LPIC)改造(案)
10
添付資料・4.10
真空排気設備操作ディスクU186CPり外観
11
添付資料・4.11
中央制御室操作盤(CPI)改造(案)
12
添付資料・4.12
真空計測盤U186CP3)外観
13
添付資料・4.13
本体室PLC制御機器構成(C系統)
14
添付資料・4.14
本体室PLC制御機器構成Φ系統)
15
添付資料・4.15
本体室PLC制御機器構成(cryostat系統)
16
添付資料・4.16
本体室PLC制御機器構成(チラー系統)
17
添付資料・4.17
本体機器制御室PLC制御機器構成(C系統)
18
添付資料・4.18
本体機器制御室PLC制御機器構成Φ系統)
19
添付資料・4.19
本体機器制御室PLC制御機器構成(cryostat系統)
20
添付資料・420
中央制御室PLC制御機器構成(マニホールド真空計)
21
添付資料・4.21
本体室冷却水系PLC制御機器構成
32
告=壁=
仂工
占
"月0含
0Ξ@
ミ一Ⅱ=
Z
生Uψ生畠
工0●三
ユ凸一0"の
虫、
一、-0匡
0二、一@
圧写0,岳
▼▲
、▼▲
画"讐右◆ヨ﹂
一'胃X冥'岩9'
工0一ルご
・§'・熊継
側撫読城識側ぱ
工0-64告
ト入契卜k八鷲矯
二0=芒
◆▼'
互0●ヨ
◆▼▲
▼▲◆ぎぎ
卓亜呈︹E-"言、
呈'゛﹁●.●一、1﹂0号﹂
=月'コ
言一凡吉司
^^
1誕回
誕θ
石宕・-N]〒ヨニ
﹄"-0止五す
﹄高星
咽嫡↑＼]
↑=0五正
乞=コ
三星
▼▲
回.
Ξ0五三
▼▲
﹄'窒肌
▼▲
乞'今Ⅱ
▼▲
﹂言コⅡ
0
、§θ
▼'
巽"
側推憾
橡トハ美卜k八竪一塚
二0Ξ""
ト入契八kへ鏗N城
●1
ぎ曽'主
NZ
01此0喜、
生0芸"、
▼'◆三三"
言●巳
コU
男
岨'倒一﹄'、一
-0宕,-Nざ.穹闇゛
匡OR仁
■打辱1゛,L
-E=ψ■一、Ξ、0日'
喜ONゞ
20=,"●
.尋韮キ
二0=生一
四宝咲ロイど
20N='
露一す
一呂01罵]〒写一゛N
IU容コ
き"塁
5三剖
の正
●,=U工皿'
イ0
告門0キ岳
■0-0臣里
乞●9
匡吊今
生0コ一﹂一一)
庄曾0'岳
ぎきコ
告§区す
女冒0ご
二写門、
▼▲
IU●窒
﹁ーー
ーーー﹂
▼'
工OR、
工0トエ
ミ石匡
き,呈岳
^写き^言一倉
▼▲
◆1
早゛﹁●1●κ1'旦'
●貞辱τ量.﹂一
▼'
IU=胆
目岬
二二]区
0
工0一門壷富
ー*鉾回
誕θ
■
、
盤0觜>
き,三◆▼'ゑ三◆▼▲舌一三◆
二り
雙。Ξ
"﹄]、0コ
Ⅱ二ぎコ
▼▲
▼▲
4
φ
▼▲
工冨0、
芝亨'
言
石00.-N]〒巳一如
、司
圈堺挫◆七堤際抵読城'輯似一.寸1英惣サ長
芝
告一呈岳
舌各吉血
"R0コ
ぎ=王主
舌9←一一コ
コR=
圈堺鑾ガ
IU一窒
":ξ
ト司
、司
き一ニヰ
工0一塁
回
ト●
尋,告=皿'
牒和一軍
ぐ0
告一0亡
言=吉●
卓,゛一ぜ︼
互0=士
"尋す
工0=生一
ー.塑蔀ま
N■
=00,-N]〒0=叩N
工安二
▼'
を旦
00石山仁
血
6U一拐工0
牒札而駅
告"重
一学羽塾イ'゛^阜︺H
00-0&
60-0生一
00=>
8容山五
00●呈
劇劇
▼'
血■
00-0>
00、旦
き容尋
困堺挫゛
、U"0●
工00-.工5コ
-0一うヨ
主■
、一.一"一ち
史■
ス一.、鹸非三垂
>0容、冒
イ6、ふH
一隆大.イ励仁"催︺
告"
二曾一皇乏
日茎巨
■折曼C●,﹂一
主,゛"●.買,﹂旦,五窪
匙=コ
キ'等
囲堺逢卓
一晦星■型智興ヨ茎●呈﹂
五吊三'
圭
0,告芸、
囲戀担
舌山旦
噐
1驚
.ニ'
,●問
凡■
ぎ'
.
▼'
▼'
ト司
▼▲
: 00叩凸、
U」呑、〕劉
◆
■●
Uコ^^
◆:
心
.よ豐
、司
、.
◆
1回
=
◆▼'
牒収識州
仙●
お幸封︺
.
生00-ーエ窒
血■
●一ーエ
'U一忌"
庄■
一§一丁一
告一02
明罰史
日茎イ5︺
鵠
静司
ト●
回鴇
島●
灘
回禁
,.
