姿勢自在形複合分子ポンプ仕様一覧

姿勢自在形複合分子ポンプ仕様一覧
TG50F
TG60F
TG70F
TG220F
TG240F
VG65
CF63
ISO-R63
CF63
ISO-R63
(KF40)
CF63
ISO-R63
VG100
CF100
ISO-R100
CF100
ISO-R100
N2
51
60
70/75
220
240
350/330
(保護金網付)N2
49
55
65/70
210
230
330/310
40/45
100
160
210/210
240
吸気口フランジ
排気速度(L/s)
最大圧縮比
到達圧力
H2
12
22
N2
1.4×107
2×107
H2
(Pa)
VG・ISO-B/CF
5×102
2×103
1×105
4×102
4×104
<3×10-6
<5×10-6/<1×10-6
<5×10-7/<1×10-7
<1×10-6
<1×10-6/<5×10-7
<7.5×10-9
<7.5×10-9/<3.8×10-10
80
最大ガス流量(sccm)
N
1-1.5
起動時間(min)
1-1.5
停止時間(min)
1330/10
許容補助圧力(pa/Torr)
≧50
推奨補助ポンプ(L/min)
取り付け姿勢
VG・ISO-(R･B)/CF 4.2/6
質量(kg)
TC64
コントローラ型式
コントローラ最大所要電力(VA)
220
TG450F
TG800F
TG800F*A*-60
TG800F*W*
TG1100F*A*-60
TG1100F*W*
TG1100F
TG1400F
TG2400F
TG2400F-40
TG2410F-40*
VG200
CF200
ISO-B200
VG200
CF200
ISO-B200
VG250
ISO-B250
450
820
1100
1400
2400
2200
2000
430
750
1000
1300
2300
2000
1800
650
720
750
1100
2×103
1×104
1700
1250
1×108
9x107
9000
2000
1.4×103
4.3×103
<5×10-7
<7.5×10-9
<3.8×10-9
10
20
400
70
330
860
330
860
450
1.5-2
2-2.5
1-1.2
5.5-6
2-2.5
7-9
5.5-7
7-9
5.5-7
5.5-7
5-25
20-25
2.5-3.5
45-50
5-6.5
27-32
12-15
27-32
12-15
800/6
1200/9
260/2
700/5.3
260/2
≧80
VG250
ISO-B250
<1×10-6
500
≧25
TG2410F
VG150
CF160
ISO-B160
VG100
VG150
CF100
CF160
ISO-R100 ISO-B160
1×108
(Torr) VG・ISO-B/CF <2.3×10-6 <3.8×10-8/<7.5×10-9 <3.8×10-9/<7.5×10-10
2
TG350F
900
1500
1800
2500
5-7
15-18
330/2.5
200/1.5
≧250
≧500
3500
5-7
46-51
43-45
350/2.6
270/2.0
≧1000
自在
3.4/5.4
6-9
27/26
7-10
28/27
3/5
5.5/8
7.3/10.5
TC6/TC66
TC75/TC76
TC223
オンボード
TC353
TC1104
TC1103
TC1104
TC1103
160
160
590
120
610
610
810
610
810
45/47
29/30
TC2403
TC2403-10
1200
51/51
TC2413
TG2410F
-/52(水冷のみ)
TC2414
TC2415
TG2410F-40

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