Linear Motion Unit (X-Y STAGE) 製品の用途及び性能 • 半導体の製造工程で Nano scaleの超精密な位置制御技術が一番核心 • 機 能 : 半導体の工程装備に装着されて精密な往復移送ができる部品 • 特 徴 : 耐環境性 & 超精密な位置決定性能を同時に確保(ファインセラミック) • 性能 - Stroke : 350Х350 mm - Straightness / Position Accuracy / Repeatability : 200 nm - Rail 平面度/直進度/平行度 : 2 ㎛ 以内 <セラミック X-Y stage> 高速 固 定 度 < Motion error 測定結果> 位 置 決 定 度 <開発 動向> • 活用分野 : 半導体製造装備(Stepper, Wafer検査装備など)、 IT装備(X-Y stage など)、 精密測定機器(3次元測定器)、 自動化機械(産業用robot)、 マイクロ工作機械 MAXTECH. Co. Ltd 321-152, Shindang-Dong, Dalseo-Gu, Daegu, KOREA TEL : 82-53-564-7720 FAX : 82-53-564-7721 E-mail : [email protected]
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