00苫、
色=お主
■●
舌一ヨ、
.
鴇
▼▲
0昂●
■嘗幽 鼻出
0島・.
Φ
L_____
囲堺継卓
ψ
■司
今●
回鴇
鴇
■●
回鴇
ゆ●
鴇
.、
=鼻制倒■
*
■゛辱
一詩
窒
Φ
〆
.
.1;
■゛
回鴇
,ー
鴇
鵬
■司
鵠
,司
ト司
回
.
@
＼
E
田゛(ユ
0吊一宜00●.一
如N1凸工
お●一,、工)牒トハモ矧
1止
0
?NO-1止山工
0山(ξ"E08"
Φ1﹂
岳2＼"E§巴
如竹10﹂工
0-t止山工
Φ1、●1、
一1
、
40写
菖一
門1>Φ
サ門1>m
-NX
一め一
、ー
"一工
<
2︾E80巳
﹂
工ι
<
︹ξ"E8Qe
一1
工
'辻
"一監
中門1>●
誇1>■
-.m寸白コU
-mの9寸0門mD切
W甚K
処倦如当劇崖
如對彩榔燮εm0之0田牒
Σ
mや
側凶踊
<00サ
(入、-0倒丹ミなX
Φや
ιハbK共
(入才0
N▼
mや
寸や
m
圦ハ爪へ刷嵐の
ネ入小八刷似 9
擁剖冒則二
八入へ一0刷丹ミひX
ι゛bべ共Φや
トや
八YK
図蜘ね瑞貳擬際0豁害
鴇
N
m
伽腔
や
K1口て
<¥K
ト¥K
軟罫一一寸
ゆ
ネ入小ハト
ネ入小八Φ
ネハ小八刷懲
叩0乎
トミてしートミなXミーK
<00サ
"
'゛・優"ル
條一田一m0ど0
・(
、
>
L _」
襲(副N語一1●区
卓史師'際坂走旺■
軍血剛叙¥ヨ.暴婁E卵
@●
1 1
>ーく一呈]m
>44-0>0
支臥軟5ギ一城
1献01
き,侵""牒0
一'牒鵬'知
剛似
>1U-0吉Φ
1剖ル1
>﹂イNO>0
>ー<門中>
Φ
胸くミ入小へ巴
>10-0
4 、;
1即,11
園饗熱も
>ーくN呈富
一,一
>'ON0吉m
>10"0>
>'ONO>0
園饗怒も
@●
哩一.嶋●含.電、
..
ル
・膨
'゛.,
◎の
メ
三
ぎ、:.、是一
ミ
.﹂
0 、=
11楽、 1
4
甚協des
N.寸,菜処セ共
N
Mや
000-N.国一N"切コめ▼
X
-.め"Bユ↑寸0門mコの
O.゛門B
X
めN門>入ι¥て
X
0めNZ0寸0誘つ切
XO0寸白寸0"mコ切
00ル↑寸0門の之の
寸のN白口0ル↑寸0"のコ切
一如寸め
X
Ⅲ.叩一門合
斈一一'割深
X
●●●^^●●●^^
^^●●●^
圈堺継◆U編際厶入て鵬即剖叫
ξ"E0含,中
ξ舸EO00."1凸
甥10生
Σ
{一0-1﹂=︺牒倒ぜ無
中ミ小刊佃
据蝶則嵐笹m
是燃側蹴終m
-NM功コの
゛0門U、コ=U
一門.0寸門9
工匡000,0卜OU匡コ寸0"功コめ
握燃倒似舟田
江埠刷嵐舟田
一め.心
-0.角
-N-.一杓一>コ亀一ぐ00岬寸0"のコ切
"の峅含.U.ル一門門
U.ル00寸自白吃州匝寸OM仂Dm
工仏0めN.゛0門U仏コ寸0門功=m
00門,0ぢ寸0門mコ切
ヒ0寸06卜OU仏D寸0門功=切
"ト門口
権懋剣瓜Mm
住樂佃麿MΦ
握埠倒皿優m
入ミK謙響三赴山ON>ΦΦΦF
山一".山N-
ξ門E●一門.NN-ー
工
尽畷遍趣諏亀'﹄、側智契
ぎく窃
や
休Y小"畠てミ
口
叶避坐梨一
k1口て
1熟0△ハ
0
薪咽裾工
慰里・拘
﹃●
゛゛¥へ瑞制号八、
0ミYへ△ト
誘叩
ゴ
ニー﹄0↑
ιネ田養撚
側トハモ業異
コ
吊サ.内9
翻側止9Z9
軟熟て
(冨刷亙笈)
林て入、
(会叶)て入、ロ
斐隼
^●●●^^●●●^^
^●●●
r
g!畔
,1.:エ
Φ a)
、、
'＼
修皐
価倒
貴如
皐藍
畢峰
●@
@
、11
@^煙壁,'
@^詣
^
ξ"E 山一門.一門一"0
侶
又
日
0@
^
0ヌ
NNNN
闇^
剖N
胞▼"
闇一『一岡一闇一
即宿怯
^
焦奇
愚叶
博岬編岬
1^三こ
'、 i'、
て帽
'会
1 武H
1、)
^^
■、^
て伝
'益
1叶
之、)
靈
乳1
帥削
剣嫉
欧撚
ι抑
、5
て:ι
鄭尺止0一↑<>
(暗架似)Σ※別>
司'^ニ>
ン, C＼1、_ノ
CU-'<〔
拠
超
099
09乙
●◆
0吊
0吊
※弐>
Σ
0嶋一
0網
ε'ヤι乙 1
099
(獣)図暴厶入,nd卜入芙八k八ぎ鞍の.寸,英処サ長
一.の入のの.0-N
Σ※仁>
Σ※其>
Σ※其>
0呉
ι'9ι 1
08ε
.
