超純水製造設備プロセス比較
処理法
プロセス
特 徴
 設備費安価
２段RO法
原水
前処理
脱CO2
RO
RO
純水槽
UV + CP + CF
回収システム
 排水回収時
有利
P.O.U.
RO＋CDS法
 運転費安価
原水
前処理
脱CO2
RO
UV + CDS
純水槽
CP + CF
純水水質向上策  脱CO2を脱気に変更
 UVをTOC-UVに変更
 CFをUFに変更
回収システム
P.O.U.
 脱酸素要求
 TOC削減
 微粒子削減

determinazione con la Nomina dei Vincitori del