テストセラミック基板の耐圧テスト用フランジ 部品１
3.5
Φ101.8
66+0.2
70
フランジ
外側面
フランジ
内側面
Φ152
穴の追加工
Rをいくつにするか？
ICF152 ブランクフランジに穴を追加工して製作するものとする。
材質 SUS
個数 ５個？
テストセラミック基板の耐圧テスト用フランジ 部品２
3.5
66-0.2
Rをいくつにするか？
材質 Kovar
個数 ５個？
テストセラミック基板の耐圧テスト用フランジ
部品３ 組図（部品１＋部品２）
3.5
Φ101.8
Φ152
66
Kovar部品を
フランジとTIG溶接、難しければ（工作にて）EBW溶接
部品１と部品２を溶接して製作するものとする。
材質 SUS + Kovar
個数 ５個？
テストセラミック基板の耐圧テスト用フランジ 部品４
3.5
Φ101.8
60+0.3
Φ152
コバール部に穴開け加工
ICF152 ブランクフランジに穴を追加工して製作するものとする。
材質 SUS + Kovar
個数 ５個？
テストセラミック基板の耐圧テスト用フランジ 部品５
片面に縁取りパターン
表面処理 = Ni (4 um) + Au フラッシュ（厚さ0.5も対応可）
（セラミック業者のKOA株式会社が加工処理）
3.5
60-0.2
縁取り含む
Rをいくつにするか？
セラミック業者（KOA株式会社）が加工し、支給するものとする。
材質 セラミック
個数 ４枚
テストセラミック基板の耐圧テスト用フランジ
完成図 （部品４＋部品５）
3.5
Φ101.8
60
Φ152
部品５をロウ付け
部品４と部品５をロウ付けして製作するものとする。
材質 SUS + コバール
個数 ５個？
参考資料１

基本な週間時間割

ICF Standard

真空部品

PowerPoint プレゼンテーション

ICF Standard

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