Startklar … 175.56.01 TURBOVAC MAGiNTEGRA ANFORDERUNGEN AN MAGNETISCH GELAGERTE TURBO-MOLEKULARPUMPEN TURBOVAC MAGiNTEGRA Unempfindlichkeit gegen Prozesspartikel / Stäube ✓ Toleranz gegen plötzliche Belüftung ✓ Zuverlässigkeit in industrieller Umgebung ✓ Robuster und störungsfreier Betrieb ✓ Geringe Cost of Ownership ✓ Vibrationsfreier Betrieb in schwingungsempfindlichen Anwendungen ✓ WEITERE VORTEILE DER TURBOVAC MAGiNTEGRA ■ Wartungsfreier Betrieb in den meisten Applikationen ■ Monitoring der Betriebsparameter ■ Selbstschutz bei Funktionsstörungen APPLIKATIONEN BESCHICHTUNG SOLAR DISPLAY ANALYTIK ■ Industrielle Glasbeschichtung ■ Sputtering (TCO) ■ Flat Panel ■ Analysensysteme ■ Folienbeschichtung ■ CIGS ■ PVD Prozesse ■ Elektronenmikroskope ■ LCD Display ■ Teilchenbeschleuniger ■ Optische Beschichtung Ihr Ticket zum nächsten Vakuumlevel Leistungstärke, Präzision und Zuverlässigkeit – dies sind Eigenschaften, die sowohl in der Vakuumtechnologie als auch in der Luftfahrttechnik unabdingbar sind. Neben diesen Eigenschaften bietet unsere neue magnetisch gelagerte Turbo-Molekular Vakuumpumpe MAGiNTEGRA ein sehr hohes Saugvermögen und exzellenten Gasdurchsatz für schnellere Auspumpzeiten, was wiederum die ProzessZykluszeiten verbessert. PUMPEN VERSIONEN UND AUSSTATTUNGEN MAG W 300, MAG W 400, MAG W 600, MAG W 700, MAG W 1300, MAG W 1600, MAG W 1700 und MAG W 2200 Alle MAGiNTEGRA sind in den folgenden Ausstattungsvarianten erhältlich: ■ ■ ■ HIGHLIGHTS ■ ■ ■ ■ Anschlussflansche ISO-K, ISO-F, CF Vormontierte Wandlerpositionierung seitlich: iP Version bodenseitig: iPL Version Schnittstellen: 9-Pin 24V PLC, Profibus, RS485 oder Ethernet sowie weitere Schnittstellen nach Bedarf TECHNISCHE DATEN Integrierter Frequenzwandler und Netzteil ersparen den konventionellen Einbau von externen Bediengeräten und die Verwendung von Verbindungskabeln Einfache Systemintegration durch ein flexibles Produktdesign (Frequenzwandler horizontal oder vertikal montiert) Innovatives und modulares Kommunikationskonzept (standard und optionale Schnittstellen) für die einfache Integration in Anlagen Absolut robust für den Einsatz in industrieller Umgebung (Schutzart IP54) für PVD, Display, Solar und optische GlasbeschichtungsApplikationen Hochvakuumflansch Saugvermögen (PNEUROP) N2 Ar He H2 Max. Kompression N2 Ar He H2 Max. Gasdurchsatz N2 Ar Max. Vorvakuumdruck LEISTUNGSKURVEN N2 Nenndrehzahl 2200 2000 Enddruck 1800 ISO-K/F 1600 Saugvermögen (l/s) ■ CF 1400 1200 MAG W 2200 1000 MAG W 1700 800 MAG W 1600 600 MAG W 1300 MAG W 700 400 MAG W 600 200 MAG W 400 MAG W 300 0 10-6 10-5 10-4 10-3 Hochvakuumdruck (mbar) 10-2 10-1 Hochlaufzeit ca. Vakuumflansch Sperrgas- und