真空展パネル 最終製品用パネル 2016.08.05 ■S-07 A1 H841×W594 機能性薄膜 誘電体ハーフミラー膜 情報を映し出す薄膜 概要 ハーフミラーとは、ある条 件では 鏡の ようにふるまい、ある条件ではガラスの ようにふるまう鏡 のことで す。ハーフ ミラーの種 類としては、金属の反 射膜 を非常に薄く作る金 属 ハーフミラーと 誘電体膜を積層して作った誘電体ハーフ ミラーがあります。誘電体ハーフミラー はガラスまたは樹脂に誘電体を成膜する ことで特定の波長の光を反射し、その 他 の 波 長 の 光 を 透 過 さ せ ま す。そ の 性 質を利 用し、誘 電体ハーフミラーに 特定の波長の光をあてることで情報を 映し出すことが可能になります。 主な薄膜材料 SiO 2、TiO 2、Ta 2O 5 適応装置 蒸着装置 関連商品 ■ 自動車 HUD 用コンバイナ 誘電体ハーフミラー膜の原理 屈折率の高い誘電体膜と屈折率の低い誘電 体膜を交互に積み重ねると、非常に反射率 が高い反射膜を得ることができます。 高屈折率と低屈折率の境界では僅かな反射 が生じます。全ての層で誘電体膜の厚さが λ/4 の光路長（屈折率 n× 膜厚 d）に調整 されているため、各層で反射した光は位相 誘電体多層膜 がそろって 強め合 います。反 対に、多重反 射して透 過 方向に進む光は打ち消しあって ０になります。 誘 電 体 多 層 膜 は 吸 収 が ほ と ん ど 無 い 為、 透過率と反射率の設定を 0∼100％の範囲 で任意に設定できます。 L H L H L H 基板 L：低屈折率 H：高屈折率 ×1
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