ポストベークを終えた基盤に白金を吸着させ る。 アセトンを使用してレジストを洗い流し、パ ターンを形成する。 メモ 成功例と失敗例を対比させる(画像 成功例にはスペクトルがあることを説明 失敗例はいくつか見せてもよいかも? 成功と失敗の考えられうる要因を羅列 ・基盤の洗浄具合 ・UV被爆の多寡 ・運搬時の影響 ・ポストベーク直前の洗浄具合(リンスのやつな ・レジストの薄い厚い(スピンクォータの回転数 ・現像時間の長短 ・水銀灯照射器が固定されているか否か ・最後のアセトンでどんだけ洗い流せるか 対応というか今後の対策的なものを提示すべきか?
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