■11圏
◆
-081一■Φ1Nm
トミて↑Z
(需塀)Σ※N
0て入
のΥΣΦ毒Φゆ
(隠撫三※製
ート入口'
王00如1Σ↑コ
園
撫
二いU覆 、
:豊1尾;111^
称
逃二
^LU
0_ nN
^>
Lu r、
吊石>＼0<>]コ
※0＼
※寸←
,如いり＼椥称逃爽、嚇鞄
IJ
暗卯畏
Σ 10
令腿迦峨M＼
架司'N
{X山一
、_ノΦ U-
、逃Σ※N窒三
ロロC)S巴
ロロ 1.'ー、
。勺
_口民
0 牙「1
■Ⅷ盟■張■
熔杓
(N詰)
(髄害)論堤塑ミーξΠシ編際0.際厶入て鵬都叫寸.寸,英処罵,
合誇)
..
制=
4カハ△
0誘コの
く力入△入
0
"
0＼コ0
0器コの
誘コ仂
Φ><0吊・寸0 誘コの
一 ゆ . -X-.器9
コ＼コ0
誘コの
0
誘コの
誘コめ
0誘コ仂
0 ^ C、1C0 司. Uコ(o r、^ 0)^^ CU C0 司' Uつ^ r、^ 0> Cコ^
示トト1軟休入入ハハハ蛋ミbハb卜1入肝入片
Y Y 口罫罫小小ξHξHR"RH マ、 K :、 K Y 口小ハ小ハ
.ノ
<'ぐ出出へ八憾献歓鳳叉失0欠て Y 八て八て
(の石)
一の
●号一
号
一
^
r、
号号号
ゆ拐
§巴
際ム?鵬即剖似ゆ.寸,菓処サ長
圈堺蝉"
C＼1
(踏喜)論蝦閖艾ミーモΠ長際0
号゛
厩側
尽愚
圦ハ
、入へ一
号
(制粟・半匙・く護)
.
際'ハて鵬即側歓
0
誘コの
-N
中吊0止
ゆ別>＼ハ' 、て
苫9＼
一杓.の寸門
0﹂コ＼
0
朋コ切
0﹂コ＼
0誘コ切
ヒ89尺
↑﹂0寸01尺
Φ>コ＼
0誘コ仂
Uイうコ
0吊
0止コ＼
0'>5
0'>'
正吊N1Φ0
州地＼
器6＼
0
誘コ切
(寸謎01等曽こ 8の＼
一需 X
Uイ>台
だ"00区
0-
誘Ⅲ00△
一イ>
誘コの
誘コの
誘コの
8門＼
0＼区﹄
(N-1易一>コ赴)
0＼4↑
血一ー
.如寸ゆXO 0寸9＼
あX苫N
挫ガ
CU
CU
CU
一山.ΦXゆ.如一門9
り、:入 1入小 0
、
入,入入「、 RH'"、
K 1入 1入小小1い封仔ネ、;、 k 1入ハ 1入入
口各
︻゛.ξ単掌三赴
脚据
岬
C司
CU
CU
CU
^
CU
^^^^
義K稲
ユミーξUル際0
'司
ii■
^^
1
呂倒
含苫
'■
司■
■■
8今
吊石一
導圃
フ゜
0
引d
訓d
8弐化
e 【d
9 [d
ι ld
d d
Ⅱd
ゞ哩
司ゞ
6d
9d
別
ιd
W
9d
9d
06
ーー Z
d
9
Z ιd
0別
図楓叶＼(獣)ムーミ迦圖際厶入て鵬即側叫Φ.寸,菜処サ長
0詰
1-一ι
吊=
一婦工
1
旦
、1卵
.^'
^^
9 [9Z
イ
,^
r
ZεεZ
00ε9
"^^、
11五
^
^
^
^^
冊入弐く
振倒禦
^^
■閥
=ー
ーー'
^1
・き1^!1
亨1弐,1
ψ、
009ε
0909
.
図回制＼(獣)ιーミ迦圖際厶入て鵬即側叫八.寸,菜処サ長
χ^琴
O L9
069
09ε L
"11
4寸+
0区Σ↑
ル
0吊
C二
0
...
...
.Ⅱ
.Ⅱ
呈●
耆●
尋
...
...
Ⅱ
.Ⅱ
呈0
呈●
ΣΣ
トートー
一巴の0
.
﹂0
^
0民
0く一
△Σ
止Σ↑
区Σ↑
如.寸,英処サ長
ΣくN 一Σく一こΣ↑
興鬪
区く曾△くN0△く一
く石区く石ミ
肱側献ハロ'小
糊辧謎冊ミ超叉
ΣくN一Σくニミ
糊畔謎冊ミ愚メ
ιノ C)
.、、 0-
0易
8-N
Φm
Φm
.
