Ⅲ．所有実験装置 現在本法人が所有する主な試料作製関係装置、 分析関係装置および物性測定関係装置は、 以下の通りです。 １．試料作製関係装置 各種クリーンルーム（3 室） 、スパッタ成膜装置（イオンビ−ム・マグネトロン・対抗タ ーゲットなど 10 数台）、真空蒸着装置、ホットウォール成膜（HWD）装置、ラングミュア （LB）膜作製装置、単結晶作製装置、単ロール型液体急冷装置、ガス雰囲気中液体急冷装置、 電解メッキ装置、真空ア−ク溶解炉、モールド鋳造装置、反応性イオンエッチング装置、 マスクアライナ−、電子線描画装置、ダイシングソー、回転磁場中熱処理炉、高真空熱処 理炉、ガス雰囲気熱処理炉、反応性エッチング装置、高速精密切断機、超音波洗浄器、恒 温室、エアロゾル・デポジション（AD）成膜装置など AD成膜装置 マグネトロンスパッタ装置 雰囲気中液体急冷装置 回転磁場中熱処理炉 ホットウォール成膜装置 ２．分析関係装置 走査型プロ−ブ顕微鏡、FE 走査型電子顕微鏡（EDX,WDX 付き）、表面形状測定装置、薄 膜用多機能 X 線分折装置、蛍光 X 線分析装置、エネルギ−分散型蛍光 X 線分析装置、分光 感度測定装置、フ−リエ変換赤外分光光度計、紫外可視近赤外分光光度計、示差走査熱量 計、プローブステーションなど 薄膜用多機能X線回折装置 20 分光感度測定装置 FE 走査型電子顕微鏡 プローブステーション 蛍光X線分析装置 示差走査熱量計 ３．物性測定関係装置 誘電率測定装置、試料振動型磁力計、交番力磁力計、磁気異方性・トルク測定装置、パ ルス磁場磁化測定装置、磁界解析装置、薄膜磁歪測定装置、マイクロカー効果測定装置、 直流磁気磁束計、高周波透磁率測定装置、インピーダンスアナライザ−、ネットワークア ナライザー、スペクトラムアナライザー、多用途偏光解析装置、光電気伝導測定装置、電 気抵抗・歪測定装置、表面形状測定装置、膜厚計、磁気抵抗効果測定装置、内部摩擦測定 装置、万能機械試験機、ビッカース硬度計、ロックウェル硬度計、微小硬度計、ヤング率 測定装置（共振法） 、熱膨張率測定装置、ファラデー効果測定装置など ファラデー効果測定装置 極低温磁気抵抗効果測定装置 誘電率測定装置 試料振動型磁力計 マイクロカー効果測定装置 高周波透磁率測定装置 表面形状測定装置 熱膨張率測定装置 ヤング率測定装置 21 デバ イ ス開 発 施 設 Ⅰ．研究開発内容 デバイス開発施設はデバイス開発グループ に付属し、本法人において発明された薄膜機 能材料を用いた薄膜素子およびデバイスを試 作、評価するための施設であり、当施設には大 小 3 つのクリーンルームが設置されていま デバイス試作用クリーンルーム す。写真は、最も広いクラス 1000 のクリーンルームの内部で、薄膜を積層して 3 次元素子 を試作するための主要設備（10 台）が設置されています。その他に、素子の性能を精密測 定するクリーンルームおよびウエット用クリーンルームがあります。 １．試作開発研究 当施設は、本法人において発明された薄膜機能材料を用いた薄膜素子およびデバイスの 試作開発研究ならびに薄膜素子およびデバイスの共同研究に係る試作を実施しています。 ２．デバイス開発施設の主要設備 リソグラフィー技術により、最小線幅 0.5μｍ、基板サイズ 3 インチまでの薄膜素子およ びデバイス の製作を行える設備として、マスクアライナーをはじめとするリソグラフィー 装置、加工用のイオンビームエッチング装置、成膜用のスパッタ装置（4 台）等を所有して います。