走査プローブ顕微鏡システム (株)日立ハイテク 走査型プローブ顕微鏡 (SPM) 環境制御型ユニット AFM5300E 従来の大気型走査プローブ顕微鏡 ( 原子間 力顕微鏡 ) ではできなかった試料周辺の環境 を制御しながら測定できる環境制御型SPMで す。表面吸着水の影響を最小限に抑える高真 空状態での形状観察だけでなく、探針と試料 の間の相互作用に基づく物性 ( 摩擦力・磁気 力・吸着力・表面電位モード・粘弾性 ) をマッ ピングすることができます。 環境制御 大気中,液中,真空中( 到達真空度 < 9.9 Pa ),温度制御( -120~300 ℃ ) 測定モード AFM測定・ダイナミックフォースモード測定( DFM )・位相差測定モード( フェーズモード )・ 摩擦力顕微鏡機能・磁気力測定( MFM )ベクタスキャン( 加工 )・粘弾性測定・吸着力測 定・表面電位モード 最大走査レンジ 面内 20 µm,垂直 1.5 µm もしくは 面内 150 µm,垂直 5 µm
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