(獣)図胆圖K劃ミー△収選側雌k
樂劇
...
Ⅱ
昏●
周器
0鈴
目目匝目
0当
0△石0じ石
"側
、超
瓢燃匝止
Π
0-0-
憾亜お歪0
0吊
^
樹>>
0
.゛,
ヨ0
.Ⅱ
(コ
盟鳳
画盛
風
晶
0謂
0囲 0邸
^
^
^
^
^
^
^
^
^
樹>>
...
書
0図 0囲 0囲
^
^
^
^
闇暫
廟画
盟
§0
.Ⅱ
0囲 a囲 0圏
0器
0囲。
!!0司1
0圏 0囲 U囲
0の弐
.'-0-
トー^
ユミー係ⅡN
ノ
0囲 0習 0囲
三ゑ
小 ー ロ '入口
009
0のゆ
^
需杢
<一Φ冨区苦四一mv
<一Φ岳△"馬面V
<一Φ岳1"后一mv
<一Φ長4"馬一mv
<一Φ岳4ぎ四西V
△Φ長△老N茄V
<一Φ岳△老田面V
尉
<一Φ岳区老角あV
割
<一Φ馬△老田一mv
創
0吊
=
裂
(獣)廻俗6三)訓半黙糾軍遍鵬建雌kの.寸・菜無サ長
<一Φに奥区老四一mv
<一Φ岳△ぎ由一mv
割
慢網
き國圃毘
<一Φ岳'ぎ●一皿V
國困國
0鈴
際一巴山0と0
<一Φ岳△"仁巾庄V
牒0城抹>>
<一Φ岳△老邸一mv
際0岐撚>>
嗣
<一里如'老.-mv
裂
<一Φ烏4"岳一mv
割
念一N
雷
<一Φ冨△老四茄V
謹
隱
<一Φ冨区ぎ四 面 V
圃
別
0誘
<一Φ冨区老田一mv
創
0誘
<一Φ冨4"岳 あ V
嗣屠
ミMて0ハ小ト
鵬咲欄圦ート
入口' OY入Π
、隱「
OZ【Z
00εZ
0OEZ
0乙ιZ
0鈴
^^
創
0誘
割
0如一N
創
0誘
割
NN
0詔
尉
L
L
"﹂!山
こ」L
.、ー
9
.寸,菜艇サ長
淋仏 1芙1片・鵬聾)
胆需剖避如寸入Π>て
同麺
紬趣遅滕
士サ函ミNてい入小卜U論 口歴合邇網薫鵬建・
網 e鵬建縢N合圧9
畑俗リ示二拙
(四、UΣ入,小八■柄
士サ喜楓NミNて怜入・超
,▲⇔器一[
竃貳(居器EいK¥玲半瑳需収"輯叫
墨黙りニ昔ミ
しし
L
L
9ιヤ【
89ε1
Cコ^
0吊
^^
^(コ
8Φ一
0畠
"ミ長て0ハ小ト
吊"吊一
09 9ι
09ι
09
9乙
'「、、'隱1
X0山
↑告
0念
8別
霞遮験黙
△↑
Xom
区↑+ミMて0ハ心ト
一ゞ、、、、、、§、
隱食
<ミトー小電足如鴎コ0Φ1↑う>
^^^
ーーー
8竺
劇ミ,代て0入小入
合菊νD檀"一臥顎齢怜郭YK)
ーーー
<(獣)ミトー小電足刈倦くの畠,↑う>
(釈)製俗(圧0)闘半黙糾電遍永丹二.寸'菜処サ長
尺
、__、1
厄司§
厘劃・
E■
画馴
'■鬮
竃式(暑器三劃泰+
噐糠合樂圖鵬顎@
胆隠.N
士サ函合ヨ▲@
士サ喜今bぶ入小卜⑩
掬挺小ーロム入Π@
口
叫
叫州
.1;帥
N-.寸,菜処サ長
楓邇
楓田
00ε乙
(W世一美N如怜誓痢擾輩圖剛駆@
団
拠超
、、
'
雌燧.︻
,ロ
■爾
口
一ルΣぐ'0の遷ルm0一のOU
属U)Σ国↑の>の国↑ぐコUぐン国■ぐ一↑Z国配国匡色n
(際旦Σ国↑の誘国↑ぐDUぐン国山ぐ一↑Z里国山臼R
含ルのU)+叩剖歓.ミ・托Πル
(UΣ配,会厶伽巴鵬撃樹米
@@⑩団⑩⑩8
叩龍
,
匡国■↓0配↑ZOU国↑0Σ国広00寸'0めΣ
Σ国↑の>のΦZ冨Σコ区●S↑Z国配国匡山一nくΦ広
廻
網撫1暗嫌家掬薫
ご
■●ヨ
⇔鈴
幽
◎?狸_
日
縫
側
側
山8
ZO1oamこ一ミーd圦中0入小ト
Φ8
Ⅲ00
'
側
苫0
寸8
"8
喜四
答0
容0
..