また、 プロセスおよび試作品の検査用として FE 走査型電子顕微鏡をはじめとす る観察、計測装置を所有しています。 マスクアライナー イオンミリング装置 クリーンルーム内 ドラフトチャンバー Ⅱ．開発した薄膜材料および素子の試作品の例 材料および素子名 品 名 特 性 用 途 TMR 型磁気センサ GIGS®素子 高磁気感度、超小型 低消費電力、低コスト 磁気（界）センサ （位置、回転角、電流、金属等） ひずみセンサ薄膜 およびセンサ素子 Cr‑N 系薄膜 Cr‑N 系薄膜 ひずみセンサ 高感度（高ゲージ率） 高電気抵抗 低 TCR（低抵抗温度係数） 低 TCS（低感度温度係数） ひずみゲージ 各種力学量センサ （力、圧力、トルク等） 22 素形 材 開 発 施 設 Ⅰ．研究開発内容 素形材開発施設は素形材開発グループに付 属し、本法人で発明・開発したバルク機能性 素形材開発施設の外部 材料の高度化と用途開発を目的としております。当施設は、金属バルク材料を製造するた めの溶解・鍛造・圧延・線引き・各種熱処理炉などを所有し、材料性能の高度化や製造条 件の検討を行ない、実用化を目指した研究を実施しております。 １．試作開発研究 本法人において発明・開発された高機能性材料および独自製造法により作製された機 能性材料などの実用化、新たな用途開発および性能向上に向けた試作開発研究を実施して います。 ２．素形材開発施設の主要設備 現有設備は、高周波誘導溶解炉（3 基） 、アーク溶 解炉（2 基）、エアーハンマー（2 基） 、冷間伸線機（2 基）、熱間・冷間圧延機（6 基） 、スウェージングハン マー（3 基） 、切断機・切削機（2 基）、研磨機（2 基） 、 真空・水素雰囲気中熱処理炉（10 基）などです。 空高周波溶解炉(5kg) エアハンマー(250kg) 溝型ロッド圧延機 素形材開発施設の内部 二段圧延機 （熱間、 冷間） 中間、細線引き装置 太線引き装置 23 Ⅱ．開発したバルク金属材料の試作品の例 材料名 品 名 軟 磁 性 合 金 磁 石 合 エリンバ−合金 高 弾 性 合 金 電気抵抗合金 吸 そ 振 の 合 高透磁率、高硬度 磁気ヘッド、計測機器用部品 ブライパーム 高透磁率、高耐食性 磁気シールド材 パーマロイ各種 高透磁率、角形性 計測機器、地磁気センサなど パーメンジュール 高飽和磁化 ヨーク材 無酸素鉄(4N） 高飽和磁化、高純度 磁心材 高保磁力、高耐食性 医療、歯科、音響部品 スーパーインバー 低熱膨張 精密機器用部品 ニュースーパーインバー 超低熱膨張 測量尺、精密機器部品 コバール 低熱膨張 ガラス封着材 コエリンバー TM 恒弾性率 ヒゲゼンマイ、スプリング エルコロイ ⓇⅡ、Ⅳ、Ⅵ 高弾性率、恒弾性率 測量用吊線、ヒゲゼンマイ パラコロイ Ⓡ 耐磁性,高弾性,恒弾性 ヒゲゼンマイ ハイテリンバー 高温まで恒弾性率 ダイアフラム マンガロイ 恒弾性、非磁性 地震計、バネ材 ダイアフレックス 高弾性率、高耐食性 ゼンマイ、バネ材 ウルトラフレックス 高弾性率、非磁性 バネ材 パラシル Ⓡ 恒電気抵抗 距離センサ ピーラス Ⓡ 高抵抗温度係数 ガスセンサ 高減衰能、高耐食性 計測機器用部品 金 ジェンタロイ 他 Ⓡ 無酸素銅(4N） 、電極用各種合金、各種合金ターゲット、アモルファス合金リボン ＊®付記は本法人の登録商標です。 24 用 途 ハードパーム Ⓡ 金 プラチロン Ⓡ インバ −合金 特 性
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