デジタルマスフローコントローラ
ＣＭＱシリーズ
１．概要
２．特長
３．制御特性
４．機能
５．主な機能の動作説明
１．概要
デジタルマスフローコントローラ
ＣＭＱシリーズ
一般産業市場にて要求される、高速応答、
広い流量制御範囲、低圧供給ガスでの制御
などの性能や多彩な機能を備えた、今まで
にない高性能・高機能のデジタルマスフロー
コントローラ
超高速応答・高感度の「μＦセンサ」、「比例ソ
レノイドバルブ」、「高度な流量制御技術」の
三つを一体化して実現！
図．１ ＣＭＱシリーズの外観
図．２ ＣＭＱシリーズの内部構造
図．３
構成ブロック図
２．ＣＭＱの特長
・高速流量制御
制御応答性：０．５秒以下
・広い制御範囲
１～100%FS
・低差圧動作
低差圧(0.05MPa以下)でも動作を保証
・設定・表示部を標準装備
一体形表示モデル・分離形表示モデルをラインナップ
電源以外の電気配線なしでも動作可能
・多彩な機能
１０種類以上の機能を標準装備
・単一電源動作（ＤＣ１５～２４Ｖ）
安価な汎用電源が使用可能（±１５Ｖ専用電源は不要）
３．ＣＭＱの制御特性（他社との比較）
SP
20L/min
16L/min
12L/min
8L/min
4L/min
↑制御開始
→｜１秒｜←
（ａ）他社ＭＦＣ
図４
↑制御開始
→｜１秒｜←
（ｂ）山武ＣＭＱ００２０
スタート時の制御流量特性１
(ΔP=0.05MPa、横軸：1s/div、縦軸：20%FS/div）
SP
20L/min
16L/min
12L/min
8L/min
4L/min
↑制御開始
→｜１秒｜←
（ａ）他社ＭＦＣ
図５
↑制御開始
→｜１秒｜←
（ｂ）山武ＣＭＱ００２０
スタート時の制御流量特性２
(ΔP=0.3MPa、横軸：1s/div、縦軸：20%FS/div）
SP
20L/min
12L/min
4L/min
→｜１秒｜←
（ａ）他社ＭＦＣ
→｜１秒｜←
（ｂ）山武ＣＭＱ００２０
図６ 圧力変動時の制御流量特性
(ΔP=0.30MPa→0.27MPa→0.30MPa、
横軸：1s/div、縦軸：20%FS/div）
４．ＣＭＱの機能
・流量積算機能（最大８桁）
ＣＭＱ９５００：0.00L～999,999.99L
ＣＭＱ０００２： 0.0L～9,999,999.9L
・異常検出機能（異常表示/出力/バルブ自動閉止）
制御流量異常、バルブ駆動電流異常、自己診断による異常
・イベント出力（２出力）
流量ＯＫ出力、積算カウントアップ出力、動作モード出力、他
・バルブ自動閉止機能
異常検出時、積算カウントアップ時に自動的にバルブを閉止
・バルブ強制開閉機能
ＲＵＮキー操作、外部切替入力により強制全閉・全開が可能
・バルブ駆動電流モニタ/異常検出
供給圧力の低下やバーナノズルの目詰まり検出が可能
・マルチ設定機能（最大４種類）
最大４種類の流量設定を外部切替入力にて瞬時に変更可能
・ダイレクト設定機能（ＥＮＴキー操作なしでの設定変更）
試運転時の設定流量調整など頻繁に設定変更するときに便利
・スロースタート機能（約１～６秒）
制御開始時、設定変更時の流量の急激な変化を抑制
・ガス種類切り替え機能（標準対応ガスの場合）
使用するガス種類をキー操作にて簡単に選択可能
・ガス種類補正係数設定機能（標準対応ガス以外の場合）
特殊ガス・混合ガスにも補正係数（コンバージョンファクタ）を
設定すれば対応可能
・ＲＳ－４８５通信機能（オプション）
全ての表示/設定内容を通信にて読み出し/書き込み可能
５．主な機能の動作説明
（１）流量ＯＫ出力（イベント出力）
（２）流量偏差アラーム検出
（３）バルブ駆動電流アラーム検出
（４）マルチ設定機能
（１）流量ＯＫ出力
PV
OK判定
範囲
OK判定
ﾋｽﾃﾘｼｽ
SP0
SP1
t
制御開始
OFF
OK出力
ON
t
SP変更(SP0→SP1)
（２）流量偏差アラーム検出
PV
偏差ｱﾗｰﾑ上限
ﾋｽﾃﾘｼｽ
偏差ｱﾗｰﾑ上限
SP
偏差ｱﾗｰﾑ下限
偏差ｱﾗｰﾑ下限
ﾋｽﾃﾘｼｽ
流量低下
ｱﾗｰﾑ判定
ﾃﾞｨﾚｲ時間
t
ｱﾗｰﾑ OFF
出力
ON
t
（３）バルブ駆動電流アラーム検出
供給圧力
①供給圧力低下
②駆動電流上昇
t
バルブ駆動電流
100%
ｱﾗｰﾑ上限
ｱﾗｰﾑ判定
ﾃﾞｨﾚｲ時間
ｱﾗｰﾑ下限
0%
t
ｱﾗｰﾑ OFF
出力
ON
t
（４）マルチ設定機能
PV
SP3
SP2
SP1
DI1
DI2
SP0
OFF
OFF
SP1
ON
OFF
SP2
OFF
ON
SP3
ON
ON
SP0
t
DI1
OFF
ON
DI2
t
OFF
ON
t
SW1
SW2
種火
OFF
OFF
本火１
ON
OFF
本火２
OFF
ON
本火３
ON
ON
図７ バーナ空燃比制御でのアプリケーション例