>寸N△一1寸Φ△>史一ミーdネ中Ra
の01ONコ△m止一ミーd圦印一
OZ '郭口K
切90容烏﹂一ミーdネ中一
>寸N止門1寸ΦOX佳一ミー門ネ中Rく
>寸N止竹1寸ΦOXM﹂一ミーd力中Rく
>寸N止杓1寸Φ△X"止一ミーdネ印
>其﹂m1寸Φ△X佳一ミーd訣中、<
N魯
ZO109忠止一ミーdネ半0入小ト
0口K扣侭 ZO109忠止一ミーd圦中0ハ小ト
η.﹂
四四四酉
>寸N区一1寸Φ0>門﹂一ミーd圦中R羽
'.口K
(編際0)督拠鵬龜軍足9区側雌粁の一.寸,英処サ長
ι,,口K
Φ00
ZO10ヨ用止一ミーd会中0ハ小ト
さ0
ZO109用止一ミーd圦中0ハ小ト
ι',口K札矧
ι.口K扣側
器0
口K 剖 ZO109器止一ミーd襟削0入小ト
ZO1N0告m止一ミーd圦中NKて<止>
K
OZ'入・ndKて
一一.OZム・口
>寸N﹂門1寸Φ0盃﹂一ミーd圦中、<
化竹止一ミーd訣中山咽1、小
くEON1寸配寸1如00く門﹂一ミーdネ削、ロ、ハ
01N弐1切化止01N如
ら0
、^
霧﹂一ミーd☆印川鴇一1、小
Φ8
■
優.ξエニニ〒三ヨ三
01N弐1仂正止01NΦ
の8
.
ZO1N0正]m﹂一ミーd圦削NKて<止>
一一.02ι,,口K
OZι入,ndKて
唾
唾
唖.Z
唾,§
唾.f^
1..図西
1箇a口^
唖 E豆羽巨三回
唖 ^屡羽三
111登琴巻琴J拶ξ釜翻
唖.f^ヨ
唾.ξlf〒ヨa
唖四
ZO1oamの﹂"ミーd圦削0入小ト
Φ8
西四
切0●苫0
晋0
容●
四胸
..
ZO10ヨ用﹂一ミーdネ印ハ小ト
ZO100]mの止一ミーd圦印0ハ小ト
>寸N住一1寸中0>m止一ミー門詠中Ra
ιハロK
の01ON二器﹂一ミーd圦山
OZ
切01Rコ△門止一ミーd圦中
>寸N止門1寸ΦOX杓止一ミーdネ中Rく
>寸N﹂門1寸ΦOX史一ミーdネ中Rく
>寸N止竹1寸Φ凸Xの﹂一ミーd詠印
>其﹂門1寸Φ△X認一ミーd圦削く
容0
>寸N△一1寸Φ0>竹﹂一ミーd訣印R翌
ι・,口K
ι.口K剖武
(編牒9督拠鵬龜軍足9止側雌k寸一.寸,菜処之隆
',,口K痢側
ZO109m杓﹂一△、1dD削0ハ小ト
ZO109用止一ミーd訣中0入小入
ι,、口K
'',口K扣側
ZO1oam門止一ミーdネ印0入小ト
さ0
門8
"^
',,口κ札側
零0
幼宮寸8
唾'.'
201N0正]門止一ミーd圦削NKてく止、
K
OZ'ハΠdKて
>寸N止m1寸Φ△Xm﹂一ミーd叡半く
Φ8
くEON1寸正寸1Φ00くm止一ミーd会中くトロ、ト
配門止一ム、1d訣削Ⅷ,ー、小
化の止一ム、1dネ印Ⅲ畑1
01NmN1の化止01N如
如
ZO1N0正]m止一ミー"D中NKて<﹂>
区亘回巨亘回三
さ0
唾
01N門N1仂正止01
贋
唾.fE^ヨ
優.f^
蛭.f^
唾.f^
一一.OZ'.口
唾
優
^^
ー'、
唾
唖
厘・ー
優.§:,
優
暦
mo0
■
K
OZ▲ハΠdKて
^
一一.OZ'・口
..1^】^
ZO109mの止一ミーd圦半0入小ト
Φ宕山含寸8
さ0
Φ呂山00
苫0
"8
ゆ一.寸,英処サ長
一.OZ
ι郭口
K
の01ONコ△m止一ミーd圦削一
>寸N△一1寸Φ0>こ一ミーdネ中羽
>寸N止一1寸Φ△>門止一ミーd詠印
01N縄1の正止一1︻一0富止一ミーd会削や入、-0△
ι・・口K ZO109m門﹂一ム、1d圦削0入小ト
西四四E
"8
(編際一εの0どじ)督提鵬迷軍遍ヨ止側雌k
ム.口K扣
ZO100]鵠止一ミーdい印0ハ小ト
ZO109m"止一ミーd窃削0入小ト
ι.口K剖R
'・、口K如
ZO1oam門﹂一ミーd圦中0入小ト
さ0
0
.
