走査プローブ顕微鏡システム (株)日立ハイテク 走査型プローブ顕微鏡 （SPM） 環境制御型ユニット AFM5300E 従来の大気型走査プローブ顕微鏡 （ 原子間 力顕微鏡 ） ではできなかった試料周辺の環境 を制御しながら測定できる環境制御型SPMで す。表面吸着水の影響を最小限に抑える高真 空状態での形状観察だけでなく、探針と試料 の間の相互作用に基づく物性 （ 摩擦力・磁気 力・吸着力・表面電位モード・粘弾性 ） をマッ ピングすることができます。 環境制御 大気中，液中，真空中（ 到達真空度 < 9.9 Pa ），温度制御( -120～300 ℃ ) 測定モード AFM測定・ダイナミックフォースモード測定（ DFM ）・位相差測定モード（ フェーズモード ）・ 摩擦力顕微鏡機能・磁気力測定（ MFM ）ベクタスキャン（ 加工 ）・粘弾性測定・吸着力測 定・表面電位モード 最大走査レンジ 面内 20 µm，垂直 1.5 µm もしくは 面内 150 µm，垂直 5 µm
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