２０１６国立大学フェスタ
ナノテクノロジープラットフォーム公開セミナープログラム
平成 28 年 9 月 6 日
会場：武田先端知ビル 5F ホール
開催日：平成 28 年 11 月 2 日（水）
プログラム
13:00～13:30 受付
13:30～13:50 プラットフォーム事業のご紹介
［微細加工プラットフォーム］
13:50～14:20 「東京大学 VEDC による集積化 CMOS-MEMS の展開」 三田
14:20～14:35 「高速電子線描画装置を利用した大面積微細描画支援」 藤原
14:35～14:50 「微細加工プラットフォームの紹介」 コーディネーター
［微細構造解析プラットフォーム］
14:50～15:05 「先端電子顕微鏡法による原子分解能構造解析」 熊本
15:05～15:20 「SIMS による元素イメージング」 竹内
15:20～15:35 「XPS 装置による測定事例と利用案内」 沖津
15:35～15:50 「XRD による結晶構造解析」 府川
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15:50～17:30
コーヒーブレイク
ポスター展示
技術相談 （各設備担当が対応）
設備見学
40～50 分程度
［設備見学］
微細加工設備：武田先端知ビル スーパークリーンルーム内
微細構造解析設備：工学部 9 号館 先着 20 名 2 グループ
先着 20 名

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情報通信科 1年 施設見学に行ってきました

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固体高分解能NMRプローブ利用の実際