曽0
1昼1ー;ー
巳0
.0
一.OZ
'入,口K
仂01ONコ器止一ミーdネ中,一
>寸N止m1寸ΦOX門﹂一ミーd圦中く
>ミ止門1寸ΦOX望一ミーd圦削
>其止門1芯Oxm止一ミー門襟削Rく
>寸N止門1寸ΦOX門止一ミーdネ半
0
'・口K如側
K
ZO1N0告史一ミーdホ削NKてく止
一一.OZ'・口
門一.OZ厶入'ⅡdKて
EE
くEON1寸化寸1Φ00くの止一ミーd会中トロ十八
曽0
小
くEON1寸化寸1器0く門止一ミーd訣中Rく、口十八
正門止一ム、1d訣削Ⅲ
匡門﹂一ミーd窃削Ⅲ,1熟小
J
き0
巨亘回
唾巨亜回巨亘互回
唖尚
1匪豐昔昔ミ宅翻
唾.§
唖1
唾§
01N如N1の化﹂01N如
01NのN1の化﹂01NΦ
K
-.OZ'入,ndKて
一一.OZ'・口
ZO1N0正]門止一ミーd圦印NKてく止
N
IE^ E亘三回
.0
疊'1 :.
e.^「「^1
e e 1篁豆t1壁亙1
容0
Ξ0
く言0-
-OZιか口K
口十
mり
ロト
ZO1Φ0コm門止一ミーd窃半K1て
ZO1ONコ区m﹂一ミーd圦中
<>00-
'ハロK
ロ、ハ
Ⅲ"
ZO1の0コmの﹂一△、1d,し削
ZO1吊コ△m﹂一ミーd叡削一
ZO1寸O×om﹂一ミー"力中Π中
ZO1寸O×0"止一ム、1d圦中然Π半一
ZO1寸OX吊﹂一ム、1d詠中"中剪
ZO1苫X0佳一ミーd圦削超Π削
里.寸'菜処サ長
-02
<EON1寸>0-10正Φ1如00く杓止一ミーdネ中
<EON1寸>0-10化Φ1如00<"比一ミーd圦中
<EON1寸>0-10化Φ1Φ0凸くm止一ミーd詠中
Ⅲ"
(渠際1小ホ)督拠鵬建軍足9区側雌k
ZO1苫X吊﹂一ミーdネ半Π中
ZO1苫Xom止一ミーd圦半然"中円
ZO109用止一ミーdネ印0入小ト
の00
゛
ZO109mm﹂一ミーdネ削入小ト
ZO1N号門止一ミーd圦中NKてく止
(貳困堺継●一ミ入1b米圧僻)
(ミトーb米旺僻)
一一OZ ι',口 K
Kてく止、
美一OZ '.ndKリ、
-0010ΦΣX一ミトー
ZO109血門止一ミー"圦中入小ト
ZO10ヨ用﹂一ミーd圦中0入小ト
ZO1N0告史一ミーd圦中NKリ、く止
(ミトーb米冊僻)
(貳圈堺誓一一ミトー b 米 冊 僻 )
一一OZ ' 0 口K
美一OZ '.ndKリ、
Φ00
厄画^
ーて
匪団匪匪
'
φ8
ゆ00
苫0
零O
NO0
二
ZO109mの止一ミーd叡中0入小入
ZO109m詑一ミーdネ印0入小ト
の01ONコル如止一△、1d冷半
>寸N止門1寸Φ△Xm﹂一ム、1dネ中
>寸N△︻1寸Φ△>m﹂一ミーd圦中主
0口K
'.口K和
(編際じ)俗鞭鵬聾電足9止側電足蹄聾雌粁仁.寸・英処サ長
ZO1oam門止"ミー"圦削0入小ト
ZO﹂09Φ竹止一ミーd*印0入小ト
'.口K札側
ι.口K扣
ZO109用﹂一ミーd圦削0ハ小ト
Φ呂さ0
△の"﹂一ミーdネ中コル0K入bーハ
切01ONコ△門﹂一ミーdネ中
段1如
ヒーニ山だ一ミーd圦削K1Hヘ1愚入﹄一ΦEΦε山
01NmN1の正﹂一1二0]m止一△、1d詠中0入へ一ハΠ>て
ZO1N一区"門﹂一ミーdネ叩禾入へ一<﹂>
回口
'郭口K
OZ
普0 容0 石0
寸8
ZO109忠止一ミーd会中0入小ト
の8
1長昼昼長憂夏'
ZO109mm﹂一ミーd圦削0入小ト
ι.口K卯則
',,口K如側
一一.OZ'.口 K
OZ'入,ndKて
'.口K和側
ロトト
くEON1寸化寸1如00く竹止一ミーd*半Rく、口十N
くEON1寸正Φ1Φ00くm﹂一ミーd圦半
醤0
■
ZO1N0正]m止一ミーd圦中NKてく止
>0-10
'..
一剥司一引司
Φ00
..、
>0-10化ゆ1如00く門止一ミー門叡中く口十八
゛..、.0
●●■.