Belüftungsflansch Gewicht ca. Schallpegel gemäß ISO 3744 Sperrgas- und Belüftungsflansch ZUBEHÖR Wählen Sie aus einem breiten Zubehörprogramm für die Steuerung und Überwachung der TURBOVAC MAGiNTEGRA. Wir bieten u.a. ■ Druckmesssysteme für aktive und passive Sensoren, Wasser- und Luftkühlungen, Belüftungsventile und Kabel ■ Vorvakuumpumpen und -Systeme ■ Auslegung von Vakuumsystemen und Applikationsunterstützung MAG W 300 iP(L) 400 iP(L) 600 iP(L) 700 iP(L) DN 100 ISO-K 160 ISO-K 160 ISO-K 200 ISO-K DN 1300 iP(L) 1600 iP(L) 1700 iP(L) 2200 iP(L) 200 ISO-F 250 ISO-F 250 ISO-F 250 ISO-F 250 CF 250 CF DN 100 CF 160 CF 160 CF 200 CF 200 CF l x s-1 300 365 550 590 1100 1600 1610 2100 1050 1470 1480 1900 lxs -1 l x s-1 260 280 570 600 1220 1770 1710 2050 l x s-1 190 200 410 430 1130 1570 1660 1750 > 1010 > 1010 > 1010 > 1010 > 108 > 107 > 108 > 108 > 108 > 107 > 108 > 108 bei 1 sccm 9x104 9x104 2x106 2x106 2x105 6x104 2x105 5x104 bei 1 sccm 3x10 3x10 3x10 3x10 8x10 1x10 4x10 5x103 > 10 > 15 > 15 > 30 > 60 > 30 > 30 > 20 > 30 > 20 > 20 3 3 4 4 3 3 3 mbar x l x s-1 > 10 mbar 8.0 8.0 6.0 6.0 4.0 1.0 4.0 2.5 min-1 58800 58800 48000 48000 37800 33000 33000 30600 7 8 8 9 45 50 mbar < 10-8 mbar < 10-10 min DN 5 5 16 KF (Klammerschuh) 6 25 KF (Klammerschuh) DN kg 6 40 KF 16 KF (Klammerschuh) 12 12 17 17 40 dB(A) < 41 µm < 0.01 45 BESTELLDATEN MAGiNTEGRA mit 9-Pin 24V PLC MAG W ISO-K CF ISO-F CF CF 2) IPL: Wandler unten montiert 700 iP(L) iP 410300V0505 410400V0505 410600V0505 410700V0505 iPL auf Anfrage auf Anfrage 410600V0705 auf Anfrage 410700V0506 iP 410300V0506 410400V0506 410600V0506 iPL auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage auf Anfrage MAG W 1300 iP(L) 1600 iP(L) 1700 iP(L) 2200 iP(L) iP 411300V0504 411600V0504 411700V0504 412200V0504 iPL 411300V0704 411600V0704 411700V0704 412200V0704 iP 411300V0506 --- 411700V0506 412200V0506 iPL 411300V0706 --- 411700V0706 412200V0706 iP 411300V0514 411600V0514 411700V0514 412200V0514 3) iPL 411300V0714 411600V0714 411700V0714 412200V0714 iP 411300V0516 --- 411700V0516 412200V0516 iPL 411300V0716 --- 411700V0716 412200V0716 andere Schnittstellen wie RS485, Ethernet, etc. auf Anfrage Zentrale Deutschland Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Bonner Straße 498 D-50968 Köln T +49 (0) 221-347-0 F +49 (0) 221-347-1250 [email protected] www.oerlikon.com/leyboldvacuum BICOM 11850.175.56.01 2.0.04.13 Printed in Germany on chlorine-free bleached paper Technical alterations reserved IP: Wandler seitlich montiert 600 iP(L) 3) ISO-F 1) 400 iP(L) 1) 2) # 1) 2) MAGiNTEGRA mit Profibus 3) MAGiNTEGRA mit 9-Pin 24V PLC 300 iP(L) # 3)
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