Au/PZT/Pt/amorphous-MgO/Si PZT capacitor without substrate Water KrF laser 透過 吸収 Gd3Ga5O12/Bi:YIG/electrode/bond/substrate MIM型構造 原料堆積(非結晶) IR 加熱融解 ゆっくりと冷却 BFO結晶化
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