、".Y.一.︼
"制司
長1
さ0
^
^
ZO﹂N0正]m﹂一ミーd会中NKリ、く止
K
容一.OZZ9↑く↑切
Φ00
^
11悩胤冒
抽冊■
曾⇔
0@^回閏
1胎肌.刷
1胎揣■ト
11・・・・・・・1
11・・・・・'・1
一一.OZ'・,口
OZ'入'ⅡdKて
軸胎馴
便1回
e 9 ^[1^1
11川・・・・1
11・・・・・・1
11・・・川・1
11・川・・・1
如00
さ0
中00
Φ00
岬呂苫0
ゆ00
門8
寸呂●呂容0
石0
ZO10ヨ皿Φ止一△、1d圦中0入小ト
ZO109器止一ミーdネ中0入ート
OZ
'ハロK
OZ ιネロK
﹂、
の01ON二区門止一ミーd圦削,一
段1Φえ器、ミーd訣中是0憾K入
1△
↑一1二山]竹止一ミーd圦中K1H八1超入¥一ΦEΦε山
01N弐1の化﹂一1一一0]竹﹂一ミーd訣印0ハ一入Π>り、
ZO1N圧]m﹂一ミーd圦中工0入へ一く止
N8
の01ONコ△門止一ミーdネ半一
>寸N﹂m1寸ΦOxm止一ミーdネ半Rく
>寸N区一1寸Φ△>史一ミー"訣中ヨ
'.口K和
ム.口K和
(編際△)寳拠鵬龜電足9区側軍遍鵬巡雌H曽.寸,菜処サ藤
ZO,09mm﹂一ミーdネ削0ハ小ト
ZO109mの﹂一ミーd冷削0入小ト
'・口K和側
,、口K如側
ZO1oamm止一ミーdい半0ハート
ι・,口K和劃 ZO109mm﹂一ミーd圦中0ハ小ト
ム.口K和R
ZO1N0正]m﹂一ミーdい削NKてく﹂:
K
OZιハΠdKて
一一.OZ'・口
口十ト
',、口K和側 ZO,09m門止一ミーd訣中0入小ト
ZO10ヨ血門止"△、1門詠中0入ート
くEON1寸正寸1mooくm止一ム、1d冷削
'.口K
>070化ゆ1如0△く杓止一ミーdネ半く、ロ、ハ
8
^
^
一
Φ8
胎剛盟
含0
11朏冊圖
1胎制■1,
11胤隈■
軸譜1馴
答一.02Z9↑く↑の
Ⅱ俳削■
優。@回口三
唾
1
111籍釜琴言宅管髪巻翻
1
11厄国^
置
1冊111朏.■
口
駆
唾
唖
唾
1櫛朧冒皿
11棚1肌■
11冊朏.冒1"
ZO1N0告佳一ミーdネ中NKてく﹂
K
OZι入,ⅡdKて
一一.OZ'.口
優
唾
優.f^ヨ
唖.f^
、(コ・
Ia口^
1飢a口^
1冊船肌刷
ZO10ヨΦの止一ミーdネ印◇ハ小ト
ZO10ヨ器﹂一ミーd冷削0ハ小ト
ム・.口K和之010ヨ用止一ミーd圦印0ハ小ト
匪団団団
苫0
山呂寸8
零O
の呂
8
石0
ZO109用止一ミーd圦削0入小ト
ZO1●今用﹂一
e1門ネ半K1て
の01ONコ区の止一ミーd詠削
OZ'ハロK
OZ
▲ハロK
門、一ム、1d
の01ON二区Φ止一ミーdネ削一
の寸1一註の杓、ミーdネ中コ△OK入b1△
↑一1二山"門止一ミーdネ印K1H八ーハ¥一ΦEΦε山
01NのN1切止止一1一︻0]門止一ミーdネ中0入へ一ハΠ>て
ZO1N圧"m止一ミーd圦削工0入へ一く止:
N8
>0-10止ゆ1如呂く杓﹂"ミーd圦中く、ロ、ハ
(ミ)﹂竹,芯OX於一ミーd圦中Rく
>寸N区一1寸Φ△>m止一ミーd圦半
ι,,口K和側
(渠牒一εの0ぶ)督拠鵬巡電遍9区側軍足鵬建雌Hの一.寸,菓処サ藤
K剖武
',,口K扣側
',、口
ZO109mm止一ミーd圦削0ハ小ト
山8
1
1唾唾唾唾督唾唾
じ
Φ8
Φ00
"^
ι.口K如
ZO1N0止]m止一ミ ー d 圦 中 N K リ 、 く ﹂ :
K
OZι入,ndKて
一一.OZ'、'口
くEON1寸正寸1Φ00く門止一ミーd訣中Rく口、ヘ
くEON1寸正寸1如00くの止一ミーd詠中くトロ、ハ
、ロ、ハ
乞0
^
.0印K1Y
^
>0-10化ゆ1Φ00く史一ミーdネ半R
如8
唾。@回口三
ZO1N0告m、一ム、1d圦削工0入一く﹂
ZO1容配だ一ミーd襟中NKリ、く比
K
02ιネΠdKて
一一.OZι・口
-.OZZ9↑く↑の
1111冊厘
匹1司.
寸0
11冊肌刷
111肌11加馴
11胤",刷・
1
1櫛棚鳳
r
1-ー
11厄回^
噂脚馴
閏
1111剛制圖
111剛朏.判
1ゞ.
帖糾馴
^
e.^「1^1
e.^「1^1
11剛拙.刷
1胎胤■1'
§容0
石0
OZ 厶入6K
の01ONつ区竹止一△、1門ネ半,、{
の寸1一八区のm、ミーd詠中コ区OK入b1△
↑一1二山]門止一ミーd圦半K1H八1愚ハ Y一ΦEΦε山
01N縄﹂の化止一1二9m﹂一ム、1dネ半0入へ一入Π>て
ZO1N一△だ一ム、1dホ削工0ハへ一く﹂、,
R.寸,菓処サ長
山00 寸8
>寸N区の1寸中0希山一ミーd圦中
Φ8
四
]↑↑↑一﹂N盟>m止一ミーd襟中R羽
合0
0@^回閏
]↑↑↑一1Nmo>m止一ミーdネ削
ZO109鵠﹂一ミーd圦印0入小入
如8
R.ξ芸三ヨ1
'厄回【.涯.
(+糊叫ユミーξΠシ)寳拠鵬龜電遍9▲側電足永仔
',,口K和側
'・,口K剖側 ZO1oam望一△、1d圦中0入小ト
き0
応7^'31
OZZ9↑く↑の
1胤削冒
応7フ^'さ1
111111"剛.圖
111胤1剛刷
軸膿■1
僻翻.馴
膨捕判
苫
川冊■
盲口
11朏11棚.剛
11肌1111111.劇
1
1胎胤.圖
1胎肌■1
毛直亘回亘画亘亘可図1
.
0
.
◎0
.
0
の寸1︻
一1邑●
く
区のの止一ミーdネ中コ区OK入b1△
の010三区の止一ミーdネ中
、
ZO1Φ0コmm止一ミーd圦中K1て
'゛^
&.寸'菜処サ長
.
止m1寸Φ△Xの﹂一ミーdネW
回
①
一1ー
OZ'ハロK
国璽璽璽璽璽璽
督拠鵬巡電遍ヨ△際Xへ畢八側雌H
.
一1ー
〔一「回口
区一1N器>の止一ミーd冷中
一1ー
◎0
一1ー
.
△一1寸Φ△>m﹂一ミーd冷彬
11図図図図図図團図図●1
くEON1寸化寸1器△くm止一ミーd圦半Rくトロ、ハ
一1ー
Φ00
羽
0
ZO1N号認一ミーd会削工八入へ一く止
美卦卦美
0"、一田の又L
伽=の
.0=否=く↑の
回^
⑥
向圃
ー.
CO
Cゞ
^
0==0一↑く﹄切
LL LL LL LL
L」{.L L」 LL
^^^^
^
^
号「絲氏 1
産業財産権の取扱いについて
(受注者(以下「乙」という。)が単独で行った発明等の産業財産権の帰属)
1 乙は、本契約に関して、乙が単独でなした発明又は考案(以下「発明等」という。)
に対する特許権、実用新案権又は意匠権(以下「特許権等」という。)を取得する場
合は、単独で出願できるものとする。ただし、出願するときはあらかじめ出願に際し
て提出すべき書類の写しを添えて量研機構(以下「甲」という。)に通知するものと
,、る。
(乙が単独で行った発明等の特許権等の譲渡等)
2 乙は、乙が前項の特許権等を甲以外の第三者に譲渡又は実施許諾する場合には、本
取扱いの各項の規定の適用に支障を与えないよう当該第三者と約定しなければなら
なし＼。
(乙が単独で行った発明等の特許権等の実施許諾)
3 甲は、第1項の発明等に対する特許権等を無償で自ら試験又は研究のために実施す
ることができる。甲が甲のために乙以外の第三者に製作させ、又は業務を代行する第
三者に再実施権を許諾する場合は、乙の承諾を得た上で許諾するものとし、その実施
条件等は甲、乙協議の上決定する。
(甲及び乙が共同で行った発明等の特許権等の帰属及び管理)
4 甲及び乙は、本契約に関して共同でなした発明等に対する特許権等を取得する場合
は、共同出願契約を締結し、共同で出願,、るものとし、出願のための費用は、甲、乙
の持分に比例して負担するものとする。
(甲及び乙が共同で行った発明等の特許権等の実施)
5 甲は、共同で行った発明等を試験又は研究以外の目的に実施しないものとする。た
だし、甲は甲のために乙以外の第三者に製作させ、又は業務を代行する第三者に実施
許諾する場合は、無償にて当該第三者に実施許諾することができるものとする。
(2)乙が前項の発明等について自ら商業的実施をするときは、甲が自ら商業的実施を
しないことにかんがみ、乙の商業的実施の計画を勘案し、事前に実施料等について甲、
乙協議の上、別途実施契約を締結するものとする。
(秘密の保持)
6 甲及び乙は、第1項及び第4項の発明等の内容を出願により内容が公開される日ま
で他に漏えいしてはならない。ただし、あらかじめ書面により出願を行った者の了解
を得た場合はこの限りではない。
(委任・下請負)
7 乙は、本契約の全部又は一部を第三者に委任し、又は請け負わせた場合においては、
その第三者に対して、本取扱いの各取扱い項の規定を準用するものとし、乙はこのた
めに必要な措置を講じなければならない。
(2)乙は、前項の当該第三者が本取扱いに定める事項に違反した場合には、甲に対
し全ての責任を負うものとする。
(協議)
8 第1項及び第4項の場合において、単独若しくは共同の区別又は共同の範囲等につ
いて疑義が生じたときは、甲、乙協議して定めるものとする。
(有効期間)
9 本取扱いの有効期限は、本契約締結の日から当該特許権等の消滅する日までとする。
© Copyright 2024 ExpyDoc
